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• 反应器系统以及其使用方法 公开日期：2024-10-25 公开号：CN112626493A 申请号：CN202011030325.6
  发明 反应器系统以及其使用方法

  • 申请号：CN202011030325.6
  • 公开号：CN112626493A
  • 公开日期：2024-10-25
  • 申请人：ASMIP私人控股有限公司

  公开了一种包括气体分配组件的反应器系统和使用所述反应器系统的方法。所述气体分配组件包括气体分配装置、气体膨胀区域和处于所述气体分配装置和所述膨胀区域下游的喷头板。

  发布时间：2023-06-03 12:11:12

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• 镀膜设备 公开日期：2024-10-25 公开号：CN116162930A 申请号：CN202310211036.3
  发明 镀膜设备

  • 申请号：CN202310211036.3
  • 公开号：CN116162930A
  • 公开日期：2024-10-25
  • 申请人：业成光电（深圳）有限公司|||业成科技（成都）有限公司|||英特盛科技股份有限公司

  本申请涉及一种镀膜设备。镀膜设备包括设备主体、调节组件以及安装部件，调节组件设于所述设备主体上，安装部件设于所述调节组件，且用于固定待镀膜产品。所述调节组件被配置为能够驱使所述安装部件沿第一方向移动，所述第一方向平行于所述安装部件的厚度方向。本申请的镀膜设备能够根据待镀膜产品的厚度等参数调节镀膜间距和镀膜倾角，适用性更广。

  发布时间：2023-05-28 13:09:47

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• 一种蒸镀装置 公开日期：2024-10-25 公开号：CN116145087A 申请号：CN202310180467.8
  发明 一种蒸镀装置

  • 申请号：CN202310180467.8
  • 公开号：CN116145087A
  • 公开日期：2024-10-25
  • 申请人：固安翌光科技有限公司

  本发明公开了一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括：设置有蒸镀气体出口的蒸镀源存储装置；蒸镀气流导向装置包括导向通道；蒸镀气体出口的所在平面和待蒸镀基板的所在平面的高度差为第一距离，蒸镀气体出口的中心在待蒸镀基板的所在平面的正投影点和待蒸镀基板的中心之间的距离为第二距离；导向通道中的蒸镀气体的气流方向和蒸镀气体出口的所在平面的夹角大于等于第一距离和第二距离比值的反正切函数值，小于等于预设角度，预设角度的补角为第一距离与第三距离比值的反正切函数值，第三距离等于待蒸镀基板的中心到边缘的距离与第二距离的差值，第二距离和第三距离在同一直线，且位于待蒸镀基板的中心的同一侧。上述技术方案提高了蒸镀材料的利用率。

  发布时间：2023-05-28 11:49:04

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• 用于静电吸盘的原位清洗的方法与设备 公开日期：2024-10-25 公开号：CN114846174A 申请号：CN202080085269.8
  PCT发明 用于静电吸盘的原位清洗的方法与设备

  • 申请号：CN202080085269.8
  • 公开号：CN114846174A
  • 公开日期：2024-10-25
  • 申请人：应用材料公司

  本文提供一种用于清洗半导体腔室中的静电吸盘(ESC)的方法和设备，其允许原位清洗ESC。一种设备可包括：与沉积环电隔离的适配器或盖环；安装到基座并围绕基座的环形接地支架，所述环形接地支架在上周边表面上具有至少一个水平接地圈，所述至少一个水平接地圈被配置成提供与适配器或盖环的电接触，并且在等离子体产生期间向ESC提供RF返回路径；以及支架，所述支架在第一端上具有水平接地圈以与沉积环电接触并且在第二端上具有垂直接地圈以与电接地的升举圈电接触，所述支架安装到环形接地支架但与环形接地支架电隔离。

  发布时间：2023-05-18 12:45:11

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• 铝合金材料及其制造方法 公开日期：2024-10-25 公开号：CN114746579A 申请号：CN202080082571.8
  PCT发明 铝合金材料及其制造方法

  • 申请号：CN202080082571.8
  • 公开号：CN114746579A
  • 公开日期：2024-10-25
  • 申请人：株式会社UACJ

  本发明提供一种铝合金材料，其具有：由铝合金构成的基材；以及基材的表面上的化成处理皮膜，其中，在25℃、pH5.5的5wt％NaCl静止水溶液中，以饱和KCl中的银‑氯化银电极作为参照电极，并以20mV/分钟的扫描速度对铝合金材料进行测定，在所得的阴极极化曲线中，电流密度的绝对值达到10μA/cm2的电极电位为‑1350mV～‑1150mV。

  发布时间：2023-05-16 10:25:15

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• 一种台车式渗锌生产线 公开日期：2024-10-25 公开号：CN114672762A 申请号：CN202210437722.8
  发明 一种台车式渗锌生产线

  • 申请号：CN202210437722.8
  • 公开号：CN114672762A
  • 公开日期：2024-10-25
  • 申请人：洛阳鑫益达工业设备有限公司

  一种台车式渗锌生产线，涉及一种金属表面处理技术领域，包括炉体、升降推拉装置和链条输送机构，炉体的下层炉体为渗锌室，在下层炉体内沿其长度方向设置有多个渗锌工位，上层炉体为上部敞开状，链条输送机构沿上层炉体上面的长度方向布置，上层炉体上位于链条输送机构的两侧设有两根对接轨道，升降推拉装置设置有两个，分别位于下层炉体进料端、出料端炉门的外部；下层炉体外侧面的下部沿长度方向间隔布置有多个馈电装置，每个馈电装置分别对应每个渗锌工位上的滚筒，多个馈电装置的上部均上下对应设有多个热电偶组件；本发明通过升降推拉装置与上下两层炉体准确接轨，结构布局合理，实现了生产线上的全自动生产，有效提高了工作效率。

  发布时间：2023-05-14 12:17:52

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• 一种金属基材的处理方法及用于制备车辆的材料 公开日期：2024-10-25 公开号：CN116083893A 申请号：CN202310105458.2
  发明 一种金属基材的处理方法及用于制备车辆的材料

  • 申请号：CN202310105458.2
  • 公开号：CN116083893A
  • 公开日期：2024-10-25
  • 申请人：广汽埃安新能源汽车股份有限公司

  本申请实施例提供一种金属基材的处理方法及用于制备车辆的材料，涉及车辆制备领域。金属基材的处理方法包括以下步骤：将金属基材浸泡于锆盐溶液中以形成锆化膜，锆盐溶液呈酸性；且锆盐溶液中还含有添加剂，添加剂包括硝酸钠、亚硝酸钠中的一种或两种；金属基材中含有锰，且锰的质量份数不小于0.5％。使用本申请实施例的处理方法得到的材料，金属基材和锆化膜之间的附着力能得到明显的提升。

  发布时间：2023-05-12 11:15:21

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• 成膜用掩模夹具以及成膜装置 公开日期：2024-10-25 公开号：CN114086113A 申请号：CN202110740677.9
  发明 成膜用掩模夹具以及成膜装置

  • 申请号：CN202110740677.9
  • 公开号：CN114086113A
  • 公开日期：2024-10-25
  • 申请人：株式会社村田制作所

  本发明的成膜用掩模夹具(270)具备：收容部(273)，收容被成膜物；掩模部(274)，在成膜时位于被成膜物的下方，用于防止被成膜物向非成膜区域的成膜；以及掉落抑制构件(275)，在未设置掩模部(274)的开口部中，设置于在被成膜物被收容于收容部(273)的状态下不与被成膜物接触的位置，用于抑制被成膜物的掉落。由此，能够抑制向开口部的被成膜物的掉落。

  发布时间：2023-04-26 09:55:04

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• 发动机推力室身部内外表面高效制备难熔金属涂层的装置 公开日期：2024-10-25 公开号：CN115821209A 申请号：CN202211296989.6
  发明 发动机推力室身部内外表面高效制备难熔金属涂层的装置

  • 申请号：CN202211296989.6
  • 公开号：CN115821209A
  • 公开日期：2024-10-25
  • 申请人：航天材料及工艺研究所

  本申请涉及航天发动机推力室身部制造领域，公开了一种推力室身部制备涂层的装置，包括：前驱体升华装置，用于提供前驱体气体；反应腔，和前驱体升华装置通过进气管路连接；进气承载件，用于在反应腔内承载工件，进气承载件具有通气内腔，通气内腔与工件的内腔相对设置；旋转电机，用于旋转工件；反应腔设置有工作台，工作台具有与旋转电机密封连接的工作台开口，旋转电机在工作台开口与进气承载件的固定端装配；进气承载件具有与通气内腔贯通的通气开口，来自进气管路的前驱体气体通过通气开口和通气内腔进入工件的内腔。实现推力室身部内外表面厚度均匀涂层的一体制备，有效提高涂层的制备效率，降低制造成本。

  发布时间：2023-06-01 07:04:32

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• 一种复合铜箔的制备方法 公开日期：2024-10-22 公开号：CN117702095A 申请号：CN202311709934.8
  发明 一种复合铜箔的制备方法

  • 申请号：CN202311709934.8
  • 公开号：CN117702095A
  • 公开日期：2024-10-22
  • 申请人：广东盈华电子科技有限公司

  本发明属于金属薄膜制备技术领域，涉及一种复合铜箔的制备方法。所述方法包括以下步骤：将锌盐的醇溶液喷涂在高分子聚合物基膜，经热处理，负载氧化锌纳米层，得复合膜1；将复合膜1浸入含贵金属盐和稳定剂的多元醇溶液中，将贵金属离子还原为贵金属纳米颗粒，清洗，得复合膜2；最后将复合膜2浸入碱性化学镀铜溶液中进行镀铜，即得复合铜箔。在高分子聚合物基膜上制备了负载贵金属纳米颗粒的氧化锌纳米层，有效提高了铜箔层与高分子聚合物层的附着力及导电性能；为后续化学镀铜提供了基础；采用喷涂加热处理的工艺，同时避免了使用昂贵的激光脉冲沉积、磁控溅射等设备，成本较低，且更容易实现大规模制备和工业化生产。

  发布时间：2024-03-18 07:54:33

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