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组合物及感光性组合物 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117908327A 申请号:CN202311343888.4组合物及感光性组合物
- 申请号:CN202311343888.4
- 公开号:CN117908327A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:东京应化工业株式会社
本发明涉及组合物及感光性组合物。本发明的课题是提供即使被加热也不易发生组合物或感光性组合物中的成分(在组合物或感光性组合物包含溶剂的情况下,为溶剂以外的成分)的质量的过度减少、无机微粒在长期内稳定地分散的感光性组合物、该感光性组合物的固化物、优选配合于前述的感光性组合物中的化合物、和该化合物的制造方法。本发明的解决手段为:在包含光聚合性化合物(A)和无机微粒(B)的组合物或者包含光聚合性化合物(A)、无机微粒(B)和引发剂(C)的感光性组合物中,使用具有含有自由基聚合性基团的基团或含有阳离子聚合性基团的基团的特定结构的化合物作为光聚合性化合物(A)。- 发布时间:2024-04-21 07:43:49
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感光性组合物 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117908326A 申请号:CN202311343615.X感光性组合物
- 申请号:CN202311343615.X
- 公开号:CN117908326A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:东京应化工业株式会社
本发明涉及感光性组合物。本发明的课题是提供即使被加热也不易发生固化物的质量的过度减少、显示出良好的固化性的感光性组合物和该感光性组合物的固化物。本发明的解决手段为:在包含光聚合性化合物(A)和引发剂(C)的感光性组合物中,将具有含有自由基聚合性基团的基团或含有阳离子聚合性基团的基团的特定结构的化合物、和与该特定结构的化合物不同的多官能化合物组合用作光聚合性化合物(A)。- 发布时间:2024-04-21 07:43:48
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化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117908325A 申请号:CN202311342291.8化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法
- 申请号:CN202311342291.8
- 公开号:CN117908325A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:信越化学工业株式会社
本发明涉及化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题是提供为高感度且高对比度、线的LWR及孔洞的CDU经改善、图案形成后的蚀刻耐性仍优良的化学增幅抗蚀剂组成物,以及提供使用其的图案形成方法。该课题的解决手段是一种化学增幅抗蚀剂组成物,含有:(A)聚合物,因酸的作用而对碱水溶液的溶解性会增加,其含有下式(A1)表示的重复单元及下式(B1)表示的重复单元,且不含因曝光而产生酸的重复单元,及(B)光酸产生剂,以下式(PAG‑a)或(PAG‑b)表示,且因KrF准分子激光、ArF准分子激光、电子束或极紫外线的作用而产生酸。- 发布时间:2024-04-21 07:43:48
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成像设备 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117908347A 申请号:CN202311329345.7成像设备
- 申请号:CN202311329345.7
- 公开号:CN117908347A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:佳能株式会社
成像设备具有前表面和后表面,并且包括具有在第一方向上延伸的旋转轴线的感光器、曝光单元、和冷却单元。曝光单元包括基板,所述基板具有在第一方向上延伸的纵向轴线、第一表面以及与第一表面相反的第二表面。朝向感光器发射光的多个发光元件安装在基板的第一表面上。冷却单元包括从成像设备的外部抽吸空气的进气口。进气口设置于在第一方向上距所述后表面的进气口距离处。进气口距离短于基板的中心在第一方向上距所述后表面的距离。冷却单元通过将由进气口抽吸的空气吹送至基板的第二表面上来冷却基板。- 发布时间:2024-04-21 07:43:43
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成像设备 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117908346A 申请号:CN202311324150.3成像设备
- 申请号:CN202311324150.3
- 公开号:CN117908346A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:佳能株式会社
本公开涉及一种成像设备,包括第一可旋转构件、第二可旋转构件、空气喷嘴以及管道。所述管道包括沿着与记录材料进给方向相垂直的所述第一可旋转构件的宽度方向延伸的部分。- 发布时间:2024-04-21 07:43:43
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图像形成装置 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117908345A 申请号:CN202311295234.9图像形成装置
- 申请号:CN202311295234.9
- 公开号:CN117908345A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:京瓷办公信息系统株式会社
本发明提供一种图像形成装置。图像形成装置在输送路径中的转印位置处将图像转印于薄片体的表面。一对输送辊向所述转印位置输送所述薄片体。图像传感器在比所述转印位置更靠上游的位置读取所述薄片体。所述旋转件与所述图像传感器隔着所述输送路径相对配置。所述旋转件具有:背景部,在所述旋转件位于第一旋转位置时与所述图像传感器的读取面相对;以及清扫部,在所述旋转件位于第二旋转位置时与所述图像传感器的读取面接触。- 发布时间:2024-04-21 07:43:39
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高折射率图案化用负型光敏树脂组合物 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117908324A 申请号:CN202311288976.9高折射率图案化用负型光敏树脂组合物
- 申请号:CN202311288976.9
- 公开号:CN117908324A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:罗门哈斯电子材料韩国有限公司
根据本发明的负型光敏树脂组合物采用与常规使用的高折射率单体相比硬度相对较低并且在确保溶解度方面有利的单体和引发剂,由此可以提供具有1.6或更大的折射率和优异的图案化的负型固化膜。- 发布时间:2024-04-21 07:43:39
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光圈模块和相机模块 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117908312A 申请号:CN202310766647.4光圈模块和相机模块
- 申请号:CN202310766647.4
- 公开号:CN117908312A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:三星电机株式会社
提供了光圈模块和相机模块。光圈模块包括:多个叶片,配置成彼此互锁以形成通孔;旋转体,所述多个叶片设置在旋转体上;第一基础部,旋转体设置在第一基础部上;第二基础部,连接到第一基础部;以及光圈驱动器,设置在第二基础部上,并配置成提供驱动力以在与光轴方向相交的方向上移动旋转体。第一基础部配置成相对于第二基础部在光轴方向上移动。- 发布时间:2024-04-21 07:43:28
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套刻测量装置、方法及其系统和程序 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117908333A 申请号:CN202310702575.7套刻测量装置、方法及其系统和程序
- 申请号:CN202310702575.7
- 公开号:CN117908333A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:奥路丝科技有限公司
本发明涉及一种套刻测量装置、方法及其系统。为此,根据本发明一实施例的套刻测量装置,包括:收发部;以及与所述传输/接收部电连接的处理器,所述处理器配置为:获取用户终端通过所述收发部传输的数据;对包括在所述数据中的配方进行分析;当完成针对所述配方的分析时,基于所述配方执行与晶圆的测定选项相关的优化过程。- 发布时间:2024-04-21 07:43:27
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极紫外掩模及其制造方法 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117908322A 申请号:CN202310693508.3极紫外掩模及其制造方法
- 申请号:CN202310693508.3
- 公开号:CN117908322A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:三星电子株式会社
提供了极紫外(EUV)掩模及其制造方法。所述EUV掩模可以包括:基板,所述基板具有矩形形状;反射层,所述反射层在所述基板上,并且具有比所述基板的所述矩形形状小的矩形形状;以及吸收层,所述吸收层在所述反射层上。所述吸收层可以具有与所述反射层的所述矩形形状相同的形状。所述吸收层可以包括虚设孔图案。所述虚设孔图案可以沿着所述吸收层的边缘部分呈矩形框架形状,并且可以包括多个虚设孔,所述多个虚设孔暴露所述反射层。- 发布时间:2024-04-21 07:43:27
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