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• 化学反应源供应系统及半导体加工装置 公开日期：2025-03-25 公开号：CN117568782A 申请号：CN202311419668.5
  发明 化学反应源供应系统及半导体加工装置

  • 申请号：CN202311419668.5
  • 公开号：CN117568782A
  • 公开日期：2025-03-25
  • 申请人：研微（江苏）半导体科技有限公司

  本发明提供一种化学反应源供应系统，包括：反应源容器、加热柜、反应源供应管路、第一控制阀、加热装置及冷却装置、反应源容器位于加热柜内，加热柜的内部处于大气压环境；第一控制阀的底部阀体设置在加热柜内部，工作温度为≥200℃，第一控制阀的执行器设置在加热柜外，执行器的工作温度为≤120℃；加热装置包括第一加热单元和第二加热单元；第一加热单元设置于加热柜内，用于对反应源容器进行加热，第二加热单元设置于加热柜外，用于对加热柜进行加热；冷却装置设置在加热柜外部。本发明经改善的结构设计，使得整个系统的结构极大简化，体积极大减小，使用和维护成本可以显著降低。使用本发明提供的半导体加工装置，有助于降低生产成本。

  发布时间：2024-03-02 07:12:43

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• 反应腔体以及薄膜沉积设备 公开日期：2025-03-25 公开号：CN117187782A 申请号：CN202311153774.3
  发明 反应腔体以及薄膜沉积设备

  • 申请号：CN202311153774.3
  • 公开号：CN117187782A
  • 公开日期：2025-03-25
  • 申请人：拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司

  本发明提供了一种反应腔体和薄膜沉积设备。该反应腔体包括：传片口；可移动块体，设置在该传片口下方并具有内侧壁和外侧壁；气缸推动组件，安装在该可移动块体下方；以及导轨组件，设置在该可移动块体的两侧；其中，当进行工艺制程时，该气缸推动组件带动该可移动块体上升，使该可移动块体组件沿着该导轨组件上升直至该传片口空间被封堵。

  发布时间：2023-12-17 07:15:22

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• 一种半导体处理设备 公开日期：2025-03-25 公开号：CN116904970A 申请号：CN202310965852.3
  发明 一种半导体处理设备

  • 申请号：CN202310965852.3
  • 公开号：CN116904970A
  • 公开日期：2025-03-25
  • 申请人：重庆理工大学

  本发明涉及半导体加工领域，公开了一种半导体处理设备，包括基座、外壳和晶舟基座上设有注气端口，外壳上设有抽气端口，外壳罩覆在晶舟外侧，晶舟每层支撑平台的上方均设有注气盘，注气盘包括上盘体和转动在上盘体底部的下盘体，上盘体内部设有加压气道和叶轮腔，加压气道与注气端口连通，叶轮腔内设有与下盘体固定的叶轮，下盘体内部设有与叶轮腔连通的布气腔，布气腔的底部开设有条形布气口。本发明可解决现有技术中对晶圆沉积过程中薄膜厚度均匀程度的解决方式，或采用气体从外环绕向晶圆中心扩散接触的方式，或采用晶圆在大量气体环境中旋转接触气体的方式，均存在沉积的薄膜边缘厚度大于中心厚度的情况，薄膜厚度仍存在不均匀的问题。

  发布时间：2023-10-22 07:33:47

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• 预制固体润滑粉末制备自润滑复合涂层的方法 公开日期：2025-03-25 公开号：CN116356309A 申请号：CN202310249682.9
  发明 预制固体润滑粉末制备自润滑复合涂层的方法

  • 申请号：CN202310249682.9
  • 公开号：CN116356309A
  • 公开日期：2025-03-25
  • 申请人：大连理工大学

  本发明预制固体润滑粉末制备自润滑复合涂层的方法，涉及激光表面改性技术领域，尤其涉及工件表面预置固体润滑粉末，再进行超高速激光熔覆制备自润滑复合涂层的方法。本发明方法包括如下步骤：1)、对工件进行表面预处理；2)、将固体润滑粉末预制在工件表面；3)、制备熔覆粉末；4)、预热工件；5)、超高速激光熔覆。本发明的技术方案解决了现有技术中的1、涂层硬度提高导致摩擦因数提高，涂层磨损严重；2、熔覆层中固体润滑粉末和硬质相粉末离散或堆积，分布不均匀；3、固体润滑粉末在涂层表面大量聚集，润滑相不能完全浸入到涂层中，易被刮落等问题。

  发布时间：2023-07-03 10:06:44

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• 一种磁控溅射托盘的整平方法 公开日期：2025-03-25 公开号：CN116254512A 申请号：CN202310249182.5
  发明 一种磁控溅射托盘的整平方法

  • 申请号：CN202310249182.5
  • 公开号：CN116254512A
  • 公开日期：2025-03-25
  • 申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司

  本发明涉及一种磁控溅射托盘的整平方法，所述整平方法包括：将变形的磁控溅射托盘与保护垫装配后依次进行第一热压处理、第二热压处理、第三热压处理和冷却；所述第一热压处理为恒温恒压过程；所述第二热压处理为变温恒压过程，升温速率为2‑5℃/min；所述第三热压处理为恒温变压过程，降压速率为10‑20N/min。本发明提供的整平方法，通过对整平工艺的设计，实现了对磁控溅射托盘的高效整平，整平后的平面度可以达到原始水平，同时使用寿命较原始磁控溅射托盘有进一步地提升。

  发布时间：2023-06-15 07:08:03

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• 旋转喷涂装置 公开日期：2025-03-25 公开号：CN113061833A 申请号：CN202110350721.5
  发明 旋转喷涂装置

  • 申请号：CN202110350721.5
  • 公开号：CN113061833A
  • 公开日期：2025-03-25
  • 申请人：包头稀土研究院|||瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司

  本发明公开了一种旋转喷涂装置，包括主动齿轮部、太阳齿轮部、行星齿轮部、支撑盘和辅助支撑部；主动齿轮部包括环形内齿圈部；环形内齿圈部包括环形内齿圈部本体和环形侧壁，环形侧壁的内表面形成环形内齿；太阳齿轮部包括太阳齿轮部本体；太阳齿轮部本体的外表面形成环形外齿；行星齿轮部包括依次相连的固定段、齿轮轴和第一紧固段，且行星齿轮套设于所述齿轮轴上；行星齿轮设置于环形内齿和环形外齿之间并分别与环形内齿和环形外齿相啮合；支撑盘安装于太阳齿轮部上；辅助支撑部安装于所述支撑盘上。本发明的旋转喷涂装置可以提高喷涂效率。

  发布时间：2023-06-14 12:32:01

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• 一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法 公开日期：2025-03-25 公开号：CN112877665A 申请号：CN202110282766.3
  发明 一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法

  • 申请号：CN202110282766.3
  • 公开号：CN112877665A
  • 公开日期：2025-03-25
  • 申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司

  本发明提供一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法，所述靶材组件包括层叠设置的靶材与背板；所述靶材的端面具有第一分段式花纹结构；所述靶材的端面与侧面的连接处R角具有第二分段式花纹结构；所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构分别独立地为至少2段式花纹结构。所述滚花方法包括以下步骤：(1)对靶材的端面进行第一分段式滚花；(2)对靶材的端面与侧面的连接处R角进行第二分段式滚花；(3)对靶材的滚花区域进行抛光处理。其中，步骤(1)与(2)不分先后顺序。本发明有效地防止了靶材在溅射过程中反溅射物的脱落，保护了晶圆免受损伤，提升了镀膜质量，延长了靶材组件的使用寿命。

  发布时间：2023-06-11 12:25:17

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• 一种无锌花热镀铝锌镁镀层钢板的制造方法 公开日期：2025-03-25 公开号：CN116219347A 申请号：CN202310162617.2
  发明 一种无锌花热镀铝锌镁镀层钢板的制造方法

  • 申请号：CN202310162617.2
  • 公开号：CN116219347A
  • 公开日期：2025-03-25
  • 申请人：鞍钢股份有限公司

  本发明涉及一种无锌花热镀铝锌镁镀层钢板的制造方法，热浸镀铝锌镁镀层钢板经热镀、冷却后，通过再加热进行微重熔处理，镀层外板面加热温度510℃～600℃，重熔区露点dp<‑15℃，加热时间为10s～60s，冷却速度在6℃/s～20℃/s，经加热重熔处理后镀层中含有0.5wt％～3wt％的Mg‑Zn金属间化合物。本发明通过对热镀铝锌镁板表面进行加热重熔处理，使表面镀层产生微重熔，并快速冷却凝固，使铝锌镁镀层表面形成无锌花铝锌镁镀层钢板。

  发布时间：2023-06-11 11:43:57

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• 一种无锌花热镀铝锌镀层钢板的制造方法 公开日期：2025-03-25 公开号：CN116219346A 申请号：CN202310162612.X
  发明 一种无锌花热镀铝锌镀层钢板的制造方法

  • 申请号：CN202310162612.X
  • 公开号：CN116219346A
  • 公开日期：2025-03-25
  • 申请人：鞍钢股份有限公司

  本发明涉及一种无锌花热镀铝锌镀层钢板的制造方法，热浸镀铝锌镀层钢板经热镀、冷却后，通过再加热进行微重熔处理，镀层外板面加热温度530℃～600℃，重熔区露点dp<‑15℃，加热时间为10s～60s，冷却速度在3℃/s～20℃/s。本发明意在实现铝锌镀层钢板表面无锌花化，通过对热镀铝锌板进行表面再加热处理，使表面镀层产生微重熔，并快速冷却凝固，使铝锌镀层表面形成无锌花铝锌镀层钢板。

  发布时间：2023-06-11 11:43:57

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• 一种超高强度不锈钢表层高硬度与低脆性协同控制方法 公开日期：2025-03-25 公开号：CN116219443A 申请号：CN202211706605.3
  发明 一种超高强度不锈钢表层高硬度与低脆性协同控制方法

  • 申请号：CN202211706605.3
  • 公开号：CN116219443A
  • 公开日期：2025-03-25
  • 申请人：北京卫星制造厂有限公司

  本发明公开了一种超高强度不锈钢表层高硬度与低脆性协同控制方法，包括：对奥氏体不锈钢表面进行清洁和干燥；对奥氏体不锈钢表面进行激光强化预处理；对奥氏体不锈钢进行冷热循环处理；对奥氏体不锈钢进行离子渗氮处理。解决了现有低温渗氮奥氏体不锈钢渗氮层脆性大的技术问题，本发明能够有效降低渗氮层表面脆性。

  发布时间：2023-06-11 11:39:32

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