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• 用于等离子体辅助的化学气相沉积的设备、系统和方法 公开日期：2024-06-14 公开号：CN114182234A 申请号：CN202110084312.5
  发明 用于等离子体辅助的化学气相沉积的设备、系统和方法

  • 申请号：CN202110084312.5
  • 公开号：CN114182234A
  • 公开日期：2024-06-14
  • 申请人：商先创国际股份有限公司

  本发明涉及用于等离子体辅助的化学气相沉积的设备(1)、系统(50)和方法(100)。在此，处理室(2)被配置成用于接纳至少一个工件载体(30)。根据本发明，该设备(1)被配置为用于借助于至少一个能够被该处理室(2)接纳的工件载体(30)来加热该处理室(2)。

  发布时间：2023-04-28 09:45:00

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• 一种生产高表面质量镀铝硅钢带的方法 公开日期：2024-06-14 公开号：CN113802079A 申请号：CN202110946220.3
  发明 一种生产高表面质量镀铝硅钢带的方法

  • 申请号：CN202110946220.3
  • 公开号：CN113802079A
  • 公开日期：2024-06-14
  • 申请人：马钢（合肥）钢铁有限责任公司

  本发明公开了一种生产高表面质量镀铝硅钢带的方法，属于连续热浸镀铝硅技术领域。本发明的生产高表面质量镀铝硅钢带的方法，包括酸洗、冷轧、清洗、连续退火、热浸镀铝硅和冷却处理，所述冷却包括预冷段和强冷段，其中预冷段是通过预冷风机将带钢温度冷却至620～630℃，强冷段包括三段强冷，三段强冷采用水雾冷却，且控制强冷段冷却速率≥30℃/s。本发明通过控制钢带表面粗糙度、清洗质量、退火炉气氛、气刀参数以及镀层结晶控制器参数，可以有效控制铝硅产品表面结晶尺寸、减少漏镀等典型缺陷，生产出高表面镀铝硅钢带。

  发布时间：2023-07-05 07:16:39

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• 一种微针上稳定疏水耐磨涂层的制备方法 公开日期：2024-06-14 公开号：CN114592174A 申请号：CN202111492234.9
  发明 一种微针上稳定疏水耐磨涂层的制备方法

  • 申请号：CN202111492234.9
  • 公开号：CN114592174A
  • 公开日期：2024-06-14
  • 申请人：杭州电子科技大学

  本发明涉及微针的表面防护领域，为解决现有现有技术下微针表面涂层均匀性、稳定性较差，机械强度不高，对微针的防护效果较差的问题，公开了一种微针上稳定疏水耐磨涂层的制备方法，包括以下步骤：1）微针基底预处理；2）靶材预处理；3）磁控溅射过渡层；4）磁控溅射疏水涂层。本发明中涂层的致密性、均匀性好，不影响微针使用并且能有效提升微针表面的化学稳定性、机械强度以及疏水效果，减少生物黏附、污染，涂层与微针基底的结合力好，防护时间长，同时本发明的涂层方法对微针材质兼容性好，可以实现在柔性、刚性、有机、无机等各种微针衬底上涂层。

  发布时间：2023-05-12 12:01:51

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• Fe-Pt-BN系溅射靶及其制造方法 公开日期：2024-06-14 公开号：CN114072534A 申请号：CN202080046332.7
  PCT发明 Fe-Pt-BN系溅射靶及其制造方法

  • 申请号：CN202080046332.7
  • 公开号：CN114072534A
  • 公开日期：2024-06-14
  • 申请人：田中贵金属工业株式会社

  本发明提供相对密度高、颗粒产生少的Fe‑Pt‑BN系溅射靶。一种Fe‑Pt‑BN系溅射靶，其在通过下述步骤进行测定的情况下，王水溶解后的残渣具有D90为5.5μm以下、小于1μm的微细粒子为35％以下的粒度分布。步骤：(1)从溅射靶切割出约4mm见方的试样片并粉碎，制备粉碎物；(2)使用网眼106μm和300μm的筛对粉碎物进行分级，采集通过300μm的筛并残留在106μm的筛上的粉末；(3)将粉末浸渍到加热至200℃的王水中，制备溶解了粉末的含残渣溶液；(4)将含残渣溶液用JIS P 3801中规定的5A的滤纸进行过滤，使滤纸上的残渣在80℃下干燥，制备残渣粉末；(5)使残渣粉末分散到含有表面活性剂的水中，制备试样溶液；(6)将试样溶液放到粒度分析仪中，测定粒度分布。

  发布时间：2023-04-26 09:34:27

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• 一种高强韧纳米多层金属复合材料及其梯度界面设计方法 公开日期：2024-06-14 公开号：CN117904581A 申请号：CN202410297062.7
  发明 一种高强韧纳米多层金属复合材料及其梯度界面设计方法

  • 申请号：CN202410297062.7
  • 公开号：CN117904581A
  • 公开日期：2024-06-14
  • 申请人：中南大学

  本发明提供了一种高强韧纳米多层金属复合材料及其梯度界面设计方法。该方法采用磁控溅射在Cu/Nb纳米多层结构的界面区域引入纳尺度非晶界面层，界面层由不同含量的CuNb合金组成，且Cu、Nb的含量沿界面厚度方向呈梯度变化。不同含量的CuNb合金由单质Cu和Nb靶共溅射实现，从而避免非晶合金靶材制备。本发明提出的梯度界面设计方法显著抑制了Cu/Nb纳米多层结构的剪切带形成及应变局域化（剪切失稳），且提升了强度（最高提升120MPa）。本发明首次在纳米多层结构材料实现了纳尺度界面成分的梯度设计，工艺简洁、成本低廉、可重复性高，为设计具有高强度和优异变形性能的纳米多层金属复合材料提供了一种可行的方法。

  发布时间：2024-04-21 07:52:19

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• 一种扩散构件和半导体工艺设备 公开日期：2024-06-14 公开号：CN116791065A 申请号：CN202310809470.1
  发明 一种扩散构件和半导体工艺设备

  • 申请号：CN202310809470.1
  • 公开号：CN116791065A
  • 公开日期：2024-06-14
  • 申请人：拓荆科技(上海)有限公司

  本发明的实施例提供了一种扩散构件及半导体工艺设备，涉及半导体制造技术领域。扩散构件用于安装在进气口，以进行导流和均流。扩散构件包括扩散件，扩散件具有导流面，扩散件沿扩散件的周向间隔设置有多个导流通道，且导流通道贯穿扩散件。由进气口流入的工艺气体可沿导流面和导流通道流动。其能够提高半导体工艺设备的镀膜厚度的均一性。

  发布时间：2023-09-24 08:30:19

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• 掩膜板及其制作方法 公开日期：2024-06-14 公开号：CN114752889A 申请号：CN202210276961.X
  发明 掩膜板及其制作方法

  • 申请号：CN202210276961.X
  • 公开号：CN114752889A
  • 公开日期：2024-06-14
  • 申请人：京东方科技集团股份有限公司|||成都京东方光电科技有限公司

  本公开提供了一种掩膜板及其制作方法，涉及显示技术领域。该掩膜板的制作方法包括：形成具有第一开口的掩膜基板；将掩膜基板铺设于一掩膜板框架一侧，并对掩膜基板进行张网；在掩膜基板背离掩膜板框架的表面设置遮盖第一开口的支撑层；形成覆盖掩膜基板的掩膜层，掩膜层填充第一开口，且掩膜层位于第一开口内的区域具有多个第二开口；剥离支撑层。本公开通过在掩膜基板上形成精细金属掩膜板开口，并在精细金属掩膜板开口中形成电铸精细掩膜板开口，提高了掩膜板的分辨率，同时解决了传统的电铸精细掩膜板的焊接难度大、低开口率、张网误差大以及热膨胀系数大引起的蒸镀混色不良问题。

  发布时间：2023-05-16 10:44:52

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• 一种绝缘套圈及其制备方法与应用 公开日期：2024-06-14 公开号：CN117778938A 申请号：CN202410200387.9
  发明 一种绝缘套圈及其制备方法与应用

  • 申请号：CN202410200387.9
  • 公开号：CN117778938A
  • 公开日期：2024-06-14
  • 申请人：中机凯博表面技术江苏有限公司

  本发明提供了一种绝缘套圈及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：对套圈依次进行预处理和等离子喷涂，形成绝缘涂层，得到绝缘套圈前体；所述等离子喷涂的喷涂料包括氧化铝和氮化铝；采用无机密封剂对所述绝缘套圈前体进行密封处理，然后进行固化，得到绝缘套圈中间体；对所述绝缘套圈中间体进行磨削处理，得到所述绝缘套圈。本发明通过优化绝缘涂层的成分组成、喷涂条件以及密封剂，提高了绝缘涂层的综合性能，使其具有优异的耐温和绝缘性能；所述电机轴绝缘组件包括分体组合的电机轴和所述绝缘套圈，在电机轴本体上去除绝缘套圈的余量，使得电机轴本体和绝缘套圈可单独加工，降低了喷涂难度，提高了加工效率。

  发布时间：2024-03-31 07:50:57

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• 一种自再生功能的抗菌复合涂层及其制备方法 公开日期：2024-06-14 公开号：CN114016002A 申请号：CN202011636308.7
  发明 一种自再生功能的抗菌复合涂层及其制备方法

  • 申请号：CN202011636308.7
  • 公开号：CN114016002A
  • 公开日期：2024-06-14
  • 申请人：宁波摩华科技有限公司

  本发明涉及抗菌技术领域，特别涉及一种自再生功能的抗菌复合涂层及其制备方法。该抗菌复合涂层附着于基材上，该抗菌复合涂层由若干层抗菌层和若干层可降解层交替复合而成；其中，抗菌层的厚度为0.2‑2µm，可降解层的厚度为0.1‑1µm。本发明的抗菌复合涂层具有良好的杀菌效果，通过采用多层交替复合的可降解层和抗菌层，使得表层的抗菌层在失去抗菌能力后，利用可降解层的降解脱落，暴露出来的新的抗菌层延续抗菌能力。

  发布时间：2023-04-24 09:51:12

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• 一种真空蒸镀机 公开日期：2024-06-11 公开号：CN112626486A 申请号：CN202011618412.3
  发明 一种真空蒸镀机

  • 申请号：CN202011618412.3
  • 公开号：CN112626486A
  • 公开日期：2024-06-11
  • 申请人：苏州佑伦真空设备科技有限公司

  本申请提出一种真空蒸镀机，包括：蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源、控制机构、和驱动机构，所述蒸镀机本体内部分为蒸镀腔体和控制件腔体，加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构均设置于蒸镀腔体内，控制机构设置于控制件腔体内，所述驱动机构包括马达和抽真空泵组，蒸镀腔体的一侧面设有主阀腔，主阀腔的下部设有与主阀腔通过真空管连通的抽真空泵组，抽真空泵组位于蒸镀机本体外部的支架上，蒸镀腔体为中空的圆柱体或者为中空的椭圆柱体，镀锅结构的伞架有3个，设置在蒸镀腔体的腔体侧面内壁上的防着板，能够与蒸镀腔体的腔体侧面内壁挂住固定及拆卸。

  发布时间：2023-06-03 12:20:35

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