一种真空蒸镀机

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112626486 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202011618412.3 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 苏州佑伦真空设备科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市苏州工业园区 东旺路45号 (72)发明人 薛蒙晓　 (74)专利代理机构 苏州彰尚知识产权代理事务 所(普通合伙) 32336 代理人 曹恒涛 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/30 (2006.01) C23C 14/52 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图6页 (54)发明名称 一种新型真空蒸镀机 (57)摘要 本申请提出一种新型真空蒸镀机，包括：蒸 镀机本体、加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机 构、坩埚、离子源、控制机构、和驱动机构，所述蒸 镀机本体内部分为蒸镀腔体和控制件腔体，加热 灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源 和驱动机构均设置于蒸镀腔体内，控制机构设置 于控制件腔体内，所述驱动机构包括马达和抽真 空泵组，蒸镀腔体的一侧面设有主阀腔，主阀腔 的下部设有与主阀腔通过真空管连通的抽真空 泵组，抽真空泵组位于蒸镀机本体外部的支架 上，蒸镀腔体为中空的圆柱体或者