一种多级触发脉冲电弧源装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114990498 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202210602274.2 (22)申请日 2022.05.30 (71)申请人 安徽工业大学 地址 243032 安徽省马鞍山市湖东路59号 (72)发明人 赵栋才　郑军　张林　刘兴光　 (74)专利代理机构 合肥昊晟德专利代理事务所 (普通合伙) 34153 专利代理师 王林 (51)Int.Cl. C23C 14/32 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 (54)发明名称 一种多级触发脉冲电弧源装置 (57)摘要 本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一 种多级触发脉冲电弧源装置，包括石墨阴极、阴 极安装柱、绝缘套筒、触发放电阳极环、一级点火 电极、二级点火电极，沿面击穿陶瓷、二级点火电 极支撑座、绝缘套筒、二级点火电极引线柱、二级 点火电源、一级点火电源、脉冲电弧电源、一级点 火电极引线柱、一级点火电极触针、一级点火级 固定筒、阳极环固定装置、脉冲电弧源阳极和真 空室法兰；本发明采用逐级放大的方式，完成脉 冲电弧的放电，完成靶材材料的蒸发，具有高真 空条件下电弧放电、脉冲电弧放电瞬时电流大、 膜层沉积效率高、靶材利用率高的技术特点。 A 8 9 4 0 9 9 4 1 1 N C CN 114990498 A 权　利　要　求　书