一种微流控芯片对准键合装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217921479 U (45)授权公告日 2022.11.29 (21)申请号 202222096524.8 (22)申请日 2022.08.10 (73)专利权人 艾名医学检验实验室（成都）有限 公司 地址 610000 四川省成都市金牛高新技术 产业园区金科南二路77号5栋1层 (72)发明人 蔡超杰　陈兵　刘灏橪　杨杰　 (74)专利代理机构 北京中索知识产权代理有限 公司 11640 专利代理师 唐亭 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B01L 3/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 (54)实用新型名称 一种微流控芯片对准键合装置 (57)摘要 本实用新型属于芯片对准键合技术领域，尤 其为一种微流控芯片对准键合装置，包括工作 台，所述工作台的上表面安装有二维位移台，通 过将下微流芯片放置在下平台上表面，步进电机 a带动两个夹板相互靠近对下微流芯片进行夹持 定位，纠正其在放置时产生的偏斜，步进电机d带 动两个凹槽对上微流芯片和基材进行夹持固定， 底灯可通过透明玻璃下平台进行强光照明，用体 式显微镜进行肉眼观察，在体式显微镜下，可以 很清晰地看到硅基材上的图案，从而进行快速准 确地对准，步进电机c启动带动基材和上微流芯 片向右移动，以下微流芯片为基准，与下微流芯 U 片进行对准键合，对准快速，缩短等离子体处理 9 的表面在