一种用于晶圆光刻胶烘干处理的设备

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114460811 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202210089724.2 (22)申请日 2022.01.25 (71)申请人 浙江光特科技有限公司 地址 312000 浙江省绍兴市越城区群贤路 与中兴大道东南角一楼107室 (72)发明人 廖世容　况诗吟　谢建平　 (74)专利代理机构 南京普睿益思知识产权代理 事务所(普通合伙) 32475 专利代理师 何薇 (51)Int.Cl. G03F 7/16 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图8页 (54)发明名称 一种用于晶圆光刻胶烘干处理的设备 (57)摘要 本发明公开了一种用于晶圆光刻胶烘干处 理的设备，包括：一传送机构；多个夹具，沿所述 传送机构的移动方向间隔设置在所述传送机构 上；沿所述传送机构的移动方向设置有滴胶区、 烘干区；一滴胶机构，位于所述滴胶区，布置于所 述夹具的上方；一烘干机构，位于所述烘干区，布 置于所述夹具的上方，沿所述传送机构的移动方 向，所述烘干机构位于所述滴胶机构的下游侧。 利用多个夹具夹持固定多个晶圆，利用传送机构 带动夹具连续传送。利用滴胶机构向晶圆上滴加 光刻胶。在匀胶后，利用烘干机构进行烘干处理。 本实施例集合滴胶、烘干一体化处理，可以多个 A 晶圆连续处理，效率高。 1 1 8 0 6 4 4 1 1 N C CN 114460811 A