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PCT发明

Fe-Pt-BN系溅射靶及其制造方法

2023-04-26 09:34:27 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080046332.7
  • 公开（公告）日：2024-06-14
  • 公开（公告）号：CN114072534A
  • 申请人：田中贵金属工业株式会社
摘要：本发明提供相对密度高、颗粒产生少的Fe‑Pt‑BN系溅射靶。一种Fe‑Pt‑BN系溅射靶，其在通过下述步骤进行测定的情况下，王水溶解后的残渣具有D90为5.5μm以下、小于1μm的微细粒子为35％以下的粒度分布。步骤：(1)从溅射靶切割出约4mm见方的试样片并粉碎，制备粉碎物；(2)使用网眼106μm和300μm的筛对粉碎物进行分级，采集通过300μm的筛并残留在106μm的筛上的粉末；(3)将粉末浸渍到加热至200℃的王水中，制备溶解了粉末的含残渣溶液；(4)将含残渣溶液用JIS P 3801中规定的5A的滤纸进行过滤，使滤纸上的残渣在80℃下干燥，制备残渣粉末；(5)使残渣粉末分散到含有表面活性剂的水中，制备试样溶液；(6)将试样溶液放到粒度分析仪中，测定粒度分布。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114072534 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202080046332.7 (74)专利代理机构 中原信达知识产权代理有限 责任公司 11219 (22)申请日 2020.04.07 代理人 满凤　金龙河 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-121702 2019.06.28 JP C23C 14/34 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.12.23 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/015625 2020.04.07 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/261702 JA 2020.12.30 (71)申请人 田中贵金属工业株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 山本孝充　西浦正纮　黑濑健太　 小林弘典　宫下敬史　松田朋子　 权利要求书1页 说明书13页 附图2页 (54)发明名称 Fe-Pt-BN系溅射靶及其制造方法

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