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• 微机电系统 公开日期：2024-12-20 公开号：CN114644317A 申请号：CN202111061570.8
  发明 微机电系统

  • 申请号：CN202111061570.8
  • 公开号：CN114644317A
  • 公开日期：2024-12-20
  • 申请人：瑞声声学科技（深圳）有限公司

  一种微机电系统，包括间隔层、第一波纹状导电膜片和第二波纹状导电膜片。所述间隔层包括沿第一方向延伸的对电极壁、狭槽和支撑壁。所述对电极壁、狭槽和支撑壁在第二方向上交替设置。所述第一波纹状导电膜片包括在第二方向交替设置的第一波峰和第一波谷，所述第二波纹状导电膜片包括在第二方向交替设置的第二波峰和第二波谷。所述间隔层被接收在由所述第一和第二波纹状导电膜片形成的腔体中。所述支撑壁分别夹在对齐的所述第一波谷和第二波峰之间。所述对电极壁分别悬置于在对齐的所述第一波峰和第二波谷之间形成的对应腔室中。本发明的微机电系统具有高水平的声音顺应性和灵敏度。

  发布时间：2023-05-14 11:42:13

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• 具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 公开日期：2024-12-20 公开号：CN113226977A 申请号：CN201980085041.6
  PCT发明 具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法

  • 申请号：CN201980085041.6
  • 公开号：CN113226977A
  • 公开日期：2024-12-20
  • 申请人：罗伯特·博世有限公司

  本发明涉及一种具有膜片的EMS传感器，其中，所述膜片的基面借助于环绕的壁结构限界，其中，所述基面具有至少两个部分区域，其中，所述部分区域中的至少一个部分区域能偏移地布置，其中，所述至少两个部分区域借助于至少一个分隔结构相对彼此分开或者通过该分隔结构限界，其中，所述分隔结构具有用于使流体通过的至少一个流体通道。

  发布时间：2023-06-16 07:28:23

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• 制造包括悬在腔之上的膜的器件的方法 公开日期：2024-12-20 公开号：CN113226978A 申请号：CN201980084624.7
  PCT发明 制造包括悬在腔之上的膜的器件的方法

  • 申请号：CN201980084624.7
  • 公开号：CN113226978A
  • 公开日期：2024-12-20
  • 申请人：索泰克公司

  本发明关注一种制造器件的方法，所述器件包括在有用腔上延伸的膜，所述方法包括：提供通用结构，所述通用结构包括在主平面中延伸并被布置在支持基底的第一面上的表面层，所述支持基底包括在表面层下方开口的基本腔以及界定各个基本腔的隔离体，所述隔离体具有形成所述支持基底的第一面的全部或部分的上表面；限定一组相邻的基本腔，使得所述一组基本腔的轮廓在所述主平面中对应于所述有用腔的轮廓；移除位于所述一组基本腔的轮廓内的所述隔离体，以便形成所述有用腔，并且释放被布置在所述有用腔上方并形成所述膜的所述表面层。

  发布时间：2023-06-16 07:28:19

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• 微机电系统装置的制造方法、微机电系统装置和电子设备 公开日期：2024-12-20 公开号：CN114148987A 申请号：CN202111315844.1
  发明 微机电系统装置的制造方法、微机电系统装置和电子设备

  • 申请号：CN202111315844.1
  • 公开号：CN114148987A
  • 公开日期：2024-12-20
  • 申请人：歌尔微电子股份有限公司

  公开了一种微机电系统装置的制造方法、微机电系统装置和电子设备。微机电系统装置包括薄膜型的微机电系统器件层，以及该制造方法包括：在微机电系统衬底上形成牺牲层；在牺牲层上形成微机电系统器件层；经由临时键合层将载体层临时键合在微机电系统器件层上，其中，载体层是透明的并且是刚性的；通过对牺牲层进行处理以释放微机电系统器件层；通过曝光从所释放的微机电系统器件层上对载体层进行解键合；以及去除临时键合层。

  发布时间：2023-04-27 13:19:36

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• 一种基于水溶性聚丙烯酸的微纳基底转印方法 公开日期：2024-12-17 公开号：CN113264499A 申请号：CN202110381114.5
  发明 一种基于水溶性聚丙烯酸的微纳基底转印方法

  • 申请号：CN202110381114.5
  • 公开号：CN113264499A
  • 公开日期：2024-12-17
  • 申请人：东南大学

  本发明公开了一种基于水溶性聚丙烯酸的微纳基底转印方法，利用聚丙烯酸的粘性和水溶性，无损地转移并释放基于聚苯乙烯的微纳基底。包括以下步骤：①使用聚丙烯酸胶带将有序基底粘起。②将胶带固定到转印的目标基片。③加热基片和胶带，使有序基底与基片结合。④将基片和胶带浸入水中，待聚丙烯酸溶解后去除胶带。所述方法利用了聚丙烯胶带粘性的可控性，实现了对微纳基底的无损、快速、定制化转印。

  发布时间：2023-06-17 07:22:46

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• 用于心脏脉冲场消融的MEMS电极器件及其制备方法 公开日期：2024-12-17 公开号：CN114852947A 申请号：CN202210422714.6
  发明 用于心脏脉冲场消融的MEMS电极器件及其制备方法

  • 申请号：CN202210422714.6
  • 公开号：CN114852947A
  • 公开日期：2024-12-17
  • 申请人：上海交通大学

  本发明提供一种用于心脏脉冲场消融的MEMS电极器件及其制备方法，该电极器件包括由下至上依次设置的下部绝缘层、温度传感层、中部绝缘层、电极层、上部绝缘层和电极修饰层；其中，所述电极层用于向心脏组织施加脉冲电信号，同时记录心脏组织在每次脉冲场消融前后的电学阻抗，还用于记录心脏组织在消融前后的心电信号；所述温度传感层用于原位记录消融过程中的动态温度变化。本发明能够提高心脏脉冲场消融的安全性和效率。

  发布时间：2023-05-18 13:02:26

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• 液体操作装置 公开日期：2024-12-13 公开号：CN113056436A 申请号：CN201980075612.8
  PCT发明 液体操作装置

  • 申请号：CN201980075612.8
  • 公开号：CN113056436A
  • 公开日期：2024-12-13
  • 申请人：国立研究开发法人产业技术综合研究所

  本发明对液体操作装置提高了液体尤其是液滴的控制性能以及提高了制造效率。一种液体操作装置包括：以具有柔性的方式形成为片状或膜状的基板(1、11)，配置于基板的表面(1b、11b)上的多个电极(2)以及以覆盖多个电极的方式配置于基板的表面上的绝缘膜(3)；利用通过对至少一个电极施加电压而产生的静电力，使液体(L)在绝缘膜的表面(3b)上移动。在该液体操作装置中，绝缘膜具有多个凹坑(4)，该多个凹坑位于与多个电极分别对应的位置，并且以在从绝缘膜的表面朝向背面(3a)的凹方向上凹陷的方式弯曲，各电极具有凹坑对应部(5)，该凹坑对应部跟位于与各电极对应的位置的凹坑一起以在凹方向上凹陷的方式弯曲。

  发布时间：2023-06-14 12:21:36

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• 大面积图案化微纳米颗粒自组装结构及其制备方法 公开日期：2024-12-10 公开号：CN114084868A 申请号：CN202111393327.6
  发明 大面积图案化微纳米颗粒自组装结构及其制备方法

  • 申请号：CN202111393327.6
  • 公开号：CN114084868A
  • 公开日期：2024-12-10
  • 申请人：清华大学

  本发明公开了一种大面积图案化微纳米颗粒自组装结构及其制备方法，其中，所述方法包括：(1)将含有疏水微纳米颗粒的分散液加入水中，以便在液气界面形成微纳米颗粒膜；(2)将微纳米颗粒膜转移至图案化模板上；(3)在基底上形成粘附层，然后将步骤(2)得到的具有微纳米颗粒膜的图案化模版转移至含有粘附层的基底上且施加压力，其中，所述微纳米颗粒膜与所述粘附层接触；(4)去除步骤(3)得到的结构外缘的粘附层，以便得到大面积图案化微纳米颗粒自组装结构。由此，该方法具有制备速度快、制备出的图案化微纳米颗粒自组装结构的面积大、制备精度高、形状可控性强和制备稳定性高的优点。

  发布时间：2023-04-26 10:02:14

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• 一种基于有源耦合的二自由度谐振式MEMS传感器及应用 公开日期：2024-12-06 公开号：CN113968570A 申请号：CN202010734433.5
  发明 一种基于有源耦合的二自由度谐振式MEMS传感器及应用

  • 申请号：CN202010734433.5
  • 公开号：CN113968570A
  • 公开日期：2024-12-06
  • 申请人：华中科技大学

  本发明公开了一种基于有源耦合的二自由度谐振式MEMS传感器及应用，属于信息工程领域中的微机电系统及其传感、控制领域。包括有源耦合模块、感测模块和MEMS谐振器件，MEMS谐振器件包括第一谐振器和第二谐振器；有源耦合模块将第一谐振器和第二谐振器相互有源耦合起来，使得第一谐振器的频率和第二谐振器的频率在特定区间内快速收敛，在频率快速收敛的区间内，待测量的变化导致的第一谐振器和第二谐振器的频率变化远高于无有源耦合结构的传统谐振式传感方式，通过检测第一谐振器和第二谐振器的频率变化，以及第一谐振器和第二谐振器的频率变化之差，即可测得待测量变化。本发明可以解决现有技术中谐振式加速度传感器灵敏度和分辨率较低的问题。

  发布时间：2023-04-23 09:33:06

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• 一种兼具结构色与超疏水功能的微纳复合结构 公开日期：2024-12-06 公开号：CN114852956A 申请号：CN202210521560.6
  发明 一种兼具结构色与超疏水功能的微纳复合结构

  • 申请号：CN202210521560.6
  • 公开号：CN114852956A
  • 公开日期：2024-12-06
  • 申请人：吉林大学

  本发明涉及一种兼具结构色与超疏水功能的微纳复合结构，属于表面改性领域。本发明提出了一种由微米尺度的V型沟槽结构与分布在V型沟槽表面的周期纳米栅状结构构成的微纳复合结构，该种微纳复合结构同时具有结构色与超疏水两种表面特性。在微纳复合结构中，可以通过调节周期纳米栅状结构的周期来调控表面结构色，使表面产生所需的结构色；通过调节V型沟槽的宽度、间距和开角来调控表面疏水性，可使表面具有超疏水的特性。本发明中的微纳复合结构使表面同时具有结构色与超疏水两种特性，且两种特性可以通过改变微纳复合结构尺寸进行调节，其在纳米光学、防伪标志、表面自清洁、防结冰等方面具有较大的应用前景。

  发布时间：2023-05-19 10:57:19

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