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• 一种光掩模曝光方法 公开日期：2024-08-20 公开号：CN114815517A 申请号：CN202210403500.4
  发明 一种光掩模曝光方法

  • 申请号：CN202210403500.4
  • 公开号：CN114815517A
  • 公开日期：2024-08-20
  • 申请人：广州新锐光掩模科技有限公司

  本申请提供了一种光掩模曝光方法，属于电子束曝光技术领域，该方法包括：对预处理图形进行图形识别；根据图形尺寸将所述预处理图形分为第一图形区和第二图形区，所述第一图形区为大尺寸图形，所述第二图形区为精密图形；将所述第一图形区和所述第二图形区进行切割；对所述第一图形区通过不铺满以及无重叠的方式进行曝光；对所述第二图形区进行精密曝光。通过本申请的处理方案，有效降低了曝光时间，并降低了生产成本。

  发布时间：2023-05-17 11:58:39

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• 直接驱动式掩模版安全闩锁 公开日期：2024-08-20 公开号：CN113227903A 申请号：CN201980085296.2
  PCT发明 直接驱动式掩模版安全闩锁

  • 申请号：CN201980085296.2
  • 公开号：CN113227903A
  • 公开日期：2024-08-20
  • 申请人：ASML控股股份有限公司

  本文中的实施例描述一种用以为物体提供支撑的安全装置。所述安全装置包括壳体，所述壳体包括沿所述壳体的长度延伸的转动轴。所述安全装置还包括联接至所述转动轴的第一端的旋转电机、和联接至与所述转动轴的所述第一端相反的所述转动轴的第二端的安全闩锁。所述转动轴的转动使所述安全闩锁转动。所述安全闩锁沿径向方向延伸远离所述转动轴。所述安全闩锁包括位于所述安全闩锁的远离所述转动轴的远端处的支脚部分。所述支脚部分被设计用以充当用于所述物体的接触点。

  发布时间：2023-06-16 07:28:27

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• 一种光刻机的旋转平台的旋转装置 公开日期：2024-08-20 公开号：CN112947007A 申请号：CN202110067127.5
  发明 一种光刻机的旋转平台的旋转装置

  • 申请号：CN202110067127.5
  • 公开号：CN112947007A
  • 公开日期：2024-08-20
  • 申请人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司|||上海集成电路研发中心有限公司

  本发明公开了光刻机的旋转平台的旋转装置，包括：用于承载工件台的旋转平台；磁悬浮平面旋转电机，使旋转平台作水平旋转；感生电流线圈，用于测量所述旋转平台的转动角度和平移量，并反馈给所述磁悬浮平面旋转电机以及进行反馈控制；多个零位传感器，用于测量所述旋转平台的在六个自由度上的偏移量，并反馈给所述磁悬浮平面旋转电机，触发所述磁悬浮平面旋转电机补偿所述偏移量。本发明使用感生电流线圈对转动角度和平移量进行实时测量和反馈控制，还使用零位传感器对六个自由度的偏移量进行测量和补偿，从而确保旋转平台能够精准地将工件台交换到对应的工位，减少了工件台位置校准所需的时间，提高了光刻处理效率。

  发布时间：2023-06-11 12:54:32

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• 用于清洁光刻系统中的支撑结构的设备和方法 公开日期：2024-08-20 公开号：CN113260923A 申请号：CN201980086577.X
  PCT发明 用于清洁光刻系统中的支撑结构的设备和方法

  • 申请号：CN201980086577.X
  • 公开号：CN113260923A
  • 公开日期：2024-08-20
  • 申请人：ASML控股股份有限公司

  一种从EUV或DUV光刻系统中的诸如掩模版或晶片平台之类的光刻支撑件的工作表面移除污染物的设备和方法，其中支撑基底的基部具备一定表面轮廓以便朝向所述基部的中间部分较厚，使得当由所述基部支撑的基底在所述工作表面与所述基部之间被挤压时，所述污染物从所述工作表面传递至所述基底。

  发布时间：2023-06-17 07:13:57

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• 一种车载摄像头的镜头组件 公开日期：2024-08-20 公开号：CN117724284A 申请号：CN202311749552.8
  发明 一种车载摄像头的镜头组件

  • 申请号：CN202311749552.8
  • 公开号：CN117724284A
  • 公开日期：2024-08-20
  • 申请人：东莞市硕锋精密五金制品有限公司

  本申请提供了一种车载摄像头的镜头组件，包括：底座，固定于车的挡风玻璃上；液体镜头组件，包括安装座、柔性镜头和柔性推动组件，安装座沿竖直方向开设有放置槽，且安装座开设有与放置槽垂直的固定腔，柔性镜头放置于放置槽内，柔性推动组件放置于固定槽内；柔性镜头朝向柔性推动组件的一面具有相互延续的第一圆弧面、第二圆弧面和第三圆弧面，柔性推动组件具有朝向所述柔性镜头的挤压面，挤压面贴合于第二圆弧面上；其中，第一圆弧面的半径为R1，第二圆弧面的半径为R2，第三圆弧面的半径为R3，在所述柔性镜头装配完成后，R1＝R2＝R3。本申请还提供一种车载摄像头的镜筒组件。上述方案能避免在柔性镜头形变时，带来的应力集中问题，增加镜头的寿命。

  发布时间：2024-03-25 07:19:51

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• 一种隐藏式智能电动吸顶幕 公开日期：2024-08-20 公开号：CN114002906A 申请号：CN202111186535.9
  发明 一种隐藏式智能电动吸顶幕

  • 申请号：CN202111186535.9
  • 公开号：CN114002906A
  • 公开日期：2024-08-20
  • 申请人：张家港宝视特影视器材有限公司

  本发明公开了一种隐藏式智能电动吸顶幕，包括：外壳及幕布，在外壳内设置有收卷管及管状电机，幕布的上端连接在收卷管上，幕布的下端固定有配重拉杆，在外壳的底板上设置有供幕布及配重拉杆伸出或缩进外壳内腔的开口，其特征在于：在配重拉杆上设置有底盖，底盖与配重拉杆之间设置有弹性支承机构，底盖通过弹性支承机构活动挂置在配重拉杆上，弹性支承机构使底盖始终具有相对配重拉杆向上运动的趋势，当管状电机驱动收卷管转动收卷幕布而同步带动配重拉杆及底盖一起向上移动，直至幕布及配重拉杆从开口完全缩进外壳内腔时，底盖能随配重拉杆向上移动至正好向上遮盖住外壳底板的开口。本发明具有使用寿命长的优点。

  发布时间：2023-04-24 09:44:04

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• 一种化学增幅型正性光敏聚酰亚胺涂层胶及其制备方法与应用 公开日期：2024-08-20 公开号：CN118092074A 申请号：CN202410491135.6
  发明 一种化学增幅型正性光敏聚酰亚胺涂层胶及其制备方法与应用

  • 申请号：CN202410491135.6
  • 公开号：CN118092074A
  • 公开日期：2024-08-20
  • 申请人：明士（北京）新材料开发有限公司

  本发明公开了一种化学增幅型正性光敏聚酰亚胺涂层胶及其制备方法与应用。本发明化学增幅型正性聚酰亚胺涂层胶，该化学增幅型正性聚酰亚胺涂层胶由如下质量份的组份制成：部分取代的含酚羟基聚酰亚胺树脂100份；光致产酸剂1~30份；光敏促进剂0~10份；助粘剂0~10份；有机溶剂Ⅱ200~500份。它的制备方法，包括如下步骤：在黄光环境和惰性气体保护中，将部分取代的含酚羟基聚酰亚胺树脂溶解于有机溶剂Ⅱ中，搅拌形成均相有机溶液；然后，依次加入光致产酸剂、光敏促进剂和助粘剂，搅拌形成均相溶液，即得到化学增幅型正性聚酰亚胺涂层胶。本发明化学增幅型正性聚酰亚胺涂层胶应用于光电平面显示、半导体芯片制造与封装领域中。

  发布时间：2024-06-01 08:08:30

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• 光学单元的支撑 公开日期：2024-08-20 公开号：CN112384862A 申请号：CN201980044987.8
  PCT发明 光学单元的支撑

  • 申请号：CN201980044987.8
  • 公开号：CN112384862A
  • 公开日期：2024-08-20
  • 申请人：卡尔蔡司SMT有限责任公司

  本发明涉及一种微光刻的组件，特别是使用极EUV范围(EUV)中的光，所述微光刻的组件包括用于支撑光学单元(106、107)的支撑结构(109)，所述光学单元的质量特别是等于4t至14t，优选地为5t至10t，更优选地为6t至8t。支撑结构(109)包括用于支撑光学单元(106、107)的多个分离的支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的每一个包括空气轴承单元(111.1、111.2、111.3、111.4)，通过空气轴承单元能够生成抵消光学单元(106、107)的重量的支撑力。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)的数目至少等于四个，其中，经由联接装置(112)联接支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的至少两个以形成支撑单元对，使得联接装置(112)抵消与支撑单元对的两个支撑单元(110.1、110.2)的支撑力的可指定比率的偏差。

  发布时间：2023-05-28 13:41:43

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• 图像形成装置和控制方法 公开日期：2024-08-20 公开号：CN112462582A 申请号：CN202010653705.9
  发明 图像形成装置和控制方法

  • 申请号：CN202010653705.9
  • 公开号：CN112462582A
  • 公开日期：2024-08-20
  • 申请人：东芝泰格有限公司

  一种图像形成装置和控制方法。实施方式的图像形成装置具有显影器、供给器、传感器、计时器以及控制部。显影器对片材形成调色剂像。供给器安装有所述调色剂的盒，并对所述显影器供给所述盒内的所述调色剂。传感器获取与所述显影器中的调色剂的量相关的物理量。计时器测量时间。在由所述传感器获取的所述物理量满足表示所述调色剂的量减少的条件时，所述控制部驱动所述供给器直到所述物理量满足表示所述调色剂的量为规定值以上的条件，并由所述计时器测量驱动所述供给器的时间，在由所述计时器测量的时间大于规定阈值时，所述控制部判定为所述盒内的调色剂减少至小于规定量以下。

  发布时间：2023-06-02 12:13:17

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• 适用于柱状间隔器和黑底的着色光敏树脂组合物 公开日期：2024-08-20 公开号：CN112904672A 申请号：CN202110097238.0
  发明 适用于柱状间隔器和黑底的着色光敏树脂组合物

  • 申请号：CN202110097238.0
  • 公开号：CN112904672A
  • 公开日期：2024-08-20
  • 申请人：罗门哈斯电子材料韩国有限公司

  本发明提供了一种着色光敏树脂组合物，其包含共聚物、环氧树脂化合物或由其衍生的化合物、可聚合化合物、光聚合引发剂、以及包括黑色着色剂和蓝色着色剂的着色剂。当着色光敏树脂组合物形成固化层时，可以得到良好的透光率和光密度以及良好的弹性回复率、分辨率、耐化学性、和厚度。因而，着色光敏树脂组合物可形成柱状间隔器、黑底或黑色柱状间隔器，并且可以用在各种电子部件例如有机发光二极管显示器和液晶显示装置的面板。

  发布时间：2023-06-11 12:33:23

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