一种光刻胶供给设备

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114355730 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202210054957.9 (22)申请日 2022.01.18 (71)申请人 浙江光特科技有限公司 地址 312000 浙江省绍兴市越城区群贤路 与中兴大道东南角一楼107室 (72)发明人 万远涛　沈琪良　石峰　 (74)专利代理机构 南京普睿益思知识产权代理 事务所(普通合伙) 32475 代理人 曹花 (51)Int.Cl. G03F 7/16 (2006.01) B05C 11/10 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 (54)发明名称 一种光刻胶供给设备 (57)摘要 本发明公开了一种光刻胶供给设备，包括： 一支架；一支撑件，呈锥形设置，设置于所述支架 上；其上部内径大于下部内径；一压板，位于所述 支撑件的上方，与所述支架可移动连接；一调节 机构，用于调节所述压板与所述支撑件之间的间 距；一箱体，布置于所述支撑件内，所述箱体上的 开口向下布置；一柱塞，安装在所述箱体的开口 中；一供气机构；一进气管，其第一端与所述供气 机构连接，其第二端穿过所述柱塞位于所述箱体 内，并靠近所述箱体的底部。可以在支架上设置 滑槽，可以在压板上设置滑块，滑块与滑槽滑动 配合。调节机构可以为螺杆，与所述支架螺纹连 A 接，并与所述压板转动连接，通过转动螺杆带动 0 压板下降，压持住箱体的底部，将箱体固定。