一种模具用高结合力硬质涂层及其制备工艺
- 申请专利号:CN202111526539.7
- 公开(公告)日:2024-06-04
- 公开(公告)号:CN114196919A
- 申请人:昆山汇创杰纳米科技有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114196919 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111526539.7 (22)申请日 2021.12.14 (71)申请人 昆山汇创杰纳米科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市昆山市巴城镇 景潭路366号4号厂房 (72)发明人 周少峰 王敏 孙福刚 范永强 (51)Int.Cl. C23C 14/16 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/32 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种模具用高结合力硬质涂层及其制备工 艺 (57)摘要 本发明公开了一种模具用高结合力硬质涂 层及其制备工艺,涉及表面强化领域,包括复合 过渡层、缓冲层和功能层,所述复合过渡层沉积 于基底表面,所述缓冲层设置于复合过渡层和功 能层之间;其中,所述复合过渡层由AlCr和TiSi 交替沉积或者由AlTi和TiSi交替沉积而成,所述 缓冲层由CrN沉积而成,所述功能层由TiSiN沉积 而成,制备工艺包括:模具前处理、PVD真空镀膜 和镀膜后处理。本发明提出的模具用高结合力硬 质涂层制备工艺,有效的解决了传统TiSi类涂层 在硬度低的基材上沉积时易发生脱落的问题,实 A 现TiSi类涂层在模具表面强化的稳定应用,制备 9 的涂层与基体