一种基于石墨烯加热的电热微驱动器

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217708894 U (45)授权公告日 2022.11.01 (21)申请号 202221659181.5 (22)申请日 2022.06.30 (73)专利权人 南京邮电大学 地址 210000 江苏省南京市鼓楼区新模范 马路66号 (72)发明人 刘启发　宾璟橦　冯柯瑞　 (74)专利代理机构 南京纵横知识产权代理有限 公司 32224 专利代理师 董建林 (51)Int.Cl. B81B 3/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) H02N 2/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)实用新型名称 一种基于石墨烯加热的电热微驱动器 (57)摘要 本实用新型公开了一种基于石墨烯加热的 电热微驱动器，其结构为悬臂梁结构，包括驱动 层、偏置层、石墨烯加热层、支撑层和电极；石墨 烯作为加热材料，对驱动层实现加热，并由驱动 层和偏置层的不同相对位置，实现悬臂梁的不同 方向运动。本实用新型结合了石墨烯具有优良的 导电性和导热性的优势，实现具有高性能、高驱 动效率的电热式微驱动器。 U 4 9 8 8 0 7 7 1 2 N C CN 217708894 U 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种基于石墨烯加热的电热微驱动器，其特征在于，