蒸发镀膜机膜厚修正挡板机构及镀膜机

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114990516 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202210675954.7 (22)申请日 2022.06.15 (71)申请人 深圳市三束镀膜技术有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华区福城街 道福民社区核电工业园5号101 (72)发明人 战永刚　尹强　战捷　周林　 (74)专利代理机构 深圳市中科创为专利代理有 限公司 44384 专利代理师 冯建华　徐方星 (51)Int.Cl. C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/30 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 (54)发明名称 蒸发镀膜机膜厚修正挡板机构及镀膜机 (57)摘要 本发明公开一种蒸发镀膜机膜厚修正挡板 机构，包括驱动元件、编码器、传动部件以及挡板 部件，驱动元件用于驱动挡板部件转动，并调节 转速，使所述挡板部件不产生过度振动。本发明 的修正挡板机构用一套组合挡板取代了以往的 两个独立挡板，为镀膜机节省了空间，使得镀膜 机的结构更加合理。用一个动作就完成了挡板的 切换，节省了镀膜时间。以电机转动的方式完成 挡板的切换，与过去气缸带动的运动模式相比， 挡板速度可以调节，起落不会剧烈振动，从而避 免了挡板在切换的过程中掉渣造成的膜料喷溅 和膜料污染；修正挡板机构固定在蒸发源后方位 A 置，和传统安装在蒸发源左右两边相比，离子源 6 的射线不受遮挡，因此离子源的工作效果更