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一种气体流量计的MEMS芯片封装结构

2023-10-05 07:00:36 发布于四川 11

申请专利号：CN202210864868.0
公开（公告）日：2023-10-03
公开（公告）号：CN115231510A
申请人：微纳感知（合肥）技术有限公司|||深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司

摘要：本申请实施例期望提供一种气体流量计的MEMS芯片封装结构，MEMS芯片封装结构包括：主管材，内部形成有主气路，主管材的管壁设置有第一气流口和第二气流口，主管材的外表面一体成型有封装侧壁，第一气流口和第二气流口位于封装侧壁围设的区域内，封装侧壁的远离管壁的一端具有开口；壳盖，封闭封装侧壁的开口，壳盖和封装侧壁在主管材的外表面构造出具有安装腔的支气路封装体，安装腔连通第一气流口和第二气流口并形成支气路；用于检测气体流量的MEMS芯片，设置于安装腔中。本申请实施例，装配比较简单；可以通过模具来有效控制结构尺寸的精确性，产品的批量一致性较好；封装结构更加紧凑和小型化。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115231510 A (43)申请公布日 2022.10.25 (21)申请号 202210864868.0 (51)Int.Cl. B81B 7/00 (2006.01) (22)申请日 2022.07.21 B81B 7/02 (2006.01) (71)申请人微纳感知（合肥）技术有限公司 G01F 15/00 (2006.01) 地址 230088 安徽省合肥市高新区望江西 G01F 15/14 (2006.01) 路900号中安创谷科技园一期D6栋 G01F 15/18 (2006.01) 申请人深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 (72)发明人宁文果　方明东　周小勇　许磊　陈栋梁　谢东成　张岩　李志华　周睿颖　邹子纯　王传伟　马云龙　陈宾　陈陈　夏玉　 (74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 专利代理师任晓　浦彩华

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