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• 一种掩膜版框架及掩膜版组件 公开日期：2024-11-15 公开号：CN114438444A 申请号：CN202210076291.7
  发明 一种掩膜版框架及掩膜版组件

  • 申请号：CN202210076291.7
  • 公开号：CN114438444A
  • 公开日期：2024-11-15
  • 申请人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

  本申请提供一种掩膜版框架及掩膜版组件，包括框架本体，所述框架本体开设有开窗，所述框架本体开设有至少两个间隔设置的安装部，所述安装部用于固定掩膜版，所述开窗位于至少两个所述安装部的最内侧的所述安装部的内侧。本申请提供的掩膜版框架及掩膜版组件，由于在所述框架本体上开设有至少两个间隔的安装部，每个安装部用于固定一个掩膜版，当所述框架本体与掩膜版配合时，由现有技术的一个框架本体与一个掩膜版配合变成一个框架本体能搭配至少两个具不同开口尺寸的掩膜版使用，也即节省了框架本体的数量，从而节省了掩膜版组件的成本。

  发布时间：2023-05-09 11:29:19

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• 一种连续多卷高效镀膜机及其镀膜工艺 公开日期：2024-11-15 公开号：CN114086148A 申请号：CN202111396927.8
  发明 一种连续多卷高效镀膜机及其镀膜工艺

  • 申请号：CN202111396927.8
  • 公开号：CN114086148A
  • 公开日期：2024-11-15
  • 申请人：重庆金美新材料科技有限公司

  本发明公开了一种连续多卷高效镀膜机及其镀膜工艺，包括真空蒸镀腔体，还包括设置在真空蒸镀腔体内的辊筒组件、蒸发源；所述辊筒组件包括滚筒、以及设置在滚筒上的过辊。本发明提供的连续多卷高效镀膜机，通过增设辊筒组件，可实现连续多卷同时镀膜，且可以实现双面镀膜，镀膜效率高，厚度均匀。

  发布时间：2023-04-26 10:02:29

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• 能用于在衬底上形成碳层的处理工具 公开日期：2024-11-15 公开号：CN114096696A 申请号：CN202080047253.8
  PCT发明 能用于在衬底上形成碳层的处理工具

  • 申请号：CN202080047253.8
  • 公开号：CN114096696A
  • 公开日期：2024-11-15
  • 申请人：朗姆研究公司

  一种衬底处理工具，其能够通过以下方式在衬底上形成碳层：在处理室中产生包含碳和非碳离子的等离子体，在处理室中悬浮碳和非碳离子，从处理室去除大部分悬浮的非碳离子，并用大部分碳离子轰击衬底表面。可以重复上述顺序的一个或多个步骤，直到碳层具有期望的厚度。

  发布时间：2023-04-26 09:54:16

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• 一种异质多层结构的超厚碳基复合涂层及其制法与应用 公开日期：2024-11-15 公开号：CN115821206A 申请号：CN202211572430.1
  发明 一种异质多层结构的超厚碳基复合涂层及其制法与应用

  • 申请号：CN202211572430.1
  • 公开号：CN115821206A
  • 公开日期：2024-11-15
  • 申请人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所

  本发明公开了一种异质多层结构的超厚碳基复合涂层及其制法与应用。所述超厚碳基复合涂层包括依次形成于基体表面的过渡层和交替层叠层，其中，所述交替层叠层由异质结构层和非晶碳层交替层叠形成，所述异质结构层包括MeC层、MeN层、MeCN层中的任意一种或两种以上的组合，Me选自Cr、Ti或W；所述超厚碳基复合涂层的最外层为非晶碳层。本发明制备的异质多层结构的超厚碳基复合涂层除了具有优异的力学性能、摩擦磨损性能外，还具有很好的耐腐蚀防护性能，能够应用于海洋环境中具有长寿命和防腐要求的运动部件上。

  发布时间：2023-06-01 07:12:12

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• 一种离子同极溅射镀膜装置及方法 公开日期：2024-11-15 公开号：CN115704086A 申请号：CN202110926673.X
  发明 一种离子同极溅射镀膜装置及方法

  • 申请号：CN202110926673.X
  • 公开号：CN115704086A
  • 公开日期：2024-11-15
  • 申请人：中国科学院上海硅酸盐研究所|||慈溪生物材料表面工程中心

  本发明公开一种离子同极溅射镀膜装置及方法。所述离子同极溅射镀膜装置的靶材与基体设置于阴极同一极，且阴极连接负电压电源；所述装置包括：内设有等离子源的真空室；所述真空室的外壳接地；作为阴极的样品台；等离子源；真空装置；真空室的腔体与所述真空装置和气体源相互连通；气体源；通过阀门控制气体源的流量；靶材；所述靶材设置于样品台上，与样品台直接接触导电；负电压电源；所述负电压电源与样品台连接；伺服电机；控制器；所述控制器控制伺服电机转动、负电压电源电压调节、气体源流量调节、真空装置抽真空和等离子源功率。该装置设计靶材与基体同处一极，不仅能够实现绝缘体溅射镀膜，而且可以同时提高溅射产率和沉积速率。

  发布时间：2023-06-11 07:01:19

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• 一种紫铜金相侵蚀剂以及紫铜晶界的侵蚀方法和应用 公开日期：2024-11-15 公开号：CN115679323A 申请号：CN202211430945.8
  发明 一种紫铜金相侵蚀剂以及紫铜晶界的侵蚀方法和应用

  • 申请号：CN202211430945.8
  • 公开号：CN115679323A
  • 公开日期：2024-11-15
  • 申请人：上海有色金属工业技术监测中心有限公司

  本方案属于理化检测技术领域，具体涉及一种紫铜金相侵蚀剂以及紫铜晶界的侵蚀方法和应用，本发明的紫铜金相侵蚀剂，由每100份侵蚀剂A中加入1‑3份的双氧水制备得到，侵蚀剂A由硫酸5‑10份，十二烷基磺酸钠2‑3份，水50‑60份，乙醇30‑40份组成。本方案的侵蚀剂因为可以选择自来水配制，自来水易于获得，配制方便，且本方案的侵蚀剂解决了之前的侵蚀剂所遇到的划痕难以去除、侵蚀面氧化严重、晶界显示不全问题，提高晶粒尺寸测试的准确性；侵蚀剂性能稳定，易于储存，不含6价铬离子，环境友好。

  发布时间：2023-06-12 12:03:10

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• 一种液压破碎锤用20CrMo中缸体的渗碳淬火强化工艺 公开日期：2024-11-12 公开号：CN117418187A 申请号：CN202311517895.1
  发明 一种液压破碎锤用20CrMo中缸体的渗碳淬火强化工艺

  • 申请号：CN202311517895.1
  • 公开号：CN117418187A
  • 公开日期：2024-11-12
  • 申请人：徐州巴特工程机械股份有限公司

  本发明公开了一种液压破碎锤用20CrMo中缸体的渗碳淬火强化工艺，包括以下步骤：步骤1，预氧化处理，将液压破碎锤用20CrMo中缸体置于预热炉中，加热，保温，然后出炉；步骤2，真空渗碳处理，将中缸体置于真空渗碳炉中，抽真空，采用渗碳脉冲方式进行渗碳；步骤3，淬火处理，渗碳结束后通入氮气，快速降温，保温后，进行真空气淬；步骤4，低温回火处理，将中缸体置于回火炉中，保温，然后空冷。本发明通过对20CrMo中缸体进行真空低压渗碳淬火处理，在满足渗碳层的厚度、表面硬度、心部硬度等性能指标的前提下，提高渗碳效率，改善渗碳层深不均匀和表面内氧化问题，提高产品质量，缩短生产周期。

  发布时间：2024-01-26 08:32:38

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• 一种掩膜组件、蒸镀设备和蒸镀方法 公开日期：2024-11-12 公开号：CN116288148A 申请号：CN202310335049.1
  发明 一种掩膜组件、蒸镀设备和蒸镀方法

  • 申请号：CN202310335049.1
  • 公开号：CN116288148A
  • 公开日期：2024-11-12
  • 申请人：季华实验室

  本公开涉及一种掩膜组件、蒸镀设备和蒸镀方法，其中，掩膜组件，包括至少一个掩膜框和设置在所述掩膜框的承载面上的掩膜片；所述掩膜框包括掩膜边框和位于所述掩膜边框围绕区域内的至少一个支撑梁；所述支撑梁的承载面与所述掩膜框的承载面平齐。本公开可以减小掩膜片受重力产生变形的问题，适用于各种尺寸的掩膜片，提高目标基板的对位准确度，提升蒸镀效果。

  发布时间：2023-06-27 09:49:25

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• 一种源瓶加热组件及沉积设备 公开日期：2024-11-12 公开号：CN116288259A 申请号：CN202310333475.1
  发明 一种源瓶加热组件及沉积设备

  • 申请号：CN202310333475.1
  • 公开号：CN116288259A
  • 公开日期：2024-11-12
  • 申请人：拓荆科技(上海)有限公司

  本发明涉及半导体沉积设备技术领域，具体涉及一种源瓶加热组件及沉积设备。本发明提供的一种源瓶加热组件，包括托板、第一加热带、第二加热带、第三加热带和预紧机构，所述第三加热带设置在所述托板上，所述源瓶放置在所述第三加热带上；所述第二加热带贴合于所述源瓶的侧面，所述第一加热带盖合于所述源瓶的上表面；所述预紧机构包括夹紧结构和下压结构，所述夹紧结构用于夹紧所述第一加热带。瓶体的上表面、侧面和下表面分别与第一加热带、第二加热带和第三加热带相接触，使得瓶体的上表面、侧面和下表面均能够被加热，提高了加热效果，通过控制第三加热带、第二加热带和第一加热带的温度依次递增，以适应固体加热的温度需求。

  发布时间：2023-06-27 09:49:20

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• 一种航空发动机滑油附件平衡杠杆的损伤修复方法 公开日期：2024-11-12 公开号：CN116288112A 申请号：CN202310184277.3
  发明 一种航空发动机滑油附件平衡杠杆的损伤修复方法

  • 申请号：CN202310184277.3
  • 公开号：CN116288112A
  • 公开日期：2024-11-12
  • 申请人：国营四达机械制造公司

  为了解决滑油附件平衡杠杆渗碳层硬度不够容易磨损且目前国内无有效修复手段的技术问题，本发明提出一种航空发动机滑油附件损伤修复方法。本发明首先设计了集装夹和提供测量基准为一体的平磨专用工装对平衡杠杆进行装夹，能够保证机加期间平衡杠杆待修复面平整，然后通过设置合理的热喷涂工艺参数，对平衡杠杆进行喷涂修复，恢复了平衡杠杆工作面的型面尺寸，喷涂的WC涂层厚度能够满足技术要求，涂层金相组织均匀，无裂纹、未熔化颗粒，涂层与基体界面结合良好，有效解决了平衡杠杆工作面上的原渗碳层硬度低、耐磨性不够的问题，实现了耐磨涂层的升级换代。

  发布时间：2023-06-27 09:36:39

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