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• 感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法 公开日期：2024-11-08 公开号：CN113795790A 申请号：CN202080033770.X
  PCT发明 感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法

  • 申请号：CN202080033770.X
  • 公开号：CN113795790A
  • 公开日期：2024-11-08
  • 申请人：富士胶片株式会社

  本发明提供一种能够形成LWR性能优异的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。还提供一种使用了感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜及图案形成方法、以及使用了上述图案形成方法的电子器件的制造方法。感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含酸分解性树脂及通过光化射线或放射线的照射产生酸的化合物，通过光化射线或放射线的照射产生酸的化合物包含1种以上的选自由化合物(I)～(III)组成的组中的化合物，选自由上述化合物(I)～(III)组成的组中的化合物的含量相对于组合物中的总固体成分超过20.0质量％。

  发布时间：2023-07-05 07:11:05

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• 回收容器 公开日期：2024-11-08 公开号：CN113448230A 申请号：CN202010917671.X
  发明 回收容器

  • 申请号：CN202010917671.X
  • 公开号：CN113448230A
  • 公开日期：2024-11-08
  • 申请人：富士胶片商业创新有限公司

  在通过将设在回收容器的突起的防脱部钩挂于设在安装对象的钩挂部而将回收容器保持于安装对象的结构中，与仅通过容器本体相对于安装对象的安装方向的推入来钩挂住突起的结构相比，抑制突起相对于钩挂部的钩挂不良。回收容器包括：容器本体，能装卸于安装对象且能回收粉体；突起，设在所述容器本体，且形成在与所述安装方向为相反侧的部分的防脱部钩挂于设在所述安装对象的钩挂部；操作部，设在所述容器本体，在与所述容器本体侧相反的表面设有所述突起，朝远离所述容器本体的一侧对所述突起施力；以及推动部，设在所述容器本体，在从第一位置向第二位置移动时，将所述操作部推向远离所述容器本体的一侧。

  发布时间：2023-06-23 08:25:39

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• 选择与衬底上的测量或特征相关联的部位的集合 公开日期：2024-11-08 公开号：CN113341659A 申请号：CN202110630682.4
  发明 选择与衬底上的测量或特征相关联的部位的集合

  • 申请号：CN202110630682.4
  • 公开号：CN113341659A
  • 公开日期：2024-11-08
  • 申请人：ASML荷兰有限公司

  本发明提供一种选择衬底上用于测量或特征的部位的最优集合的方法，该方法包括：(302)：限定约束条件，并且可选地限定成本函数。(306)：限定部位的第一候选方案。(308)：基于对所述第一候选方案的方案域中的坐标的修改，限定具有部位的第二候选方案。这可能涉及重复、突变和交叉。(310)：确定与所述衬底上所需的测量准确性或特征布局相关联的成本函数的值。(312)：根据与所述衬底相关联的约束并且可选地根据所述成本函数的值，选择所述第一候选方案和/或第二候选方案作为所述最优方案。(314)：如果满足所述约束并且所述成本函数的值已收敛，或者如果已达到一迭代次数，则迭代结束。

  发布时间：2023-06-23 07:27:26

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• 量测方法及其装置 公开日期：2024-11-08 公开号：CN113168103A 申请号：CN201980061872.X
  PCT发明 量测方法及其装置

  • 申请号：CN201980061872.X
  • 公开号：CN113168103A
  • 公开日期：2024-11-08
  • 申请人：ASML荷兰有限公司

  一种用于测量制造工艺的参数的方法，包括：利用辐射照射目标，检测来自目标的经散射的辐射，以及从所检测的辐射的不对称性来确定感兴趣的参数。

  发布时间：2023-06-14 13:09:46

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• 用于极紫外光刻的空白掩模和光掩模 公开日期：2024-11-08 公开号：CN112782931A 申请号：CN202011221137.1
  发明 用于极紫外光刻的空白掩模和光掩模

  • 申请号：CN202011221137.1
  • 公开号：CN112782931A
  • 公开日期：2024-11-08
  • 申请人：思而施技术株式会社

  本发明涉及一种用于极紫外光刻的空白掩模以及光掩模，包含依序形成于透明基板上的反射膜、覆盖膜以及吸收膜，其中反射膜具有0.5纳米Ra或小于0.5纳米Ra的表面粗糙度。有可能防止极紫外光掩模图案的基脚发生，改善极紫外空白掩模的平坦度，且防止覆盖膜的氧化和缺陷。

  发布时间：2023-06-07 12:19:58

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• 图像形成装置 公开日期：2024-11-08 公开号：CN112305883A 申请号：CN202010749718.6
  发明 图像形成装置

  • 申请号：CN202010749718.6
  • 公开号：CN112305883A
  • 公开日期：2024-11-08
  • 申请人：佳能株式会社

  本发明公开了图像形成装置。一种图像形成装置包括：图像形成部，在记录材料上形成调色剂图像；定影部，具有包括加热器的加热器单元，并且该定影部将调色剂图像定影在记录材料上，该加热器能够改变发热区域；控制部，控制加热器；以及图像添加部，将预定的附加图像添加到期望的图像，其中，控制部根据期望的图像在与传送方向垂直的方向上的宽度或记录材料在与传送方向垂直的方向上的宽度来设定发热区域，并且预定的附加图像在与传送方向垂直的方向上的宽度等于或小于发热区域在与传送方向垂直的方向上的宽度。

  发布时间：2023-05-28 12:42:28

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• 一种水性环保型双固化毛毯胶及其制备方法 公开日期：2024-11-08 公开号：CN112213920A 申请号：CN202011180823.9
  发明 一种水性环保型双固化毛毯胶及其制备方法

  • 申请号：CN202011180823.9
  • 公开号：CN112213920A
  • 公开日期：2024-11-08
  • 申请人：浙江荣生科技有限公司

  本发明公开了一种水性环保型双固化毛毯胶的制备方法，包括：1)将适量的聚乙烯醇、水、醋酸乙烯和丙烯酸酯合成反应，得到胶体；2)依次加入适量的环氧丙烯树脂、UV单体和UV光敏剂，高速乳化成胶；3)加入适量重氮树脂光敏剂与上述胶体混合均匀得到的混合物。本发明还提供了根据上述方法制备得到的毛毯胶及其应用。本发明的毛毯胶同时存在重氮树脂光敏剂和UV光敏剂，感光过程中存在双固化反应，因此，固化速度较快且耐磨性较好，印刷可高达5万次。

  发布时间：2023-05-25 12:19:06

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• 成像装置 公开日期：2024-11-08 公开号：CN114563936A 申请号：CN202111409458.9
  发明 成像装置

  • 申请号：CN202111409458.9
  • 公开号：CN114563936A
  • 公开日期：2024-11-08
  • 申请人：佳能株式会社

  一种成像装置，用于使得补充容器能够可拆卸地附接于其上。成像装置包括：鼓单元，该鼓单元包括感光鼓；以及显影单元。显影单元包括：显影辊；以及接收部分，该接收部分用于接收补充容器。显影单元可相对于鼓单元运动。该成像装置还包括壳体，该壳体包括打开/关闭部件，该打开/关闭部件可在覆盖位置和暴露位置之间运动，在该覆盖位置处，打开/关闭部件覆盖接收部分，在该暴露位置处，接收部分暴露，且支承部件设置成可与打开/关闭部件的运动结合地在支承位置和缩回位置之间运动，在支承位置处，支承部件支承显影单元，在该缩回位置处，支承部件从支承位置缩回。

  发布时间：2023-05-12 11:42:56

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• 电子照相感光体、处理盒和图像形成装置 公开日期：2024-11-08 公开号：CN114488725A 申请号：CN202111201299.3
  发明 电子照相感光体、处理盒和图像形成装置

  • 申请号：CN202111201299.3
  • 公开号：CN114488725A
  • 公开日期：2024-11-08
  • 申请人：京瓷办公信息系统株式会社

  本发明提供电子照相感光体、处理盒和图像形成装置。电子照相感光体具备导电性基体和感光层。感光层是单层的，并且含有电荷产生剂、空穴输送剂、电子输送剂和聚芳酯树脂。聚芳酯树脂含有重复单元(1)、(2)和(3)。重复单元(1)的数n1相对于重复单元(2)的数n2之比率n1/n2是1.0以上。

  发布时间：2023-05-09 11:53:24

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• 一种高耐热共聚型负性光刻胶组合物及其制备方法 公开日期：2024-11-08 公开号：CN114265284A 申请号：CN202111509236.4
  发明 一种高耐热共聚型负性光刻胶组合物及其制备方法

  • 申请号：CN202111509236.4
  • 公开号：CN114265284A
  • 公开日期：2024-11-08
  • 申请人：深圳迪道微电子科技有限公司

  本发明公开了一种高耐热共聚型负性光刻胶组合物，包括以下质量份数的组分：碱可溶光固化有机硅树脂10~30份，碱可溶丙烯酸酯类单体1.5~8份，光引发剂0.5~2.5份，表面活性剂0.01~0.02份，和溶剂12~60份；其中，所述碱可溶光固化有机硅树脂为由环己基三甲氧基硅烷，与含双键的三官能度硅烷单体和含羧基的三官能度硅烷单体经过共聚交联得到的三维共聚物。本发明通过含双键和羧基的三官能硅氧烷单元共聚得到三维立体共聚物，并通过环己烷基三甲氧基硅烷代替苯基硅烷明显提升光刻胶的热稳定性，降低了碱可溶光固化有机硅树脂中苯基的使用量，进而降低树脂裂解黄变从而大幅提升显示面板寿命。

  发布时间：2023-05-05 09:33:09

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