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对准标记及用于形成对准标记的方法 公开日期:2024-09-06 公开号:CN112578648A 申请号:CN202010908840.3对准标记及用于形成对准标记的方法
- 申请号:CN202010908840.3
- 公开号:CN112578648A
- 公开日期:2024-09-06
- 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司
提供对准标记及用于形成对准标记的方法。用于形成对准标记的方法为无光刻工艺并且包含以下操作。提供激光束。将激光束划分成彼此隔开的多个激光束。将多个激光束塑形成多个图案化光束,使得多个图案化光束塑形为具有对应于对准标记的图案。将多个图案化光束投影到半导体晶片上。- 发布时间:2023-06-02 13:43:03
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一种光刻胶供给设备 公开日期:2024-09-06 公开号:CN114355730A 申请号:CN202210054957.9一种光刻胶供给设备
- 申请号:CN202210054957.9
- 公开号:CN114355730A
- 公开日期:2024-09-06
- 申请人:浙江光特科技有限公司
本发明公开了一种光刻胶供给设备,包括:一支架;一支撑件,呈锥形设置,设置于所述支架上;其上部内径大于下部内径;一压板,位于所述支撑件的上方,与所述支架可移动连接;一调节机构,用于调节所述压板与所述支撑件之间的间距;一箱体,布置于所述支撑件内,所述箱体上的开口向下布置;一柱塞,安装在所述箱体的开口中;一供气机构;一进气管,其第一端与所述供气机构连接,其第二端穿过所述柱塞位于所述箱体内,并靠近所述箱体的底部。可以在支架上设置滑槽,可以在压板上设置滑块,滑块与滑槽滑动配合。调节机构可以为螺杆,与所述支架螺纹连接,并与所述压板转动连接,通过转动螺杆带动压板下降,压持住箱体的底部,将箱体固定。- 发布时间:2023-05-09 09:52:01
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一种用于晶圆光刻胶烘干处理的设备 公开日期:2024-09-06 公开号:CN114460811A 申请号:CN202210089724.2一种用于晶圆光刻胶烘干处理的设备
- 申请号:CN202210089724.2
- 公开号:CN114460811A
- 公开日期:2024-09-06
- 申请人:浙江光特科技有限公司
本发明公开了一种用于晶圆光刻胶烘干处理的设备,包括:一传送机构;多个夹具,沿所述传送机构的移动方向间隔设置在所述传送机构上;沿所述传送机构的移动方向设置有滴胶区、烘干区;一滴胶机构,位于所述滴胶区,布置于所述夹具的上方;一烘干机构,位于所述烘干区,布置于所述夹具的上方,沿所述传送机构的移动方向,所述烘干机构位于所述滴胶机构的下游侧。利用多个夹具夹持固定多个晶圆,利用传送机构带动夹具连续传送。利用滴胶机构向晶圆上滴加光刻胶。在匀胶后,利用烘干机构进行烘干处理。本实施例集合滴胶、烘干一体化处理,可以多个晶圆连续处理,效率高。- 发布时间:2023-05-09 11:43:59
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激光光源系统和投影设备 公开日期:2024-09-06 公开号:CN114609853A 申请号:CN202210287854.7激光光源系统和投影设备
- 申请号:CN202210287854.7
- 公开号:CN114609853A
- 公开日期:2024-09-06
- 申请人:青岛海信激光显示股份有限公司
本申请公开了一种激光光源系统和投影设备,属于显示技术领域。所述激光光源系统包括:激光器、合光棱镜、荧光组件、第一透镜及出光口。其中,合光棱镜由第一面、第二面以及第三面围成,通过该合光棱镜与荧光组件配合,可以将激光器发出的激光以及该激光激发荧光组件所发出的荧光导向出光口,如此便可以通过合光棱镜替换相关技术中的二向色片与反射镜,进而激光器发出的光线也无需多次透过二向色片,解决了相关技术中激光光源系统的结构较为复杂的问题,实现了简化激光光源系统的结构的效果。- 发布时间:2023-05-14 11:19:23
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制造半导体器件的方法和半导体器件制造工具 公开日期:2024-09-06 公开号:CN112987515A 申请号:CN202011394519.4制造半导体器件的方法和半导体器件制造工具
- 申请号:CN202011394519.4
- 公开号:CN112987515A
- 公开日期:2024-09-06
- 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司
本发明涉及制造半导体器件的方法和半导体器件制造工具。具体地,所述制造半导体器件的方法包括在基板上方形成包括光致抗蚀剂组合物的光致抗蚀剂层。将所述光致抗蚀剂层选择性地暴露于光化辐射。在将所述光致抗蚀剂层选择性地暴露于光化辐射之后,加热所述光致抗蚀剂层。在加热期间,所述光致抗蚀剂层暴露于大于45%相对湿度的环境中。在所述加热后使所述光致抗蚀剂层显影,以在所述光致抗蚀剂层中形成图案。- 发布时间:2023-06-11 13:25:58
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基于物联网的智能多媒体展厅投映系统及方法 公开日期:2024-09-06 公开号:CN117826556A 申请号:CN202410170371.8基于物联网的智能多媒体展厅投映系统及方法
- 申请号:CN202410170371.8
- 公开号:CN117826556A
- 公开日期:2024-09-06
- 申请人:深圳时空数字科技有限公司
本发明提供了基于物联网的智能多媒体展厅投映系统及方法,包括:通过激光射线分束并全方位照射展映物体,形成物体全方位漫射光束并与激光干涉光束进行叠加干涉,生成展映物体光波全方位全息图像,获取展映物体光波全方位信息;生成展厅环境3D模型并根据展厅空间尺度进行比例缩放及全息投映影像转换,获取展厅环境3D全息影像信息;根据展映需求信息自动规划智能多媒体展厅的展厅空间展映位置,布设展位全息投影设备及多媒体智能交互设备;通过物联网远程传输云端共享及智能多媒体展厅的多媒体智能控制中心,还原展映物体全息影像及展厅环境3D全息影像,进行展映物体全息投影智能交互投映及智能多媒体展厅环境3D全息影像投映。- 发布时间:2024-04-07 07:35:51
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定影装置和成像设备 公开日期:2024-09-06 公开号:CN113721441A 申请号:CN202110568746.2定影装置和成像设备
- 申请号:CN202110568746.2
- 公开号:CN113721441A
- 公开日期:2024-09-06
- 申请人:佳能株式会社
本申请涉及定影装置和成像设备。一种定影装置,包括:加热器,加热器包括基板、设置在基板上的加热元件以及设置在基板上并与加热元件电连接的电极;和供电构件,供电构件包括:第一构件,第一构件连结或联接到电极以向加热元件供电;以及第二构件,第二构件连结或联接到第一构件的与连结或联接到电极的表面相反的表面,其中,加热器通过经由供电构件提供的电力而发热,并且形成在记录材料上的图像被加热器的热量加热;第一构件的线性膨胀系数不同于第二构件的线性膨胀系数。- 发布时间:2023-07-01 07:18:50
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一种激光打印机有机光导鼓机构 公开日期:2024-09-06 公开号:CN117148695A 申请号:CN202311229825.6一种激光打印机有机光导鼓机构
- 申请号:CN202311229825.6
- 公开号:CN117148695A
- 公开日期:2024-09-06
- 申请人:淮安展德光电科技有限公司
本发明涉及有机光导鼓技术领域,公开了一种激光打印机有机光导鼓机构,包括辊体,辊体的表面设置转动设置有导电层,且导电层的外壁设置有保护层;导电层在内齿环的外壁套设,且内齿环在辊体的内部设置,内齿环的内壁啮合连接有多组行星齿轮。本发明中,通过在导电层的内部设置内齿环,在内齿环与齿轮盘的传动作用下,则使齿轮盘在辊体的内部可以对导点层的转动进行精准的传动,并且通过在连接块与传动块的设置,则使传动块实现同步转动,同时,通过多组交错齿盘与转动盘的设置,则使依次设置的转动盘的转动间距越来越大,便于对导电层的使用寿命进行记录,方便了用户对导电层使用寿命的观察,并且将结构在辊体的内部设置,结构紧凑,简单方便。- 发布时间:2023-12-08 07:16:19
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图像形成装置 公开日期:2024-09-06 公开号:CN112596356A 申请号:CN202011055761.9图像形成装置
- 申请号:CN202011055761.9
- 公开号:CN112596356A
- 公开日期:2024-09-06
- 申请人:佳能株式会社
本公开涉及一种图像形成装置,包括:第一显示部,其配置成显示容纳在显影剂容器中的调色剂的量与显影剂容器能够容纳的调色剂的最大量的比率;第二显示部,其配置成在第一状态和不同于第一状态的第二状态之间切换,显影剂容器在第二显示部处于第二状态的情况下比在第二显示部处于第一状态的情况下能够接受更多的用于补给的调色剂;以及控制器,其配置成在第二显示部处于第二状态时执行将调色剂从补给容器供给到补给端口的补给操作的情况下,将第二显示部从第二状态切换到第一状态并执行在第一显示部上显示与补给操作之后容纳在显影剂容器中的调色剂的量相对应的比率的显示处理。- 发布时间:2023-06-02 13:55:02
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图像形成装置 公开日期:2024-09-06 公开号:CN112904684A 申请号:CN202110137051.9图像形成装置
- 申请号:CN202110137051.9
- 公开号:CN112904684A
- 公开日期:2024-09-06
- 申请人:京瓷办公信息系统株式会社
图像形成装置具备色粉带电量预测部、色粉显影电阻计算部和判定部。色粉显影电阻计算部在显影装置对形成在像载体的表面的静电潜像进行显影而形成色粉图像时,基于施加于显影装置的偏压(Vdc)和测定的显影电流(Id),将偏压(Vdc)的值除以显影电流(Id)的值来计算色粉显影电阻(TR)。色粉带电量预测部基于色粉图像的浓度和显影电流(Id),预测显影装置向像载体供给的色粉的色粉带电量(TQ)。判定部基于色粉带电量(TQ)以及色粉显影电阻(TR)来判定显影装置的状态。根据本发明,能够正确地判断色粉的更换时期。- 发布时间:2023-06-11 12:35:15
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