一种微针上稳定疏水耐磨涂层的制备方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114592174 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202111492234.9 (22)申请日 2021.12.08 (71)申请人 杭州电子科技大学 地址 310018 浙江省杭州市杭州经济开发 区白杨街道2号大街1158号 (72)发明人 张雪峰　张鉴　石振　 (74)专利代理机构 杭州杭诚专利事务所有限公 司 33109 专利代理师 李博 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 一种微针上稳定疏水耐磨涂层的制备方法 (57)摘要 本发明涉及微针的表面防护领域，为解决现 有现有技术下微针表面涂层均匀性、稳定性较 差，机械强度不高，对微针的防护效果较差的问 题，公开了一种微针上稳定疏水耐磨涂层的制备 方法，包括以下步骤：1）微针基底预处理；2）靶材 预处理；3）磁控溅射过渡层；4）磁控溅射疏水涂 层。本发明中涂层的致密性、均匀性好，不影响微 针使用并且能有效提升微针表面的化学稳定性、 机械强度以及疏水效果，减少生物黏附、污染，涂 层与微针基底的结合力好，防护时间长，同时本 发明的涂层方法对微针材质兼容性好，可以实现 在柔性、刚性、有机、无机等各种微针衬底上涂