基于超低能团簇离子束自组装制备功能纳米结构的方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115304022 A (43)申请公布日 2022.11.08 (21)申请号 202210802816.0 (22)申请日 2022.07.07 (71)申请人 武汉大学 地址 430072 湖北省武汉市武昌区八一路 299号 (72)发明人 瓦西里 ·帕里诺维奇　曾晓梅　 (74)专利代理机构 武汉科皓知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 42222 专利代理师 齐晨涵 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图3页 (54)发明名称 基于超低能团簇离子束自组装制备功能纳 米结构的方法 (57)摘要 本发明公开了一种基于超低能团簇离子束 自组装制备功能纳米结构的方法。本发明通过调 控团簇离子束的组分原子能、衬底法线与团簇离 子轰击方向之间的夹角、团簇离子剂量、团簇离 子种类、衬底温度等工艺参数，即可高效可控制 备出尺寸均匀、方向特定、排列有序的纳米结构。 特征尺寸低至6nm，超低纳米级特征尺寸助力于 半导体小型化、集成化的技术发展方向。本发明 技术操作简单、高效可控，基于物理溅射机理，不 涉及化学反应，不存在化学污染的问题，且无需 额外使用掩模版，适用于任何材质的衬底。 A 2 2 0 4 0 3 5 1 1 N C CN 115304022 A 权　利　要　求