用于在真空处理系统中移动装置的运输系统、包括其的基板处理系统以及操作运输系统的方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115003852 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202080094100.9 (51)Int.Cl. C23C 14/50 (2006.01) (22)申请日 2020.05.04 C23C 14/54 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 14/56 (2006.01) 2022.07.21 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/062335 2020.05.04 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/223840 EN 2021.11.11 (71)申请人 应用材料公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 克里斯蒂安 ·沃尔夫冈 ·埃曼　 沃尔夫 ·埃卡 ·弗里奇　 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理 有限公司 11006 专利代理师 徐金国　赵静 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 用于在真空处理系统中移动装置的运输系 统、包括其的基板处理系统以及操作运输系统的 方法 (57)摘要