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• 一种基于高重频超短脉冲激光强化金属防护涂层的方法 公开日期：2024-10-11 公开号：CN114657517A 申请号：CN202210138075.0
  发明 一种基于高重频超短脉冲激光强化金属防护涂层的方法

  • 申请号：CN202210138075.0
  • 公开号：CN114657517A
  • 公开日期：2024-10-11
  • 申请人：江苏大学

  本发明涉及金属防护涂层表面强化技术领域，具体为一种基于高重频超短脉冲激光强化金属防护涂层的方法。本发明采用高重频超短脉冲激光对电弧离子镀制备的金属防护涂层进行表面强化处理，在其表面形成致密的重熔强化层，实现涂层表面抛光净化、调控表面微观结构，细化晶粒等有益效果，有效提高金属涂层的表面耐磨性、抗高温氧化性能以及抗腐蚀性能。

  发布时间：2023-05-14 11:56:19

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• 一种蚀刻液及其制备方法、金属膜材处理方法 公开日期：2024-10-11 公开号：CN114507859A 申请号：CN202111481164.7
  发明 一种蚀刻液及其制备方法、金属膜材处理方法

  • 申请号：CN202111481164.7
  • 公开号：CN114507859A
  • 公开日期：2024-10-11
  • 申请人：福建中安高新材料研究院有限公司

  本申请提供了一种蚀刻液及其制备方法、金属膜材的处理方法。所述蚀刻液含有以下重量份数的各组分：50‑80份的磷酸，1‑10份的硝酸，10‑30份的醋酸，0.01‑1份的金属缓蚀剂，0.01‑1份的表面活性剂，余量为水；所述表面活性剂包括壬基酚聚氧乙烯醚和脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸盐；所述金属缓蚀剂包括醋酸钾、磺化木质素、膦羧酸、巯基苯并噻唑中的至少一种。该蚀刻液可控性强、蚀刻均匀性好、蚀刻角度平滑、精度高，能在短时间内完成材料的蚀刻，蚀刻后金属膜材的关键尺寸损失小于0.5μm，蚀刻角度小于60°，玻璃面板表面无残留。并且可以同时满足铝膜、铝合金膜、钼膜、钼合金膜，以及不同厚度叠加的钼‑铝叠层膜、铝‑钼‑铝叠层膜和钼‑铝‑钼叠层膜的蚀刻要求。

  发布时间：2023-05-10 11:41:54

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• 一种铜钼金属膜蚀刻液及其应用方法和显示面板 公开日期：2024-10-11 公开号：CN114411151A 申请号：CN202210057992.6
  发明 一种铜钼金属膜蚀刻液及其应用方法和显示面板

  • 申请号：CN202210057992.6
  • 公开号：CN114411151A
  • 公开日期：2024-10-11
  • 申请人：福建中安高新材料研究院有限公司

  本申请提供了一种铜钼金属膜蚀刻液及其应用方法和显示面板，该蚀刻液包括以下质量百分含量的各组分：过氧化氢：10％～30％；无机酸：5％～20％；蚀刻调节剂：0.5％～2％；水：60％～80％；其中，蚀刻调节剂包括乙二胺四丙酸和铬酸钾。该铜钼金属膜蚀刻液不仅具有良好的稳定性，并且对金属铜和金属钼具有较为均衡的蚀刻速率，采用该蚀刻液对铜钼金属膜进行蚀刻能够消除钼的残留，达到良好的蚀刻效果。

  发布时间：2023-05-09 10:57:10

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• 多层涂层 公开日期：2024-10-11 公开号：CN114423882A 申请号：CN202080064726.5
  PCT发明 多层涂层

  • 申请号：CN202080064726.5
  • 公开号：CN114423882A
  • 公开日期：2024-10-11
  • 申请人：塞梅孔公司

  本发明涉及用于对基材(40)进行涂覆的方法、执行所述方法的涂覆系统和经涂覆体。在第一方法步骤(62)中，将基材(40)在离子蚀刻过程中进行预处理。在第二方法步骤(64)中，通过PVD过程在基材(40)上沉积厚度为0.1μm至6μm的第一涂覆层(56a)。为了实现特别高品质且耐用的涂层(50)，在第三方法步骤(66)中，通过离子蚀刻过程对第一涂覆层(56a)的表面进行处理，以及在第四方法步骤(68)中，通过PVD过程在第一涂覆层(56a)上沉积厚度为0.1μm至6μm的另外的涂覆层(56b)。所述经涂覆体包括在基材(40)上的至少两个厚度为0.1μm至6μm的涂覆层(56a、56b、56c、56d)，其中通过离子蚀刻形成的界面区域布置在涂覆层(56a、56b、56c、56d)之间。

  发布时间：2023-05-09 10:42:55

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• 用于处理腔室的衬里 公开日期：2024-10-11 公开号：CN116043191A 申请号：CN202310037948.3
  发明 用于处理腔室的衬里

  • 申请号：CN202310037948.3
  • 公开号：CN116043191A
  • 公开日期：2024-10-11
  • 申请人：应用材料公司

  本文的实施方式涉及用于处理腔室中的具有多件式设计的腔室衬里。所述多件式设计可以具有内部部分和外部部分。所述外部部分的内表面的一部分可以被设计为在单个接合点处与所述内部部分的外表面接触这样在所述内部部分与所述外部部分之间产生热阻挡，从而减少来自所述内部部分和所述外部部分的热传递。所述热阻挡在腔室衬里内表面处产生较高温度，因此导致在所述腔室内的较短加热时间。另外，所述热阻挡还在基环以及外环的外表面附近产生较低温度，从而保护腔室壁并在所述腔室壁处需要较少热调节/耗散。

  发布时间：2023-05-12 09:53:36

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• 一种Ti-Al-C MAX相涂层及其低温成相制备方法 公开日期：2024-10-11 公开号：CN113981392A 申请号：CN202111175820.0
  发明 一种Ti-Al-C MAX相涂层及其低温成相制备方法

  • 申请号：CN202111175820.0
  • 公开号：CN113981392A
  • 公开日期：2024-10-11
  • 申请人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所|||宁波工业技术研究院

  本发明公开了一种Ti3AlC2MAX相涂层的低温成相制备方法，其特征在于，包括以Ti‑Al复合靶为溅射靶材，碳氢气体为反应气源，采用高功率脉冲磁控溅射技术，以500‑1000Hz的频率，5‑10％的占空比，100‑200μs的短脉冲对基体表面溅射得到TiAlx‑C涂层；热处理所述的TiAlx‑C涂层得到Ti3AlC2MAX相涂层，所述的热处理温度为600‑700℃。该方法能够在较低温度下制备Ti3AlC2MAX相涂层。本发明还提供了采用该方法制得Ti‑Al‑C MAX相涂层。

  发布时间：2023-04-24 09:27:45

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• 低温磊晶成长的化学气相沉积仪 公开日期：2024-10-11 公开号：CN115821231A 申请号：CN202210261248.8
  发明 低温磊晶成长的化学气相沉积仪

  • 申请号：CN202210261248.8
  • 公开号：CN115821231A
  • 公开日期：2024-10-11
  • 申请人：瑞砻科技股份有限公司

  本发明涉及一种低温磊晶成长的化学气相沉积仪，包括：一阳离子预裂解腔室，提供复数预裂解的阳离子；一阴离子预裂解腔室，提供复数预裂解的阴离子；一气相沉积室，具有一顶部、一底部以及一中空作用腔，该气相沉积室更形成有至少一导通上述阳离子预裂解腔室和该中空作用腔的阳离子通道、至少一导通上述阴离子预裂解腔室和该中空作用腔的阴离子通道以及驱使上述阳离子和上述阴离子朝向上述中空作用腔顶部方向移动的驱动装置；以及至少一设置于上述气相沉积室接近上述顶部的载台，供至少一片三维半导体晶材基板朝向上述中空作用腔设置于前述载台。

  发布时间：2023-06-01 07:03:24

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• 用于盐碱地区地基混凝土管桩的牺牲阳极保护装置及方法 公开日期：2024-10-11 公开号：CN115747809A 申请号：CN202211270778.5
  发明 用于盐碱地区地基混凝土管桩的牺牲阳极保护装置及方法

  • 申请号：CN202211270778.5
  • 公开号：CN115747809A
  • 公开日期：2024-10-11
  • 申请人：中国石油化工股份有限公司

  一种用于盐碱地区地基混凝土管桩的牺牲阳极保护装置，由桩体和下桩头构成混凝土管桩，设置有牺牲阳极，牺牲阳极的一端通过焊接固定连接在下桩头的端头板上，牺牲阳极的另一端伸入桩体内。牺牲阳极的选择方法：根据盐碱地区地基混凝土管桩所在土壤环境，确定出影响土壤电阻率的五个影响因素，评价土壤腐蚀性，确定土壤等级；选择牺牲阳极的材料；确定牺牲阳极的具体形状和具体数量；根据被保护的混凝土管桩的形状选择牺牲阳极的安装部位，进行安装。本发明用层次分析法综合多种评价指标，结合制定的评分规则，使用牺牲阳极法对盐碱地区地基混凝土管桩进行有效的防腐蚀保护。设计合理、可操作性强，为地基混凝土管桩防腐保护提供了很好的方法和手段。

  发布时间：2023-06-07 22:02:24

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• 对基板进行成膜的装置和对基板进行成膜的方法 公开日期：2024-10-11 公开号：CN115725956A 申请号：CN202211005532.5
  发明 对基板进行成膜的装置和对基板进行成膜的方法

  • 申请号：CN202211005532.5
  • 公开号：CN115725956A
  • 公开日期：2024-10-11
  • 申请人：东京毅力科创株式会社

  本发明提供一种对基板进行成膜的装置和对基板进行成膜的方法。配置到用于在真空气氛下向基板的表面供给反应气体而进行成膜处理的处理容器内的升降轴以从下表面支承着基板的载置台的状态以在上下方向上延伸的方式设置，穿过在处理容器设置的贯通口而与外部的升降机构连接起来。壳体覆盖升降轴的周围，盖构件以隔着间隙包围升降轴的方式配置。设置有以如下方式进行引导的引导构件：从吹扫气体供给部供给到壳体的吹扫气体在经由间隙向处理容器流入了之后，从朝向载置台的背面的方向逸散而流动。由此，吹扫气体从载置台逸散而流动，因此，载置台的温度在面内一致，改善成膜处理的面内均匀性。

  发布时间：2023-06-09 07:19:47

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• 一种核用锆合金表面抗高温氧化复合涂层及其制备方法 公开日期：2024-10-08 公开号：CN118086848A 申请号：CN202410259671.3
  发明 一种核用锆合金表面抗高温氧化复合涂层及其制备方法

  • 申请号：CN202410259671.3
  • 公开号：CN118086848A
  • 公开日期：2024-10-08
  • 申请人：重庆文理学院

  一种核用锆合金表面抗高温氧化复合涂层的制备方法，是通过磁控溅射在锆合金基体表面先制备Cr‑N过渡层，再在过渡层表面制备FeCrAl涂层，形成C‑N/FeCrAl复合涂层。本发明中在锆合金基体表面制备抗FeCrAl氧化涂层时，先制备了Cr‑N为过渡层，再制备了一层FeCrAl涂层，为了提升涂层表面的耐磨性能及结构稳定性，采用高纯度钴靶、铁靶、合金靶材等材料制备双层复合涂层。在高温环境下Cr‑N/FeCrAl界面原位形成连续的AlN扩散阻挡层，阻挡Fe元素向内部扩散，且以及Zr/Cr‑N界面原位形成Zr2N孪晶层可极大减缓Zr元素外扩散，有效阻止Fe‑Zr共晶反应，并降低了FeCrAl涂层的柱状晶结构，提高了涂层的抗氧化性能，制备了Cr‑N/FeCrAl复合涂层的锆合金的在1200℃蒸汽下氧化增重较锆合金下降了56.9%。

  发布时间：2024-06-01 08:01:44

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