一种气体流量计的MEMS芯片封装结构
- 申请专利号:CN202210864868.0
- 公开(公告)日:2023-10-03
- 公开(公告)号:CN115231510A
- 申请人:微纳感知(合肥)技术有限公司|||深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115231510 A (43)申请公布日 2022.10.25 (21)申请号 202210864868.0 (51)Int.Cl. B81B 7/00 (2006.01) (22)申请日 2022.07.21 B81B 7/02 (2006.01) (71)申请人 微纳感知(合肥)技术有限公司 G01F 15/00 (2006.01) 地址 230088 安徽省合肥市高新区望江西 G01F 15/14 (2006.01) 路900号中安创谷科技园一期D6栋 G01F 15/18 (2006.01) 申请人 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公 司 (72)发明人 宁文果 方明东 周小勇 许磊 陈栋梁 谢东成 张岩 李志华 周睿颖 邹子纯 王传伟 马云龙 陈宾 陈陈 夏玉 (74)专利代理机构 北京派特恩知识产权代理有 限公司 11270 专利代理师 任晓 浦彩华
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