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• 一种掩膜版 公开日期：2024-06-04 公开号：CN114525470A 申请号：CN202210071205.3
  发明 一种掩膜版

  • 申请号：CN202210071205.3
  • 公开号：CN114525470A
  • 公开日期：2024-06-04
  • 申请人：成都拓维高科光电科技有限公司

  本发明公开了一种掩膜版，涉及显示设备技术领域；技术方案：一种掩膜版，包括掩膜版本体，所述掩膜版本体的端面设有若干凹槽。本发明提供的掩膜版，在掩膜版本体的端面设有若干凹槽，可减小掩膜版本体的重量，因此，能够减小磁性隔板吸附掩膜版后掩膜版与玻璃基板之间的压力，进而减小掩膜版与玻璃基板间的摩擦力，从而减小摩擦产生的静电量，以降低玻璃基板上的电路层或者蒸镀的有机材料被击穿的概率，提高玻璃基板蒸镀良品率。

  发布时间：2023-05-10 11:52:04

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• 具有被屏蔽板装置遮盖的进气机构的CVD反应器 公开日期：2024-06-04 公开号：CN113166940A 申请号：CN201980080267.7
  PCT发明 具有被屏蔽板装置遮盖的进气机构的CVD反应器

  • 申请号：CN201980080267.7
  • 公开号：CN113166940A
  • 公开日期：2024-06-04
  • 申请人：艾克斯特朗欧洲公司

  本发明涉及一种CVD反应器(1)，包括：能被加热装置(4)加热到处理温度的用于容纳待处理的基板(3)的基座(2)，用于将处理气体导入布置在遮盖进气机构(5)的出气面(9’)的透气的屏蔽板(10)与基座(2)之间的处理室(12)的进气机构(5)。按本发明建议，屏蔽板(10)的边缘区域(19)被支撑环(20)这样地支撑，使得支撑面位于基座(2)的侧壁(27)外部。

  发布时间：2023-06-15 07:14:40

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• 一种模具用高结合力硬质涂层及其制备工艺 公开日期：2024-06-04 公开号：CN114196919A 申请号：CN202111526539.7
  发明 一种模具用高结合力硬质涂层及其制备工艺

  • 申请号：CN202111526539.7
  • 公开号：CN114196919A
  • 公开日期：2024-06-04
  • 申请人：昆山汇创杰纳米科技有限公司

  本发明公开了一种模具用高结合力硬质涂层及其制备工艺，涉及表面强化领域，包括复合过渡层、缓冲层和功能层，所述复合过渡层沉积于基底表面，所述缓冲层设置于复合过渡层和功能层之间；其中，所述复合过渡层由AlCr和TiSi交替沉积或者由AlTi和TiSi交替沉积而成，所述缓冲层由CrN沉积而成，所述功能层由TiSiN沉积而成，制备工艺包括：模具前处理、PVD真空镀膜和镀膜后处理。本发明提出的模具用高结合力硬质涂层制备工艺，有效的解决了传统TiSi类涂层在硬度低的基材上沉积时易发生脱落的问题，实现TiSi类涂层在模具表面强化的稳定应用，制备的涂层与基体结合力好，不易产生裂纹；使用后抗氧化性能好，抗剥离强度高，涂层不易脱落。

  发布时间：2023-04-28 10:06:56

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• 用于PVD提高金属膜回流效率的装置 公开日期：2024-06-04 公开号：CN117867454A 申请号：CN202410278561.1
  发明 用于PVD提高金属膜回流效率的装置

  • 申请号：CN202410278561.1
  • 公开号：CN117867454A
  • 公开日期：2024-06-04
  • 申请人：无锡尚积半导体科技有限公司

  本发明提供一种PVD提高金属膜回流效率的装置，包括溅射腔、升降载台部、副腔、盖件；溅射腔用于晶圆覆膜；升降载台部包括能够沿竖直方向升降的晶圆加热载台、位于晶圆加热载台顶部的静电吸附件、贯穿所述晶圆加热载台和静电吸附件的气路；副腔位于溅射腔的一侧面并连通于溅射腔；盖件运转于溅射腔和副腔之间，所述盖件顶部中心处设置有排气孔；其中，当所述盖件运转至溅射腔内时，所述盖件罩住晶圆并在盖件和静电吸附件之间形成辅热腔室，热气从气路进入辅热腔室内，先后流经晶圆背面、晶圆侧面、晶圆正面，最后从排气孔排出辅热腔室。本申请实现晶圆表面均匀受热受压，减少金属膜回流填孔的时间，提高晶圆镀膜的效率。

  发布时间：2024-04-16 07:30:13

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• 一种异型靶材及磁控溅射工艺 公开日期：2024-06-04 公开号：CN117248187A 申请号：CN202311387940.6
  发明 一种异型靶材及磁控溅射工艺

  • 申请号：CN202311387940.6
  • 公开号：CN117248187A
  • 公开日期：2024-06-04
  • 申请人：无锡尚积半导体科技有限公司

  本发明提供一种异型靶材，包括：平面主部，所述平面主部用于与基片相对而设；倾斜辅部，所述倾斜辅部自平面主部的边缘向外延伸，并朝向基片方向倾斜设置，所述倾斜辅部与平面主部之间的夹角为5°～45°；所述平面主部可以是圆形，相应地，所述倾斜辅部为围绕平面主部设置的环形；所述平面主部的宽度大于基片的宽度，但不超过基片宽度的110%，所述平面主部和倾斜辅部的整体宽度为基片宽度的130%～160%。本发明还提出了利用异型靶材的磁控溅射工艺。本发明能够使得磁控溅射镀膜形成的薄膜膜厚均匀性更佳，同时实现更优的微孔内壁薄膜镀制效果。

  发布时间：2023-12-25 07:23:01

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• 一种耐腐蚀锌铝镁复合镀层、镀层钢板及其制备方法 公开日期：2024-06-04 公开号：CN117626153A 申请号：CN202311373676.0
  发明 一种耐腐蚀锌铝镁复合镀层、镀层钢板及其制备方法

  • 申请号：CN202311373676.0
  • 公开号：CN117626153A
  • 公开日期：2024-06-04
  • 申请人：致邦控股（广东）有限公司|||江西亚钛新材料科技有限公司

  本发明涉及一种耐腐蚀锌铝镁复合镀层、镀层钢板及其制备方法，属于复合金属镀层技术领域。本发明中所提供的表面活性剂为烷基酚聚氧乙烯醚及脂肪醇聚氧乙烯醚，无机耐腐蚀剂为次磷酸钙及次磷酸钠，有机耐腐蚀剂为钛酸四异丙酯溶液；本发明中所提供的表面处理‑无机耐腐蚀剂涂覆‑热处理‑有机耐腐蚀剂涂覆‑二次热处理的工艺可在锌铝镁镀层钢板上形成一层耐腐蚀薄膜，具有优异的耐腐蚀性能，且制造过程中绿色环保，代替了传统工艺中的镀镍与镀锌的流程，克服了锌铝镁镀层钢板在镀镍及镀锌过程中易形成孔隙和裂纹、镀层组分分布不均匀、防腐性能受到空气中的腐蚀影响较大的缺点。

  发布时间：2024-03-05 07:13:28

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• 一种新能源柱状电池铝壳用清洗剂 公开日期：2024-06-04 公开号：CN116219444A 申请号：CN202310181275.9
  发明 一种新能源柱状电池铝壳用清洗剂

  • 申请号：CN202310181275.9
  • 公开号：CN116219444A
  • 公开日期：2024-06-04
  • 申请人：福建省佑达环保材料有限公司

  本发明公开了一种用于新能源柱状电池铝壳制造过程的清洗剂，属于新能源电池制造领域，其是以无机碱、缓蚀剂、双子型表面活性剂、助洗剂、增溶剂为原料制成。本发明通过无机碱和相应助剂的搭配形成稳定持久的弱碱环境，在提高清洗力的同时能有效避免过高碱性导致的壳体腐蚀，同时通过葡萄糖类双子型表面活性剂与助洗剂和增溶剂的协同作用，可高效除去常见类型的拉伸油，其易清洗、不残留，不易氧化壳体，且持久耐用、环保高效，可同时解决大规模连续生产的良率问题。

  发布时间：2023-06-11 11:44:30

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• 一种高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜及其制备方法与应用 公开日期：2024-06-04 公开号：CN116904925A 申请号：CN202310906009.8
  发明 一种高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜及其制备方法与应用

  • 申请号：CN202310906009.8
  • 公开号：CN116904925A
  • 公开日期：2024-06-04
  • 申请人：广东省科学院新材料研究所

  本发明公开了一种高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜及其制备方法与应用，属于表面处理技术领域。该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜包括用于在基底表面依次设置的Cr打底层、CrxSiyCz梯度过渡层以及Si‑DLC功能层，该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜具有较高的硬度和弹性模量。其可在高温摩擦过程中，于摩擦副处原位形成由非晶碳和SiOx组成的致密转移膜，有效降低涂层和摩擦副之间的摩擦系数，在高温大气环境下实现宏观尺度上的稳定超滑，有望将超滑技术推向工业应用。该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜的制备具有设备简单、沉积温度低、工艺成熟、成膜均匀、重复性好等特点，极大拓宽了碳基薄膜潜在的应用场景。

  发布时间：2023-10-22 07:32:26

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• PVD设备中的磁性模组 公开日期：2024-06-04 公开号：CN117364045A 申请号：CN202311650328.3
  发明 PVD设备中的磁性模组

  • 申请号：CN202311650328.3
  • 公开号：CN117364045A
  • 公开日期：2024-06-04
  • 申请人：无锡尚积半导体科技有限公司

  本发明提供一种PVD设备中的磁性模组，包括：第一磁体组件，包括分布于第一磁体组件内圈的若干个第一磁极和分布于第一磁体组件外圈的若干个第二磁极；所述第一磁极和第二磁极极性相反，且均朝向阴极靶材方向；驱动组件，与第一磁体组件偏心连接，用于驱动第一磁体组件以偏心方式旋转；第二磁体组件，围绕第一磁体组件设置，包括分布于第二磁体组件内圈的若干个第三磁极和分布于第二磁体组件外圈的若干个第四磁极；所述第三磁极和第四磁极极性相反，且均朝向阴极靶材方向；所述第二磁极与第三磁极的极性相同。

  发布时间：2024-01-26 07:26:41

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• 含锌组合物及其应用 公开日期：2024-06-04 公开号：CN114427095A 申请号：CN202011025590.5
  发明 含锌组合物及其应用

  • 申请号：CN202011025590.5
  • 公开号：CN114427095A
  • 公开日期：2024-06-04
  • 申请人：中国石油化工股份有限公司|||中国石油化工股份有限公司北京化工研究院

  本发明涉及循环水处理领域，公开了含锌组合物及其应用，该含锌组合物包括：水解聚马来酸酐、磺酸盐共聚物、锌盐和酒石酸盐。该含锌组合物不含磷，避免了因磷含量过高而引起的水体富营养化问题以及磷对循环水排污水生化处理有影响的问题，环境友好，并且该含锌组合物药剂成分少，成本低，与其他水处理剂不产生干扰，并且低浓度的预膜剂即可作为缓蚀阻垢剂用于工业循环冷却水中；通过所述含锌组合物中各组分的协同作用，使得该含锌组合物成膜时间短，所成的膜均匀致密，能够很好的降低循环水系统中的设备及管道的腐蚀，并且预膜后无需排污可直接转入正常运行，易于大规模生产应用。

  发布时间：2023-05-09 11:09:09

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