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• 一种全自动曝光机 公开日期：2024-08-13 公开号：CN114791691A 申请号：CN202110098554.X
  发明 一种全自动曝光机

  • 申请号：CN202110098554.X
  • 公开号：CN114791691A
  • 公开日期：2024-08-13
  • 申请人：源卓微纳科技（苏州）股份有限公司

  一种全自动曝光机，其包括第一台面、第二台面、曝光系统以及至少两个抓料机械手和至少一个暂存机械手，第一台面和第二台面位于曝光系统的两端，并且可以分别移动至所述曝光系统处，第一台面和第二台面均用于放置待曝光基件；至少一个暂存机械手从第一或第二台面上抓取基件，待与其最接近的抓料机械手空置后进行交接，随后抓料机械手将该基件转移到下一工位。本发明的全自动曝光机基件的转移更高效曝光产能更高，并且整机系统的结构紧凑，无论是占地面积还是占用的高度空间都会明显减小，特别占地面积减小尤为明显。

  发布时间：2023-05-17 11:48:09

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• 光源装置、投影仪和光强度分布均匀化方法 公开日期：2024-08-13 公开号：CN114072729A 申请号：CN201980098314.0
  PCT发明 光源装置、投影仪和光强度分布均匀化方法

  • 申请号：CN201980098314.0
  • 公开号：CN114072729A
  • 公开日期：2024-08-13
  • 申请人：夏普NEC显示器解决方案株式会社

  本光源装置产生进入微透镜阵列的激光，该微透镜阵列包括排列在彼此正交的两个方向上的多个微透镜，该光源装置包括输出激光的多个光源。光源在微透镜阵列的进入表面上形成椭圆形的光源图像，光源图像的长轴方向与两个方向相交。

  发布时间：2023-04-26 09:31:22

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• 一种波长转换装置、光源装置及投影系统 公开日期：2024-08-13 公开号：CN114624947A 申请号：CN202210096897.7
  发明 一种波长转换装置、光源装置及投影系统

  • 申请号：CN202210096897.7
  • 公开号：CN114624947A
  • 公开日期：2024-08-13
  • 申请人：无锡视美乐激光显示科技有限公司

  本发明提供一种波长转换装置、光源装置及投影系统，所述波长转换装置包括基板，以及驱动所述基板转动的驱动机构；其中，所述基板上设置有波长转换区与激发光透射区；所述激发光透射区包括第一透射区与第二透射区；所述第一透射区与所述波长转换区均为圆弧状结构，所述第一透射区与所述波长转换区围合构成一圆环状结构；所述第二透射区位于所述圆环状结构的内侧。本发明提供的波长转换装置，通过在基板上设置两个透射区，使得用于合光的一部分激发光能够直接穿过基板后与受激发光合光，有助于减小光学元件之间的距离，使得光源装置的结构更加紧凑，从而减小光源装置的体积。

  发布时间：2023-05-14 11:27:39

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• 一种用于晶圆烘烤单元的盘盖结构 公开日期：2024-08-09 公开号：CN114563933A 申请号：CN202011363408.7
  发明 一种用于晶圆烘烤单元的盘盖结构

  • 申请号：CN202011363408.7
  • 公开号：CN114563933A
  • 公开日期：2024-08-09
  • 申请人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司

  本发明涉及一种用于晶圆烘烤单元的盘盖结构，下层盘盖的上表面安装有导气稳流装置，上、下层盘盖通过导气稳流装置相连，并在上、下层盘盖之间留有导气通道；进气排风安装帽安装于上层盘盖上，进气排风安装帽上分别开设有相互独立的排风孔及进气通道，排风孔延伸至下层盘盖的底部，进气通道位于排风孔的外围，进气通道与导气通道相连通，由进气通道进入的气体通过导气稳流装置整流；上层盘盖的上表面安装有对由进气通道进入的气体进行加热的加热装置；盘盖进气管的一端与进气通道相连通，另一端连接气源；盘盖排风管的一端与排风孔相连通，另一端连接风机。本发明改善盘盖内的气流走向及进气温度预热，进而改善盘面的温度均匀性。

  发布时间：2023-05-12 11:42:39

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• 描绘方法以及描绘装置 公开日期：2024-08-09 公开号：CN112415858A 申请号：CN202010843315.8
  发明 描绘方法以及描绘装置

  • 申请号：CN202010843315.8
  • 公开号：CN112415858A
  • 公开日期：2024-08-09
  • 申请人：株式会社斯库林集团

  本发明抑制焦深的降低等，并且实现所形成的图案形状的微细化。描绘方法具备：相对于感光材料以在至少一部分具有第1位移图案的第2描绘图案照射描绘光的工序；使感光材料显影的工序、以及在基板的上表面形成第1图案形状的工序，第1位移图案是与第1描绘图案中的对应的单位图案至少一部分重叠且从对应的单位图案偏移的单位图案。

  发布时间：2023-05-29 12:15:20

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• 成像设备 公开日期：2024-08-09 公开号：CN112526851A 申请号：CN202010982262.8
  发明 成像设备

  • 申请号：CN202010982262.8
  • 公开号：CN112526851A
  • 公开日期：2024-08-09
  • 申请人：佳能株式会社

  本申请涉及成像设备，设置在用于开闭从盒接收显影剂的接收口的第一闸门构件上的第一接触部和设置在盒上的第二接触部配置成在盒的装卸方向上彼此接触，使得第一闸门构件处于接收口打开的位置；当盒从设备主体排出时，第一闸门构件由第一推压构件推压使得保持第一接触部和第二接触部之间的接触状态，直到开闭盒供给口的第二闸门构件关闭供给口为止。

  发布时间：2023-06-02 13:11:31

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• 离子注入光刻胶清洗液、其制备方法及应用 公开日期：2024-08-09 公开号：CN113433807A 申请号：CN202010210625.6
  发明 离子注入光刻胶清洗液、其制备方法及应用

  • 申请号：CN202010210625.6
  • 公开号：CN113433807A
  • 公开日期：2024-08-09
  • 申请人：上海新阳半导体材料股份有限公司

  本发明公开了一种离子注入光刻胶清洗液、其制备方法及应用。该离子注入光刻胶清洗液，其由下述原料制得，所述的原料包括以下质量分数的组分：0.5％‑15％的氧化剂、10％‑40％的有机碱、0.005％‑6％的螯合剂、0.005％‑6％的缓蚀剂、0.1％‑10％的羧酸铵、0.005％‑1.5％的表面活性剂、0.005％‑5％的有机硅、0.005％‑2.5％的聚季铵盐和余量的水，所述的质量分数为各组分质量占原料的总质量的百分比；其中，所述的表面活性剂为EO‑PO聚合物L62；所述的有机硅为巯丙基三甲氧基硅烷；所述的聚季铵盐为聚季铵盐‑16。本发明的离子注入光刻胶清洗液对多种金属和电介质缓蚀性强，清洗效果佳。

  发布时间：2023-06-23 08:18:33

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• 一种全息显示方法、装置、设备及存储介质 公开日期：2024-08-09 公开号：CN117369233A 申请号：CN202311312573.3
  发明 一种全息显示方法、装置、设备及存储介质

  • 申请号：CN202311312573.3
  • 公开号：CN117369233A
  • 公开日期：2024-08-09
  • 申请人：深圳优立全息科技有限公司

  本发明涉及全息显示技术领域，公开了一种全息显示方法、装置、设备及存储介质，用于提升全息显示的显示效果并提高全息建筑投影的显示准确率。方法包括：对目标建筑区域图像数据进行建筑物提取和三维建筑模型重构并进行位置校正和全息影像生成，得到初始化全息建筑投影数据；进行用户视角位置感知和交互动作识别，得到第一用户视角位置数据和用户交互动作数据；进行交互响应，得到第一全息建筑投影数据并进行光影区域划分，得到第一视觉光照区域和第一视觉阴影区域；进行视角移动轨迹跟踪，得到第二用户视角位置数据并进行光影区域分析，得到第二视觉光照区域和第二视觉阴影区域；进行投影预加载，生成第二全息建筑投影数据。

  发布时间：2024-01-26 07:20:08

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• 一种浸没流场的压力测量装置及压力测量方法 公开日期：2024-08-09 公开号：CN112684673A 申请号：CN202011602370.4
  发明 一种浸没流场的压力测量装置及压力测量方法

  • 申请号：CN202011602370.4
  • 公开号：CN112684673A
  • 公开日期：2024-08-09
  • 申请人：浙江启尔机电技术有限公司

  本发明公开了一种浸没流场的压力测量装置及压力测量方法，包括壳体和多个压力检测器，壳体具有模拟浸没光刻机中末端物镜的外形和尺寸，壳体具有朝向衬底的镜底面和朝向浸没控制单元的镜侧面，镜底面呈平面形状，镜侧面呈倾斜环形柱面形状；压力检测器的检测面与镜底面平齐。模拟浸没式光刻机中浸没流场的形状和浸液的流动参数，对浸没流场的压力进行测量，特别是对曝光光束传播路径上的浸没流场的压力进行测量，以检验和评估浸没控制单元的结构及流体供应和回收参数是否满足曝光要求。采用预先使用易溶气体填充测压孔的方法，避免压力检测器检测面附近的气泡干扰压力测量的精度。

  发布时间：2023-06-04 11:38:37

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• 粉盒及打印机 公开日期：2024-08-09 公开号：CN113917814A 申请号：CN202111283428.8
  发明 粉盒及打印机

  • 申请号：CN202111283428.8
  • 公开号：CN113917814A
  • 公开日期：2024-08-09
  • 申请人：广州众诺微电子有限公司

  本申请提供一种粉盒及打印机，粉盒包括蓄粉筒、出粉筒以及出粉机构。蓄粉筒用于储存成像物质；出粉筒与蓄粉筒连接，出粉筒具有一出粉腔，出粉腔与蓄粉筒的内部连通，出粉筒开设有与出粉腔连通的出粉口；出粉机构包括设置于出粉腔中的第一出风件，第一出风件沿第一方向。上述的粉盒及打印机，粉盒的蓄粉筒在预定条件下可以并将成像物质送到与蓄粉筒连通的粉盒的出粉筒中，由于设置了第一出风件沿第一方向出风，这样在出粉筒的出粉腔中形成了循环流动的空气流，由于空气在出粉腔内部流动，因此从蓄粉筒输送到出粉腔中的碳粉不会堆积，而是分散，如此可以保证碳粉均匀从出粉口中出来。

  发布时间：2023-04-22 09:11:38

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