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• 高功率脉冲磁控溅射与调制脉冲磁控溅射复合共沉积方法 公开日期：2025-04-11 公开号：CN117778977A 申请号：CN202311857011.7
  发明 高功率脉冲磁控溅射与调制脉冲磁控溅射复合共沉积方法

  • 申请号：CN202311857011.7
  • 公开号：CN117778977A
  • 公开日期：2025-04-11
  • 申请人：山西农业大学

  本发明公开了高功率脉冲磁控溅射与调制脉冲磁控溅射复合共沉积方法，属于材料表面改性技术领域。针对现有单靶高功率脉冲磁控溅射(调制脉冲磁控溅射)、直流‑高功率脉冲磁控共溅射以及同质多靶调制脉冲磁控溅射复合共沉积等方法难以实现对多元合金涂层成分与微结构进行系统调控的问题，本发明结合高功率脉冲磁控溅射与调制脉冲磁控溅射的等离子体与脉冲放电特性，通过控制溅射功率、溅射频率、占空比、脉冲时间间隔、峰值电流以及偏压幅值等参数实现对涂层成分与微结构的调控。

  发布时间：2024-03-31 07:44:34

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• 一种用于电解水制氢的非晶态铜钨合金及其制备方法 公开日期：2025-04-11 公开号：CN116770242A 申请号：CN202310568969.8
  发明 一种用于电解水制氢的非晶态铜钨合金及其制备方法

  • 申请号：CN202310568969.8
  • 公开号：CN116770242A
  • 公开日期：2025-04-11
  • 申请人：暨南大学

  本发明公开了一种用于电解水制氢的非晶态铜钨合金及其制备方法，通过铜靶与钨靶磁控共溅射的方法，可获得厚度约1μm至50μm的非晶态铜钨合金薄膜。本发明制备方法与常规方法相比，工艺过程简单，适用于二元及多元铜钨合金的大规模制备。本发明所制备的非晶态铜钨合金具有优异的电催化析氢性能，在10mA cm‑2的电流密度下只有65mV的过电位，在燃料电池、电解水制氢领域具有良好应用前景。

  发布时间：2023-09-24 07:18:09

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• 一种低界面热阻的氮化镓/金刚石复合散热层的制备方法 公开日期：2025-04-11 公开号：CN116463629A 申请号：CN202310476236.1
  发明 一种低界面热阻的氮化镓/金刚石复合散热层的制备方法

  • 申请号：CN202310476236.1
  • 公开号：CN116463629A
  • 公开日期：2025-04-11
  • 申请人：太原理工大学

  本发明公开了一种低界面热阻的氮化镓/金刚石复合散热层的制备方法，将抛光的自支撑氮化镓晶圆作为衬底，放置于磁控溅射镀膜装置的旋转样品台上；将腔室抽真空后通入氩气和氮气，使用高纯靶材作为射频溅射靶，在该衬底抛光表面沉积一层介质层薄膜；然后使用MPCVD设备配合偏压增强形核技术对介质层表面进行预处理；关闭偏压后，在经过预处理的介质层表面沉积高热导率的金刚石散热层，从而得到一种具有金刚石散热层的氮化镓晶片结构。本发明通过调控偏压和金刚石生长工艺制备氮化镓/金刚石复合散热层，界面热阻大小可控，具有界面热阻低、结合良好、金刚石薄膜热导率高的特点，对于促进高频高功率氮化镓功率器件的应用推广具有显著意义。

  发布时间：2023-07-23 17:33:28

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• 锂电铜箔废弃防氧化液回收利用装置及其使用方法 公开日期：2025-04-11 公开号：CN116426926A 申请号：CN202310305818.3
  发明 锂电铜箔废弃防氧化液回收利用装置及其使用方法

  • 申请号：CN202310305818.3
  • 公开号：CN116426926A
  • 公开日期：2025-04-11
  • 申请人：江西华创新材有限公司

  本发明公开了锂电铜箔废弃防氧化液回收利用装置及其使用方法，包括：左垂直腔体；右垂直腔体；水平腔体；侧板，侧板、左垂直腔体、右垂直腔体和水平腔体之间围成容纳腔；第一水平隔板；引流孔，所述引流孔开设于第一水平隔板中央；第二水平隔板；转轴，所述转轴底部转动连接在第二水平隔板中央；叶片；第一单向阀；第三水平隔板；第四水平隔板；压簧，所述压簧固接于第四水平隔板和第二水平隔板之间；排液口；第二单向阀。本发明的有益效果是结构紧凑，将废弃防氧化液的加碱处理、储存和补充铬离子集成在一个装置内完成，无需管道连接流转，减少了泵的数量，降低了能耗，缩短了流程，占地面积小。

  发布时间：2023-07-16 07:22:24

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• 一种THB抗氧化金属化薄膜及其制作方法 公开日期：2025-04-11 公开号：CN116397198A 申请号：CN202310360438.X
  发明 一种THB抗氧化金属化薄膜及其制作方法

  • 申请号：CN202310360438.X
  • 公开号：CN116397198A
  • 公开日期：2025-04-11
  • 申请人：安徽赛福电子有限公司

  本发明公开了一种THB抗氧化金属化薄膜，包括高分子聚合物基膜层，锌层，抗氧化油膜层，还包括极性官能团层，第一无定形三氧化二铝层，第二无定形三氧化二铝层，所述极性官能团层为高分子聚合物基膜层经过等离子体处理后，产生C‑O/C‑N，C＝O/N‑C＝O，O‑C＝O等极性官能团，所述第一无定形三氧化二铝层为真空蒸镀的金属铝结合极性官能团里的氧形成，所述第二无定形三氧化二铝层位于锌层的外侧，为金属铝结合外界空气中氧而形成，所述抗氧化油膜层位于最外层。本发明金属化薄膜外层抗氧化油膜层和致密的无定形三氧化二铝层存在，保护了内侧的锌层不转化成氧化锌，在金属化薄膜使用前长期保存不氧化。

  发布时间：2023-07-09 07:15:26

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• 一种薄膜材料样品的高通量制备装置 公开日期：2025-04-11 公开号：CN116334573A 申请号：CN202310341059.6
  发明 一种薄膜材料样品的高通量制备装置

  • 申请号：CN202310341059.6
  • 公开号：CN116334573A
  • 公开日期：2025-04-11
  • 申请人：北京航空航天大学

  本发明提供一种薄膜材料样品的高通量制备装置，包括：壳体、材料释放装置、基台、固定掩膜板和活动掩膜板；材料释放装置设置在壳体的内腔中，用以向内腔中释放沉积材料的气相原子，基台具有位于在内腔中的承接面；固定掩膜板固定连接在承接面上，在固定掩膜板上设置有轴线与承接面的沉积孔，活动掩膜板体贴合在固定掩膜板的背对基台的表面上，在活动掩膜板上设置有能够与沉积孔相对应的流通孔，内腔中的气相原子能够通过流通孔进入沉积孔中，并在沉积孔内沉积在沉积表面上。其不仅结构简单、制作成本低廉，而且实现了小型化设计的要求，同时还具有便于操作的优点。

  发布时间：2023-06-29 07:14:55

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• 一种三维交联界面强韧化金刚石膜-基系统制备方法 公开日期：2025-04-11 公开号：CN116334578A 申请号：CN202310283117.4
  发明 一种三维交联界面强韧化金刚石膜-基系统制备方法

  • 申请号：CN202310283117.4
  • 公开号：CN116334578A
  • 公开日期：2025-04-11
  • 申请人：烟台大学

  本发明公开了一种三维交联界面强韧化金刚石膜‑基系统制备方法，包括以下步骤：硬质合金基底超短脉冲激光加工三维微纳结构并进行脱Co；对基底表面三维微纳结构进行超声植晶；金刚石涂层生长，采用化学气相沉积技术（CVD）在硬质合金表面生长1μm左右厚度的微米晶金刚石涂层；通过调控金刚石锥的高度和多层膜调制周期实现三维交联界面结构的控制。本发明的有益效果在于：通过基底表面微纳结构、金刚石锥、微纳米交替金刚石涂层形成的三维交联界面有效抑制涂层内部以及膜基界面处的裂纹扩展，界面处产生裂纹屏蔽效应，减少微裂纹的归并现象，抑制贯穿裂纹的产生，达到提升涂层韧性和膜‑基界面断裂韧性的目的。

  发布时间：2023-06-29 07:13:08

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• 一种表面镀覆钽镀层的骨科植入物及其制备方法 公开日期：2025-04-11 公开号：CN116334542A 申请号：CN202310279153.3
  发明 一种表面镀覆钽镀层的骨科植入物及其制备方法

  • 申请号：CN202310279153.3
  • 公开号：CN116334542A
  • 公开日期：2025-04-11
  • 申请人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所|||上海交通大学医学院附属第九人民医院

  本发明涉及骨科植入物表面改性技术，公开一种表面镀覆钽镀层的骨科植入物及其制备方法，包括：步骤1，将待镀覆植入物器件清洗；步骤2，采用纯Ta靶材在真空条件下对器件表面进行溅射镀膜；步骤3，将镀膜后的器件进行真空热处理后得到成品，热处理温度为650‑1000℃。本发明采用了磁控溅射法沉积不同厚度的Ta镀层，采用特定温度进行热处理，使得镀层Ta元素与基体进行相互扩散，提高附着力，实现阻碍了合金中有害元素在组织的渗出，同时提升器件的组织相容性，特别是对成骨细胞的相容性，促进组织愈合的效果。

  发布时间：2023-06-29 07:13:02

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• 泵盖组件及其PVD真空设备 公开日期：2025-04-11 公开号：CN116288232A 申请号：CN202310222864.7
  发明 泵盖组件及其PVD真空设备

  • 申请号：CN202310222864.7
  • 公开号：CN116288232A
  • 公开日期：2025-04-11
  • 申请人：株洲三一硅能技术有限公司

  本发明涉及PVD技术领域，提供一种泵盖组件及其PVD真空设备。该泵盖组件，包括：泵盖本体，泵盖本体包括：第一底板，第一底板适于与反应腔室密封配合；制冷装置，制冷装置固定在第一底板，用于对反应腔室内部进行冷却；加热装置，加热装置固定在第一底板，用于对处于反应腔室内部的工件进行加热。本发明通过将制冷装置和加热装置集成固定在泵盖本体的第一底板的下方，能够随泵盖本体一同取下，提高了设备集成度，占用空间小，提高了空间利用率，可为反应腔室安装其他结构预留大量空间；当需要对加热装置和/或制冷装置进行清洁或维护等时，可以直接将泵盖组件从反应腔室上取下，以便对加热装置和/或制冷装置进行清洁或维护。

  发布时间：2023-06-27 09:39:08

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• 一种合金粉末丝网复合轧制后表面熔覆的方法 公开日期：2025-04-11 公开号：CN116288328A 申请号：CN202310141820.1
  发明 一种合金粉末丝网复合轧制后表面熔覆的方法

  • 申请号：CN202310141820.1
  • 公开号：CN116288328A
  • 公开日期：2025-04-11
  • 申请人：华南理工大学

  本发明公开了一种合金粉末丝网复合轧制后表面熔覆的方法，首先将合金粉末材料均匀地轧制到金属丝网带上，获得合金粉末丝网带坯体，然后将合金粉末丝网带坯体覆盖贴合在金属固体的表面，并固定(如焊接固定金属粉末丝网复合坯体带料边部)，然后将合金粉末丝网带坯体熔覆到金属固体表面。本发明通过将合金粉末均匀轧制在金属丝网带上，能够在保持粉末物理化学性能的同时解决表面熔覆过程中的送粉问题，简化表面熔覆设备机械结构，提高表面熔覆生产效率。

  发布时间：2023-06-27 09:33:38

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