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PCT发明

直接驱动式掩模版安全闩锁

2023-06-16 07:28:27 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN201980085296.2
  • 公开（公告）日：2024-08-20
  • 公开（公告）号：CN113227903A
  • 申请人：ASML控股股份有限公司
摘要：本文中的实施例描述一种用以为物体提供支撑的安全装置。所述安全装置包括壳体，所述壳体包括沿所述壳体的长度延伸的转动轴。所述安全装置还包括联接至所述转动轴的第一端的旋转电机、和联接至与所述转动轴的所述第一端相反的所述转动轴的第二端的安全闩锁。所述转动轴的转动使所述安全闩锁转动。所述安全闩锁沿径向方向延伸远离所述转动轴。所述安全闩锁包括位于所述安全闩锁的远离所述转动轴的远端处的支脚部分。所述支脚部分被设计用以充当用于所述物体的接触点。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113227903 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 201980085296.2 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2019.12.12 代理人 王益 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/783,896 2018.12.21 US G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.06.21 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2019/084864 2019.12.12 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/126813 EN 2020.06.25 (71)申请人 ASML控股股份有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 J ·R ·巴勒斯　I ·查韦斯　 权利要求书2页 说明书11页 附图8页 (54)发明名称 直接驱动式掩模版安全闩锁 (57)摘要 本文中的实施例描述一种用以为物体提供

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