一种高温金属外壳晶圆加热器及其加工方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117286474 A (43)申请公布日 2023.12.26 (21)申请号 202211692721.4 (22)申请日 2022.12.28 (71)申请人 无锡至辰科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区和风路 26号新发汇融广场C栋363室 (72)发明人 刘国辉　 (74)专利代理机构 南京志同舟知识产权代理事 务所(普通合伙) 32489 专利代理师 唐红 (51)Int.Cl. C23C 16/46 (2006.01) B23P 15/26 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图7页 (54)发明名称 一种高温金属外壳晶圆加热器及其加工方 法 (57)摘要 本发明公开了一种高温金属外壳晶圆加热 器，其特征在于，包括外壳、设置在外壳内的匀热 板、设置在所述匀热板一端的第一绝缘导热层、 至少1个加热元件、设置在所述第一绝缘导热层 背离所述匀热板一侧的第二绝缘导热层、设置在 所述第二绝缘导热层背离所述第一绝缘导热层 一端的散热板、设置在所述散热板一端的冷却组 件、多个电极，所述加热元件设置在所述第一绝 缘导热层和第二绝缘导热层之间，所述电极与所 述加热元件电连。本发明还公开了一种加工方 法。本发明加热效果好，加热效率高，能够提升晶 A 圆的升温效率及良品率。 4 7 4 6 8 2 7 1 1 N C CN 117286474 A