一种钼合金靶材的制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114990499 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202110814084.2 (22)申请日 2021.07.19 (71)申请人 江苏钢研昊普科技有限公司 地址 212132 江苏省镇江市新区扬子江路 33号 (72)发明人 吴战芳　车立达　李好峰　张鹏杰　 何静　李向阳　 (74)专利代理机构 北京天达知识产权代理事务 所(普通合伙) 11386 专利代理师 岳渊渊 (51)Int.Cl. C23C 14/34 (2006.01) B22F 3/15 (2006.01) B22F 5/00 (2006.01) C22C 27/04 (2006.01) 权利要求书1页 说明书10页 附图2页 (54)发明名称 一种钼合金靶材的制备方法 (57)摘要 本发明涉及一种钼合金靶材的制备方法，属 于溅射靶材的制造技术领域，解决了现有技术中 靶材致密度较低和晶粒较为粗大的问题。本发明 通过将按照钼合金成分配比的混合粉末，进行预 压成型，得到预成型钼合金靶坯，然后置于包套 内预热除气，真空封焊，继续放入热等静压炉中， 进行热等静压处理，得到致密化钼合金预制靶 材，去除包套，再进行升温降压处理，精加工后得 到钼合金靶材；其中升温降压处理的温度高于热 等静压处理温度，升温降压处理的压力低于热等 静压处理压力。从而实现了消除预制靶材内部‑