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• 键合方法和键合结构 公开日期：2024-07-16 公开号：CN112456436A 申请号：CN201910844589.6
  发明 键合方法和键合结构

  • 申请号：CN201910844589.6
  • 公开号：CN112456436A
  • 公开日期：2024-07-16
  • 申请人：上海新微技术研发中心有限公司

  本申请提供一种键合方法和键合结构，该键合方法包括：在第二基片的表面形成由导电材料形成的导电连接柱；在第一基片的表面形成由键合胶形成的键合胶图形，所述键合胶图形具有凹陷部，所述第一基片的部分表面从所述凹陷部露出，所述凹陷部的位置与所述导电连接柱对应，所述凹陷部的横向尺寸大于所述导电连接柱的横向尺寸，所述键合胶图形的厚度大于所述导电连接柱的厚度；以及将所述导电连接柱与所述凹陷部对准，在预定的温度条件下，对所述第一基片和所述第二基片施加预定的压力，使所述第一基片与所述第二基片通过所述键合胶图形键合为一体，并且，所述导电连接柱与所述第一基片的从所述凹陷部露出的所述部分表面接触。

  发布时间：2023-06-02 12:12:17

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• 一种微纳复合滤膜及其制备方法和应用 公开日期：2024-07-16 公开号：CN114162779A 申请号：CN202111227408.9
  发明 一种微纳复合滤膜及其制备方法和应用

  • 申请号：CN202111227408.9
  • 公开号：CN114162779A
  • 公开日期：2024-07-16
  • 申请人：北京大学

  本发明涉及一种微纳复合滤膜的制备方法。本发明的制备方法基于聚对二甲苯‑微机电系统(MEMS)翻模工艺，首先在硅衬底上加工出微米柱与纳米柱复合结构作为模具，之后通过用聚对二甲苯填充微米柱与纳米柱的间隙来形成微纳复合滤膜结构。本发明方法可以精确控制纳米孔层的厚度，纳米通孔的孔径、孔间距和孔分布，以及支撑层厚度和微米通孔的孔径等。本发明还涉及通过所述制备方法获得的微纳复合滤膜及其应用。

  发布时间：2023-04-27 13:33:39

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• 刚柔融合电容式柔性MEMS超声换能器及其制备方法 公开日期：2024-07-16 公开号：CN114408853A 申请号：CN202111452700.0
  发明 刚柔融合电容式柔性MEMS超声换能器及其制备方法

  • 申请号：CN202111452700.0
  • 公开号：CN114408853A
  • 公开日期：2024-07-16
  • 申请人：西安交通大学

  本发明公开刚柔融合电容式柔性MEMS超声换能器及其制备方法，换能器的振动薄膜和下电极采用刚性材料；基底和支柱采用柔性材料。振动薄膜和下电极对应于支柱表面的区域设置凹槽，贯穿振动薄膜和下电极的厚度方向。本发明利用刚性振动薄膜来保证高谐振频率，实现MEMS超声换能器频率的灵活设计；利用柔性基底和支柱来实现MEMS超声换能器的柔性，解决传感器频率和柔性设计相互制约的难题；利用柔性支柱与刚性薄膜形成二级串联振动系统，提高输出声压和接收灵敏度；利用刚性下电极和刚性振动薄膜减小振动过程中上下电极间正对面积的变化，提高工作频率、机电耦合系数、收/发灵敏度等性能的稳定性；利用MEMS工艺来实现微型化、高密度二维柔性超声换能器的制备。

  发布时间：2023-05-09 10:45:18

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• 一种基于GIS盖板的三明治加速度计制备方法 公开日期：2024-07-12 公开号：CN114291785A 申请号：CN202111497956.3
  发明 一种基于GIS盖板的三明治加速度计制备方法

  • 申请号：CN202111497956.3
  • 公开号：CN114291785A
  • 公开日期：2024-07-12
  • 申请人：北京遥测技术研究所|||航天长征火箭技术有限公司

  本发明提供一种基于GIS盖板的三明治加速度计制备方法，包括上盖板、下盖板和中间层敏感结构，上盖板包括硅‑玻璃，下盖板包括硅‑玻璃，该方法包括以下步骤：在上下盖板硅晶片上光刻腐蚀出多个单元图形，与玻璃片进行键合，通过回流、研磨、抛光等工序实现GIS结构；结构硅晶片双面光刻湿法腐蚀出结构图形；将结构硅晶片中的结构图形、上下盖板硅晶片中与结构硅中结构图形对应的单元图形在设定气压、设定温度的键合设备内进行键合。本发明继承经典硅‑玻璃‑硅‑玻璃‑硅五层结构低寄生电容优势，同时实现了表面电极制备，使用基于与硅热膨胀系数更为接近的SD‑2玻璃和Ti金属电极，制造出寄生电容小、低应力的敏感芯片，同时实现晶圆级批量化性能测试。

  发布时间：2023-05-05 09:53:51

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• 微机械构件和用于微机械构件的制造方法 公开日期：2024-07-12 公开号：CN113226976A 申请号：CN201980085003.0
  PCT发明 微机械构件和用于微机械构件的制造方法

  • 申请号：CN201980085003.0
  • 公开号：CN113226976A
  • 公开日期：2024-07-12
  • 申请人：罗伯特·博世有限公司

  本发明涉及一种微机械构件，其膜片(12)保持与腔的底侧间隔开并且在其膜片内侧(12a)处具有支撑结构(20a)，其中，所述支撑结构(20a)中的每个都具有各自的第一边缘元件结构(32)、各自的第二边缘元件结构(34)和各自的布置在所分配的第一边缘元件结构(32)与所分配的第二边缘元件结构(34)之间的至少一个中间元件结构(36)，其中，针对所述支撑结构(20a)中的每个都能够分别限定对称平面(38)，关于所述对称平面，至少相应的支撑结构(20a)的所述第一边缘元件结构(32)和所述相应的支撑结构(20a)的第二边缘元件结构(34)是镜像对称的，其中，在所述支撑结构(20a)中的每个中，其第一边缘元件结构(32)的垂直于其对称平面(38)的第一最大延展(a1)及其第二边缘元件结构(34)的垂直于其对称平面(38)的第二最大延展(a2)大于其至少一个中间元件结构(36)的垂直于其对称平面(38)的至少一个最大延展(a3)。

  发布时间：2023-06-16 07:28:22

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• 一种超宽光谱吸收体、制备方法及其在光谱仪中的应用 公开日期：2024-07-09 公开号：CN113292042A 申请号：CN202110436133.3
  发明 一种超宽光谱吸收体、制备方法及其在光谱仪中的应用

  • 申请号：CN202110436133.3
  • 公开号：CN113292042A
  • 公开日期：2024-07-09
  • 申请人：江苏度微光学科技有限公司

  本发明公开了一种超宽光谱吸收体、制备方法及其在光谱仪中的应用，属于光谱检测领域。本发明通过在分子束外延设备中分别加入硒源和锡源，在一定的温度下进行共蒸发形成垂直阵列式、硒浓度可调的硒化锡纳米片，通过调节衬底温度来调控SnSex纳米片的晶体质量，后期热退火处理调控表面缺陷态‑包括材料内部缺陷(Vsn、Vse、SnSe)、SnSex表面缺陷对空气中氧的吸附(电子陷阱)等。将这种超宽光谱吸收体膜贴在光谱仪的内壁，能够实现对激光杂散光和信号杂散光的高性能抑制，提升光谱仪的性能。

  发布时间：2023-06-23 07:09:23

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• 氧化镁密封腔的制备方法 公开日期：2024-07-09 公开号：CN112744781A 申请号：CN201911039852.0
  发明 氧化镁密封腔的制备方法

  • 申请号：CN201911039852.0
  • 公开号：CN112744781A
  • 公开日期：2024-07-09
  • 申请人：中北大学

  本公开描述了一种氧化镁密封腔的制备方法，其包括：准备工序，准备第一氧化镁晶片和第二氧化镁晶片；图案化工序，对第一氧化镁晶片的掩膜层进行光刻形成预定的图案；刻蚀工序，使用磷酸溶液对第一氧化镁晶片进行湿法刻蚀，并去除掩膜层；以及键合工序，对刻蚀后的第一氧化镁晶片的带有腔体的一面进行表面处理，对第二氧化镁晶片的一面进行表面处理，并将第一氧化镁晶片的第一键合面与第二氧化镁晶片的第二键合面直接键合，以形成由第一氧化镁晶片和第二氧化镁晶片组成的密封体。由此，能够提高这种密封体的密封性能，且利用氧化镁的优良力学性能和动力学特性使其能够很好地适应高温高压下的工作环境。

  发布时间：2023-06-05 18:30:25

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• 基于曲面基底的三维微纳器件的制造方法 公开日期：2024-07-09 公开号：CN114684781A 申请号：CN202210348513.6
  发明 基于曲面基底的三维微纳器件的制造方法

  • 申请号：CN202210348513.6
  • 公开号：CN114684781A
  • 公开日期：2024-07-09
  • 申请人：清华大学

  本公开涉及一种基于曲面基底的三维微纳器件的制造方法。该方法包括：根据对应的预应力加载策略对曲面基底进行预应力加载，得到展后曲面基底；将根据具有目标空间结构的三维微纳器件制造出的二维前驱体转印至展后曲面基底；将二维前驱体的待固定部分固定到展后曲面基底上；释放展后曲面基底所加载的预应力，以使得二维前驱体变形为三维微纳器件，得到曲面基底和固定组装于曲面基底上的三维微纳器件。该方法可以在几何形貌复杂的曲面上高效、快速、精确的设计并组装丰富的三维微纳器件。适用的组装范围更加广泛，拓扑结构组装丰富性更强。可用于开发适用于曲面的、应用范围广泛的新型三维柔性电子器件。

  发布时间：2023-05-14 12:31:54

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• 一种具有旋转输出特性的双四杆式压电微动平台 公开日期：2024-07-09 公开号：CN114477070A 申请号：CN202210128501.2
  发明 一种具有旋转输出特性的双四杆式压电微动平台

  • 申请号：CN202210128501.2
  • 公开号：CN114477070A
  • 公开日期：2024-07-09
  • 申请人：宁波大学

  一种具有旋转输出特性的双四杆式压电微动平台，包含压电叠堆驱动器、底座、机架、载物台和四套运动传递机构；机架固定在具有凹槽的底座上，每套运动传递机构与机架相连构成双摇杆四杆机构，四套运动传递机构分为主驱动的运动传递机构和被驱动的运动传递机构，并布置在所述凹槽内；压电叠堆驱动器位于两套主驱动的运动传递机构之间，主驱动的运动传递机构分别串接一套被驱动的运动传递机构，被驱动的运动传递机构的输出端通过柔性铰链与载物台相连，载物台通过柔性铰链与机架相连。本发明降低控制难度，结构紧凑，适用于微精密操作。

  发布时间：2023-05-10 11:33:17

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• 一种MEMS器件及其制备方法和电子装置 公开日期：2024-07-09 公开号：CN118083906A 申请号：CN202410490641.3
  发明 一种MEMS器件及其制备方法和电子装置

  • 申请号：CN202410490641.3
  • 公开号：CN118083906A
  • 公开日期：2024-07-09
  • 申请人：芯联越州集成电路制造（绍兴）有限公司

  本申请提供了一种MEMS器件及其制备方法和电子装置，所述方法包括：提供衬底，在所述衬底上形成牺牲层；刻蚀所述牺牲层，以暴露出所述衬底的部分表面；在所述牺牲层的外表面上沉积空腔覆盖材料，其中，所述空腔覆盖材料覆盖所述牺牲层的顶表面和侧表面；刻蚀所述空腔覆盖材料以形成释放孔和至少一个连接槽，其中，所述释放孔贯穿所述空腔覆盖材料并露出部分所述牺牲层，所述连接槽位于所述释放孔的外侧，所述连接槽从所述空腔覆盖材料表面延伸至所述空腔覆盖材料内部；通过所述释放孔，刻蚀去除至少部分所述牺牲层，以形成被所述空腔覆盖材料包围的空腔；形成释放孔填充材料，以填充所述释放孔以及所述连接槽，形成封帽结构。

  发布时间：2024-06-01 08:08:27

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