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• 一种减少曝光累积误差的方法 公开日期：2024-09-13 公开号：CN114185252A 申请号：CN202111484872.6
  发明 一种减少曝光累积误差的方法

  • 申请号：CN202111484872.6
  • 公开号：CN114185252A
  • 公开日期：2024-09-13
  • 申请人：中山大学南昌研究院

  本发明属于半导体芯片微纳加工制造技术领域，具体涉及一种减少曝光累积误差的方法，包括如下步骤：(1)在晶圆片的正面刻蚀刻度；(2)在晶圆片的正面形成标记，首次曝光后记录标记的实际位置坐标(X1，Y1)与理论值坐标(X0，Y0)进行比对，并计算相应的差值(X1‑X0，Y1‑Y0)；(3)针对上述差值，在第二次曝光时进行相应的补偿，从而减少每次的累积误差。本发明通过在晶圆片的平边制备一个刻度用于多次曝光位置的调整，减少曝光制程多次累积误差；明显减少曝光制程累积误差，提升产品品质。

  发布时间：2023-04-28 09:48:48

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• 用于执行极紫外光刻工艺的系统和方法 公开日期：2024-09-13 公开号：CN113267963A 申请号：CN202110495908.4
  发明 用于执行极紫外光刻工艺的系统和方法

  • 申请号：CN202110495908.4
  • 公开号：CN113267963A
  • 公开日期：2024-09-13
  • 申请人：台湾积体电路制造股份有限公司

  光刻系统利用锡滴生成用于光刻的极紫外辐射。光刻系统用激光照射液滴。液滴变成等离子体，并发出极紫外辐射。光刻系统检测锡滴对聚光镜的污染，并调节缓冲流体的流量以减少污染。本申请的实施例提供了用于执行极紫外光刻工艺的系统和方法。

  发布时间：2023-06-17 07:23:17

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• 用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法 公开日期：2024-09-13 公开号：CN113138544A 申请号：CN202110023695.5
  发明 用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法

  • 申请号：CN202110023695.5
  • 公开号：CN113138544A
  • 公开日期：2024-09-13
  • 申请人：株式会社LG化学

  本发明涉及用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法，所述用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物具有优异的光致抗蚀剂剥离力，并且可以在剥离过程期间抑制下部金属层的腐蚀并有效地除去氧化物。所述剥离剂组合物包含：其中氮经1至2个碳数为1至5的线性或支化烷基取代的酰胺化合物；胺化合物；极性有机溶剂；水合肼；和基于三唑的化合物。

  发布时间：2023-06-14 13:05:52

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• 调色剂输送装置、清洁装置及图像形成装置 公开日期：2024-09-13 公开号：CN114647169A 申请号：CN202111561252.8
  发明 调色剂输送装置、清洁装置及图像形成装置

  • 申请号：CN202111561252.8
  • 公开号：CN114647169A
  • 公开日期：2024-09-13
  • 申请人：京瓷办公信息系统株式会社

  本发明提供调色剂输送装置、清洁装置及图像形成装置。即使在其它部件与输送部件接触而对输送部件施加了载荷的情况下也能够不使输送部件弯曲地稳定地进行支承。所述调色剂输送装置具备：壳体、输送部件以及按压部件，从与所述输送部件的转动轴方向交叉的第一方向按压所述输送部件的外周部，并伴随所述输送部件的转动在所述外周部上滑动。所述按压部件由具有柔性的片部件形成，具有：基础部，固定在所述壳体的内部确定的固定位置；以及多个突出片，以能够与所述输送部件的所述外周部抵接的方式从所述基础部朝向所述输送部件突出，并排设置在所述转动轴方向上。所述多个突出片的配置间隔与所述转动轴方向上的所述螺旋叶片的间隔不同。

  发布时间：2023-05-14 11:42:53

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• 一种投影拍摄布景装置 公开日期：2024-09-13 公开号：CN113391501A 申请号：CN202110805392.9
  发明 一种投影拍摄布景装置

  • 申请号：CN202110805392.9
  • 公开号：CN113391501A
  • 公开日期：2024-09-13
  • 申请人：十曜工房（深圳）科技有限公司

  本发明涉及摄影技术领域，具体涉及一种投影拍摄布景装置，包括投影移动车架和与投影移动车架相对设置的拍摄移动车架，投影移动车架和拍摄移动车架的底部均设有移动机构，投影移动车架与拍摄移动车架之间设有用于连接两个车架的折叠连接机构；投影移动车架包括可升降的投影龙门架组件，投影龙门架组件包括横向设置且用于收卷投影幕布的第一收卷机构；拍摄移动车架包括可升降的拍摄龙门架组件，拍摄龙门架组件包括横向设置且用于收卷背景幕布的第二收卷机构。与现有技术相比，通过设置用于收卷投影幕布的第一收卷机构和用于收卷背景幕布的第二收卷机构，从而满足静态背景和动态背景摄影的需求，具有多功能的特点。

  发布时间：2023-06-23 08:05:41

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• 配件 公开日期：2024-09-13 公开号：CN116794911A 申请号：CN202311022833.3
  发明 配件

  • 申请号：CN202311022833.3
  • 公开号：CN116794911A
  • 公开日期：2024-09-13
  • 申请人：株式会社尼康

  本公开涉及配件。更换镜头可拆卸地装附于相机机身，该相机机身包括机身侧装配件、配置于图像传感器的上边的上部的机身侧端子组以及机身侧第1爪部～机身侧第4爪部。机身侧第2爪部在圆周方向上以中心角度延伸，并且位于机身侧端子组的外侧。更换镜头包括镜头侧装配件、镜头侧端子组、在更换镜头的恰当装附下与机身侧第1爪部～机身侧第4爪部配合的镜头侧第1爪部～镜头侧第4爪部。机身侧第1爪部～机身侧第4爪部分别配置于由与弧形的机身侧端子组相关的机身侧第1直线和机身侧第2直线划分出的四个区域。更换镜头插入相机机身并旋转第1角度以便装附，并且相机机身的端子和更换镜头的端子彼此连接。机身侧第2爪部的中心角度比所述第1角度小。

  发布时间：2023-09-24 08:32:54

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• 感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 公开日期：2024-09-13 公开号：CN112639616A 申请号：CN201980057053.8
  PCT发明 感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件

  • 申请号：CN201980057053.8
  • 公开号：CN112639616A
  • 公开日期：2024-09-13
  • 申请人：富士胶片株式会社

  本发明提供一种发挥优异的环化率且保存稳定性也优异的感光性树脂组合物。并且，提供一种利用了上述感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。感光性树脂组合物含有特定的热产碱剂和含杂环聚合物的前体，特定的热产碱剂具有羟基与酰胺结构(‑C(＝O)‑N＝)通过烃基L而连接的结构，L在L中的连接链的路径上具有饱和烃基，且连接链的路径上的原子数为3以上。

  发布时间：2023-06-03 12:10:25

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• 图像形成装置 公开日期：2024-09-13 公开号：CN112578655A 申请号：CN202010995594.X
  发明 图像形成装置

  • 申请号：CN202010995594.X
  • 公开号：CN112578655A
  • 公开日期：2024-09-13
  • 申请人：株式会社理光

  本发明涉及在单面印刷中，减少附着在输送记录介质的输送部件上的水分的图像形成装置。该图像形成装置(1)是具有在单面印刷时不使用的输送部件(双面翻转辊(33a)、双面翻转滚轮(33b))的装置，包括具有从图像形成装置(1)的外部吸引空气的吸气口(吹气导管吸气口(43))和被设置在不同于吸气口的端部并与输送部件相向而对的开口部(吹气导管排气口(41))的导管(吹气导管(4))、设置在导管内并将从开口部向输送部件吹送从吸气口吸引的空气的送风机构(42)，以及进行至少在单面印刷时通过送风机构(42)将空气向输送部件吹送的控制的控制机构。

  发布时间：2023-06-02 13:43:14

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• 光刻掩模组件及其制造方法 公开日期：2024-09-13 公开号：CN113805426A 申请号：CN202110312358.8
  发明 光刻掩模组件及其制造方法

  • 申请号：CN202110312358.8
  • 公开号：CN113805426A
  • 公开日期：2024-09-13
  • 申请人：台湾积体电路制造股份有限公司

  根据本发明的光刻掩模组件随附光刻掩模。该光刻掩模包括在衬底上方的覆盖层和设置在覆盖层上方的吸收层。该吸收层包括第一主部件区域、第二主部件区域，以及设置在第一主部件区域与第二主部件区域之间的通风部件区域。该通风部件区域包括多个通风部件。本申请的实施例还涉及制造光刻掩模组件的方法。

  发布时间：2023-07-05 07:15:56

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• 旋转体、插入轴的构件、保持构件和装置 公开日期：2024-09-13 公开号：CN113302563A 申请号：CN201980087806.X
  PCT发明 旋转体、插入轴的构件、保持构件和装置

  • 申请号：CN201980087806.X
  • 公开号：CN113302563A
  • 公开日期：2024-09-13
  • 申请人：株式会社理光

  一种插入轴的旋转体包括在所述旋转体的端部的保持部，以将所述旋转体保持在所述轴上。所述保持部包括挂钩部，该挂钩部可弹性变形并可拆卸地挂钩在所述轴的端部的凹部。所述保持部能够通过所述挂钩部弹性变形，在所述轴的轴向，越过位于所述凹部外侧的所述轴的凸部旋转地移动。

  发布时间：2023-06-23 07:07:49

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