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发明

一种高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜及其制备方法与应用2024

2023-10-22 07:32:26 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202310906009.8
  • 公开（公告）日：2024-06-04
  • 公开（公告）号：CN116904925A
  • 申请人：广东省科学院新材料研究所
摘要：本发明公开了一种高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜及其制备方法与应用，属于表面处理技术领域。该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜包括用于在基底表面依次设置的Cr打底层、CrxSiyCz梯度过渡层以及Si‑DLC功能层，该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜具有较高的硬度和弹性模量。其可在高温摩擦过程中，于摩擦副处原位形成由非晶碳和SiOx组成的致密转移膜，有效降低涂层和摩擦副之间的摩擦系数，在高温大气环境下实现宏观尺度上的稳定超滑，有望将超滑技术推向工业应用。该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜的制备具有设备简单、沉积温度低、工艺成熟、成膜均匀、重复性好等特点，极大拓宽了碳基薄膜潜在的应用场景。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116904925 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202310906009.8 C23C 14/02 (2006.01) (22)申请日 2023.07.21 (71)申请人 广东省科学院新材料研究所 地址 510650 广东省广州市天河区长兴路 363号 (72)发明人 林松盛　陈彦军　张程　李海潮　 苏一凡　唐鹏　石倩　韦春贝　 黄淑琪　代明江　周克崧　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇知识产权代理 有限公司 11463 专利代理师 颜欢 (51)Int.Cl. C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/16 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) 权利要求书2页 说明书11页 附图2页 (54)发明名称 一种高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜及其 制备方法与应用 (57)摘要 本发明公开了一种高温超润滑硅掺杂类金 刚石碳膜及其制备方法与应用，属于表面处理技 术领域。该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜包括 用于在基底表面依次设置的Cr打底层、Cr Si C x y z 梯度过渡层以及Si‑DLC功能层，该高温超润滑硅 掺杂类金刚石碳膜具有较高的硬度和弹性模量。 其可在高温摩擦

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