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• 溅射靶 公开日期：2024-06-25 公开号：CN114901857A 申请号：CN202080090588.8
  PCT发明 溅射靶

  • 申请号：CN202080090588.8
  • 公开号：CN114901857A
  • 公开日期：2024-06-25
  • 申请人：三井金属矿业株式会社

  为了在具备介由间隙相邻的靶构件的厚度相互不同的构成的溅射靶中，能够防止基材的构成材料混入到薄膜中。提出了一种溅射靶，其具备：多个靶构件、具有阶梯差的基材、和设置于靶构件与基材之间的保护构件，其中，配置于具有阶梯差的基材的阶梯差部分处的靶构件的厚度相互不同，厚度相互不同的靶构件之中的厚度较小的靶构件的端部具有比基材的阶梯差部突出的部分(将该突出的部分称为“突出部”)。

  发布时间：2023-05-19 11:17:54

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• 通过激光蚀刻和化学抛光降低立体线路喷涂成本的方案 公开日期：2024-06-25 公开号：CN113774384A 申请号：CN202111082995.7
  发明 通过激光蚀刻和化学抛光降低立体线路喷涂成本的方案

  • 申请号：CN202111082995.7
  • 公开号：CN113774384A
  • 公开日期：2024-06-25
  • 申请人：心之光电子科技（广东）有限公司

  本发明提供通过激光蚀刻和化学抛光降低立体线路喷涂成本的方案，涉及塑胶表面的立体线路的和后续喷涂制造工艺领域。本发明技术方案能够大幅提高镀层区域做在一级外观面上面的时候进行喷涂的良率，显著降低喷涂的厚度，使用本发明专利所述的方案可以把喷涂的次数控制4涂4烤，减少甚至完全消除打磨的必要，喷涂实际厚度控制在60～90微米左右即可实现无痕的喷涂效果。传统的塑料部件立体线路工艺做到线路无痕的喷涂往往需要7涂7烤，外加多次打磨，喷涂涂层的厚度达到150微米左右。良率的提升，喷涂厚度和喷涂步骤的减少可以大幅降低喷涂的成本。

  发布时间：2023-07-05 07:08:40

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• 一种铁基热浸镀铜锌复合材料及其制备方法 公开日期：2024-06-25 公开号：CN114000078A 申请号：CN202111287993.1
  发明 一种铁基热浸镀铜锌复合材料及其制备方法

  • 申请号：CN202111287993.1
  • 公开号：CN114000078A
  • 公开日期：2024-06-25
  • 申请人：唐林

  本发明提供了一种铁基热浸镀铜锌复合材料及其制备方法，属于复合材料技术领域。本发明首先对待处理钢基体进行加工变形，可以使其获得动态再结晶，也可在后续的退火热处理中，使变形晶粒发生再结晶或重结晶，从而使待处理钢基体的晶粒得到显著细化，可有效避免热浸镀过程导致复合材料晶粒粗大的问题，有效提高了复合材料的硬度和强度；同时通过加工变形使得待处理钢基体的组织更加致密，阻碍了铜在钢基体晶界处的聚集，避免了铜脆问题的发生；并且，本发明通过控制加工变形的变形量，能够精准控制成品脱碳层厚度；此外，通过退火处理可以进一步细化变形钢基体的晶粒尺寸，消除变形应力。

  发布时间：2023-04-24 09:46:28

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• 一种高温金属外壳晶圆加热器及其加工方法 公开日期：2024-06-21 公开号：CN117286474A 申请号：CN202211692721.4
  发明 一种高温金属外壳晶圆加热器及其加工方法

  • 申请号：CN202211692721.4
  • 公开号：CN117286474A
  • 公开日期：2024-06-21
  • 申请人：无锡至辰科技有限公司

  本发明公开了一种高温金属外壳晶圆加热器，其特征在于，包括外壳、设置在外壳内的匀热板、设置在所述匀热板一端的第一绝缘导热层、至少1个加热元件、设置在所述第一绝缘导热层背离所述匀热板一侧的第二绝缘导热层、设置在所述第二绝缘导热层背离所述第一绝缘导热层一端的散热板、设置在所述散热板一端的冷却组件、多个电极，所述加热元件设置在所述第一绝缘导热层和第二绝缘导热层之间，所述电极与所述加热元件电连。本发明还公开了一种加工方法。本发明加热效果好，加热效率高，能够提升晶圆的升温效率及良品率。

  发布时间：2023-12-29 07:16:12

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• 在316L不锈钢表面制备抗高温氧化镀层的方法 公开日期：2024-06-21 公开号：CN114774822A 申请号：CN202210391130.7
  发明 在316L不锈钢表面制备抗高温氧化镀层的方法

  • 申请号：CN202210391130.7
  • 公开号：CN114774822A
  • 公开日期：2024-06-21
  • 申请人：常州大学

  本发明属于不锈钢表面抗高温氧化处理技术领域，尤其涉及在316L不锈钢表面制备抗高温氧化镀层的方法，包括以下步骤：第一步、对316L不锈钢工件进行热浸镀铝硅，冷却后得到镀铝工件，镀液中硅的含量为1‑5wt％Si。第二步、将得到的镀铝工件再进行扩散处理，真空扩散温度为800‑900℃，并在此温度下保温1‑3h，得到镀层扩散相最外侧分别为Fe2Al5、FeAl2、FeAl扩散相的渗铝工件。该方法针对316L不锈钢基体进行设计，将热浸镀铝硅与真空扩散处理工艺相结合。本发明工艺制备的镀层与基体结合为冶金结合，工艺过程相对简单，成本较低，抗高温氧化性能优良，易生产加工等优点。

  发布时间：2023-05-17 11:41:48

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• 一种高强韧复合陶瓷涂层及其制备方法 公开日期：2024-06-21 公开号：CN118064830A 申请号：CN202410482421.6
  发明 一种高强韧复合陶瓷涂层及其制备方法

  • 申请号：CN202410482421.6
  • 公开号：CN118064830A
  • 公开日期：2024-06-21
  • 申请人：深圳市奥美特纳米科技有限公司

  本发明涉及陶瓷涂层材料领域，提供了一种高强韧复合陶瓷涂层及其制备方法，复合陶瓷涂层由NbC过渡层和n(Nb2AlC/ZrC/SiC)层组成；n(Nb2AlC/ZrC/SiC)层由Nb2AlC层、ZrC层和SiC层交替沉积n个周期组层，NbC过渡层位于刀具基体和n(Nb2AlC/ZrC/SiC)层之间；ZrC层由晶态ZrC相和非晶ZrC相组成；SiC层的厚度为1~15nm。制备方法为首先清洗抛光刀具基底，通过磁控溅射法在刀具表面沉积NbC过渡层，再交沉积n(Nb2AlC/ZrC/SiC)层。采用NbC过渡层作刀具基底与n(Nb2AlC/ZrC/SiC)层间的过渡层，增强界面结合，周期层状结构优势互补，Nb2AlC层状结构有高强韧性，ZrC结合晶态与非晶态实现强韧性匹配，SiC层在韧脆转变厚度15nm以下具有优异的强韧性，此外三周期层状异质界面设计使涂层兼具优异强度和韧性，因此复合陶瓷涂层具有广泛的应用价值。

  发布时间：2024-06-01 07:30:59

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• 化学气相沉积方法及设备 公开日期：2024-06-21 公开号：CN118064876A 申请号：CN202410464724.5
  发明 化学气相沉积方法及设备

  • 申请号：CN202410464724.5
  • 公开号：CN118064876A
  • 公开日期：2024-06-21
  • 申请人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司

  本发明提供一种化学气相沉积方法及设备，方法包括如下步骤：提供一工艺腔，其通过一真空管道连接真空泵，真空管道中设有调节工艺腔抽气流速的蝶阀；将晶圆装载进工艺腔，将工艺腔压力调节至工艺压力并进行化学气相沉积工艺，在进行化学气相沉积工艺时，真空端压力为小于工艺压力的第一真空压力；将工艺腔压力和真空端压力调节至卸载压力并卸载晶圆，卸载压力小于工艺压力和第一真空压力，通过调节蝶阀的开启角度调整工艺腔的压力变化速率，使工艺腔的压力始终大于真空端压力。本发明在工艺腔卸载晶圆时通过创造性的方式调节蝶阀的开启角度调整工艺腔的压力变化速率，使工艺腔的压力始终大于真空端压力，有助于减少颗粒污染，提高生产良率。

  发布时间：2024-06-01 07:30:06

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• 一种冷轧带钢生产工艺及其停机保护式酸洗装置 公开日期：2024-06-21 公开号：CN117431550A 申请号：CN202311392350.2
  发明 一种冷轧带钢生产工艺及其停机保护式酸洗装置

  • 申请号：CN202311392350.2
  • 公开号：CN117431550A
  • 公开日期：2024-06-21
  • 申请人：滁州宝岛特种冷轧带钢有限公司

  本发明涉及冷轧加工酸洗装置技术领域，具体涉及一种冷轧带钢生产工艺及其停机保护式酸洗装置，包括酸洗池，所述酸洗池一端的上方设置有摇架，所述摇架的顶端转动连接有辊架组件二，所述酸洗池的两侧均设置有移动轨，且两个移动轨的上方滑动设置有移动衍架。本发明中，通过辊架组件二的设置，驱动模块带动辊架组件一从弧形轨件底端移动至弧形轨件顶端，并在辊架组件一上移的过程中自旋，同时辊架组件二反向转动，使得辊架组件二的一端向上偏转，移动移动衍架，将辊架组件二的一端纳入至移动衍架的笼罩范围，通过移动衍架上的喷头对粘有酸液的带钢部分进行清洗,实现在突发情况下对正在酸洗的带钢进行防护，避免停机时，对带钢的过度腐蚀。

  发布时间：2024-01-26 08:51:08

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• 一种Nb-Si基合金表面高温抗氧化梯度结构涂层材料及其制备方法 公开日期：2024-06-21 公开号：CN117448808A 申请号：CN202311426010.7
  发明 一种Nb-Si基合金表面高温抗氧化梯度结构涂层材料及其制备方法

  • 申请号：CN202311426010.7
  • 公开号：CN117448808A
  • 公开日期：2024-06-21
  • 申请人：北京工业大学

  本发明提供了一种Nb‑Si基合金表面高温抗氧化梯度结构涂层材料及其制备方法，属于金属基复合材料表面工程技术制造技术领域。本发明将球形B改性MoSi2粉末或Y‑B改性MoSi2粉末作为熔覆材料，采用连续光纤激光器在添加超声辅助及感应加热的Nb‑Si基合金表面按照预设的激光熔覆工艺参数进行激光熔覆，激光熔覆后，将涂层样品置于惰性气氛中进行热处理，此方法能够显著改善涂层显微组织粗大、涂层稀释率高的问题，使Nb‑Si基合金具有良好的高温防护性能。

  发布时间：2024-01-30 07:16:39

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• 清洁装置、清洁腔室及其控制方法、半导体工艺设备 公开日期：2024-06-21 公开号：CN117431522A 申请号：CN202311405984.7
  发明 清洁装置、清洁腔室及其控制方法、半导体工艺设备

  • 申请号：CN202311405984.7
  • 公开号：CN117431522A
  • 公开日期：2024-06-21
  • 申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

  本申请公开一种清洁装置。所公开的清洁装置包括箱体(10)、冷凝部(20)、加热器(30)和承载座(40)，箱体(10)具有容置空间(13)，冷凝部(20)和承载座(40)均位于容置空间(13)中，且冷凝部(20)位于承载座(40)的上方；承载座(40)用于承载待清洁物(50)；加热器(30)用于加热被放置于承载座(40)上的待清洁物(50)，以使待清洁物(50)的表面的沉积物升华后凝结在冷凝部(20)上。本申请还公开一种清洁腔室、清洁腔室的控制方法及半导体工艺设备。上述方案能解决相关技术通过人工对沉积在待清洁物上的沉积物进行清洁而存在工艺质量较差、工艺成本较高、工艺效率较低的问题。

  发布时间：2024-01-26 08:51:38

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