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PCT发明

用于在真空处理系统中移动装置的运输系统、包括其的基板处理系统以及操作运输系统的方法

2022-10-24 10:23:11 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080094100.9
  • 公开（公告）日：2024-11-01
  • 公开（公告）号：CN115003852A
  • 申请人：应用材料公司
摘要：描述了一种用于在真空处理系统中移动装置(10)的运输系统(100)。所述运输系统(100)包括驱动单元(110)，所述驱动单元包括外壳(120)，所述外壳包围具有一个或多个电磁体(130)的内部空间(121)。另外，所述运输系统(100)包括真空系统(140)，所述真空系统与所述外壳(120)的所述内部空间(121)连接。另外，描述了一种包括所述运输系统的基板处理系统以及一种操作运输系统的方法。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115003852 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202080094100.9 (51)Int.Cl. C23C 14/50 (2006.01) (22)申请日 2020.05.04 C23C 14/54 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 14/56 (2006.01) 2022.07.21 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/062335 2020.05.04 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/223840 EN 2021.11.11 (71)申请人 应用材料公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 克里斯蒂安 ·沃尔夫冈 ·埃曼　 沃尔夫 ·埃卡 ·弗里奇　 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理 有限公司 11006 专利代理师 徐金国　赵静 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 用于在真空处理系统中移动装置的运输系 统、包括其的基板处理系统以及操作运输系统的 方法 (57)摘要

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