PVD设备中的磁性模组2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117364045 A (43)申请公布日 2024.01.09 (21)申请号 202311650328.3 (22)申请日 2023.12.05 (71)申请人 无锡尚积半导体科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区长江南 路35-312号厂房 (72)发明人 张陈斌　刘超　 (74)专利代理机构 无锡市兴为专利代理事务所 (特殊普通合伙) 32517 专利代理师 屠志力 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 PVD设备中的磁性模组 (57)摘要 本发明提供一种PVD设备中的磁性模组，包 括：第一磁体组件，包括分布于第一磁体组件内 圈的若干个第一磁极和分布于第一磁体组件外 圈的若干个第二磁极；所述第一磁极和第二磁极 极性相反，且均朝向阴极靶材方向；驱动组件，与 第一磁体组件偏心连接，用于驱动第一磁体组件 以偏心方式旋转；第二磁体组件，围绕第一磁体 组件设置，包括分布于第二磁体组件内圈的若干 个第三磁极和分布于第二磁体组件外圈的若干 个第四磁极；所述第三磁极和第四磁极极性相 反，且均朝向阴极靶材方向；所述第二磁极与第 三磁极的极性相同。 A 5 4 0 4 6 3 7 1 1 N C CN 117364045 A 权　利　要　求　书