一种浸没流场的压力测量装置及压力测量方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112684673 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011602370.4 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人 浙江启尔机电技术有限公司 地址 311305 浙江省杭州市临安区青山湖 街道励新路99号 (72)发明人 符文静　王帅　熊永乐　徐文苹　 徐宁　付新　 (74)专利代理机构 杭州斯可睿专利事务所有限 公司 33241 代理人 林君勇 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 一种浸没流场的压力测量装置及压力测量 方法 (57)摘要 本发明公开了一种浸没流场的压力测量装 置及压力测量方法，包括壳体和多个压力检测 器，壳体具有模拟浸没光刻机中末端物镜的外形 和尺寸，壳体具有朝向衬底的镜底面和朝向浸没 控制单元的镜侧面，镜底面呈平面形状，镜侧面 呈倾斜环形柱面形状；压力检测器的检测面与镜 底面平齐。模拟浸没式光刻机中浸没流场的形状 和浸液的流动参数，对浸没流场的压力进行测 量，特别是对曝光光束传播路径上的浸没流场的 压力进行测量，以检验和评估浸没控制单元的结 构及流体供应和回收参数是否满足曝光要求。采 A 用预先使用易溶气体填充测压孔的方法，避免压 3 力检测器检测面附近的气泡干扰压力测量的精 7 6 4 度。 8 6 2 1 1 N