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• 一种激光投影光源和激光投影设备 公开日期：2024-10-18 公开号：CN112711165A 申请号：CN201911024401.X
  发明 一种激光投影光源和激光投影设备

  • 申请号：CN201911024401.X
  • 公开号：CN112711165A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：青岛海信激光显示股份有限公司

  本发明公开一种激光投影光源和激光投影设备，涉及激光投影设备技术领域。用于解决如何在提高激光投影光源发出光束的亮度的同时，减小激光投影光源的体积和结构复杂度的问题。本发明的激光投影光源包括：壳体、多个激光器和光路组件，壳体包括相互垂直的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁上设有多个容置开口，第二侧壁上设有一个出光口；多个激光器分别安装于多个容置开口处，每个激光器的出光面均包括多个出光区，多个出光区用于出射多种颜色的光；光路组件设置于壳体内，光路组件用于将多个激光器出射的多种颜色的光分别进行合束，并使合束后的多束光朝向出光口射出。本发明的激光投影光源用于激光投影设备。

  发布时间：2023-06-05 18:05:53

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• 光刻机运动台反力抵消装置 公开日期：2024-10-18 公开号：CN112180692A 申请号：CN202011169800.8
  发明 光刻机运动台反力抵消装置

  • 申请号：CN202011169800.8
  • 公开号：CN112180692A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：上海图双精密装备有限公司

  本发明公开了光刻机运动台反力抵消装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有光刻机主体，所述光刻机主体的正面设置有控制主机，所述光刻机主体的正面通过合页活动连接有开合门，所述开合门的正面设置有观察窗，所述光刻机主体的内底壁固定连接有减震器，所述减震器的表面设置有运行平台，所述运行平台的上表面设置有硅片台，所述硅片台的上表面设置有硅片。该光刻机运动台反力抵消装置，通过设置减震器，便于硅片台在运行平台上运行时产生的作用力能够通过减震器进行减震，通过设置压力弹簧和减力凸起，便于运行平台在运作时产生的作用力能够通过减力凸起和压力弹簧进行抵消，从而达到有效抵消运动台运作时产生反力的效果。

  发布时间：2023-05-24 13:30:18

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• 部件、冷却设备和成像装置 公开日期：2024-10-18 公开号：CN112904690A 申请号：CN202011293356.0
  发明 部件、冷却设备和成像装置

  • 申请号：CN202011293356.0
  • 公开号：CN112904690A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：株式会社理光

  本发明的名称是部件、冷却设备和成像装置。一种部件，其包括第一构件和第二构件，所述第二构件包括与第一构件的接合突起接合并限制第一构件相对于第二构件在预定方向上分离的接合部分。接合部分包括：面向部分，其从第一构件相对于第二构件的分离方向的下游面向接合突起；第一连接部分，其连接至面向部分的一端并将第二构件的主体与面向部分彼此连接；和第二连接部分，其连接到面向部分的另一端并将主体与面向部分彼此连接。第二连接部分包括脱离部分，其中接合突起在分离方向上和与分离方向正交的方向上是可移动的。

  发布时间：2023-06-11 12:28:49

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• 基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法 公开日期：2024-10-18 公开号：CN118068656A 申请号：CN202410208941.8
  发明 基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法

  • 申请号：CN202410208941.8
  • 公开号：CN118068656A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：哈尔滨工业大学

  本发明公开了一种基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法，所述系统包括运动轨迹生成部分、学习控制部分、反馈控制部分和不确定性补偿部分，运动轨迹生成部分包括运动轨迹生成器Cr，运动轨迹生成器Cr产生参考运动轨迹yd(t)，yd(t)减去位置测量信号yε,k(t)得到位置误差信号ek(t)，ek(t)输入给学习控制部分，学习控制部分产生前馈信号eff,k(t)，eff,k(t)与ek(t)相加得到修正误差信号efb,k(t)，efb,k(t)输入给反馈控制部分，反馈控制部分包括反馈控制器Cfb，反馈控制器Cfb产生反馈控制量ufb,k(t)，ufb,k(t)输入给不确定性补偿部分，不确定性补偿部分产生位置测量信号yε,k(t)。本发明能够有效减少模型不确定性对学习性能的影响，同时可有效补偿外部随机扰动，设计简单，具有较强实际应用价值。

  发布时间：2024-06-01 07:24:34

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• 一种激光投影光源和激光投影设备 公开日期：2024-10-18 公开号：CN112711166A 申请号：CN201911025064.6
  发明 一种激光投影光源和激光投影设备

  • 申请号：CN201911025064.6
  • 公开号：CN112711166A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：青岛海信激光显示股份有限公司

  本发明公开一种激光投影光源和激光投影设备，涉及激光投影设备技术领域。用于解决如何在提高激光投影光源发出光束的亮度的同时，减小激光投影光源的体积和结构复杂度的问题。本发明的激光投影光源包括：壳体、两个激光器和光路组件，壳体包括第一侧壁、第二侧壁和第三侧壁，第一侧壁和第二侧壁上分别设有一个容置开口，第三侧壁上设有一个出光口；两个激光器分别安装于第一侧壁和第二侧壁上的容置开口处，每个激光器均朝向壳体内出光，每个激光器的出光面均包括多个出光区，多个出光区用于出射多种颜色的光；光路组件设置于壳体内。本发明的激光投影光源用于激光投影设备。

  发布时间：2023-06-05 18:05:55

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• 波长转换模块以及投影机 公开日期：2024-10-18 公开号：CN114815477A 申请号：CN202110072577.3
  发明 波长转换模块以及投影机

  • 申请号：CN202110072577.3
  • 公开号：CN114815477A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：中强光电股份有限公司

  一种波长转换模块，包括一波长转换轮、一驱动器以及一配重件。波长转换轮包括一转盘，且转盘具有彼此相对的一第一侧与一第二侧。驱动器连接转盘的第一侧，并驱动转盘以驱动器的一转轴为一轴心旋转。配重件贴合于转盘的第二侧上，且配重件以转轴为轴心与转盘同步旋转。转盘区分为一隔热区域以及一散热区域。隔热区域与散热区域彼此不重叠。隔热区域区分为一第一隔热区域以及一第二隔热区域。第一隔热区域位于转盘的第一侧且对应驱动器的连接位置。第二隔热区域位于转盘的第二侧且对应配重件的连接位置。本发明具有波长转换模块的投影机具有较高的可靠度与较长的使用寿命。

  发布时间：2023-06-18 07:25:42

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• 合光模组及应用该合光模组的投影机 公开日期：2024-10-18 公开号：CN114200752A 申请号：CN202010910530.5
  发明 合光模组及应用该合光模组的投影机

  • 申请号：CN202010910530.5
  • 公开号：CN114200752A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：苏州佳世达光电有限公司|||佳世达科技股份有限公司

  本发明提供一种合光模组及投影机，其包含有偏极化分光元件、分光元件、相位延迟单元以及多个光源。该偏极化分光元件用来反射特定光束、以及允许其它光束穿透。该分光元件设置在该偏极化分光元件的一侧，用来反射特定光束、且允许其它光束穿透。该相位延迟单元设置在该分光元件旁，用来转换通过该相位延迟单元的特定光束的偏极态。多个光源分别设置在该偏极化分光元件的不同侧，输出对应光束到该偏极化分光元件。该偏极化分光元件可将部分光束直接传送到光学均匀器；并将其它光束传送到该分光元件与该相位延迟单元进行偏极态的转换，再传送到光学均匀器。本发明提供的合光模组及投影机可以实现结构紧凑，并有效改善发光均匀度。

  发布时间：2023-04-28 09:56:07

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• 光刻机工件台运动精度检测装置及检测方法 公开日期：2024-10-18 公开号：CN117031888A 申请号：CN202311070989.9
  发明 光刻机工件台运动精度检测装置及检测方法

  • 申请号：CN202311070989.9
  • 公开号：CN117031888A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：千凰微纳装备科技（北京）有限公司

  本发明涉及一种光刻机工件台运动精度检测装置及检测方法，包括工作台，工件台设置在Y轴大理石导轨上，Y轴大理石导轨设置在X轴大理石导轨；X轴大理石导轨包括X1轴大理石导轨和X2轴大理石导轨；Y轴大理石导轨一端设置在X1轴大理石导轨上，另一端设置在X2轴大理石导轨上；工作台设置有XYZ轴偏移量检测装置和θ角扭摆值检测装置和R角倾覆值检测装置。本发明光刻机工件台运动精度检测装置，通过涡流传感器检测气浮导轨运动副气膜间隙的变化，可以检测出工件台运动状态及运动精度，同时搭配精密电气比例阀调整气压改变气膜间隙，来补偿工件台运动精度；防止工件台气浮运动副卡死，防止光刻机工件台运动精度降低，提高光刻机使用寿命。

  发布时间：2023-11-16 07:27:23

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• 气动系统、压印装置及其用途 公开日期：2024-10-18 公开号：CN113015939A 申请号：CN201980075230.5
  PCT发明 气动系统、压印装置及其用途

  • 申请号：CN201980075230.5
  • 公开号：CN113015939A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：皇家飞利浦有限公司

  一种压印基板(180)的方法，包括：将承载压印图案(106)的柔性印模(104)固定到包括孔(112)的阵列的第一载体(102)，所述孔通过气体压力将所述柔性印模拉向第一载体或将其推开；将其推到第二载体(170)，第二载体(170)承载具有抗蚀剂层(182)的基板(180)，留下间隙(190)，以创建在柔性印模与基板之间的可控的接触区，和在第一载体与柔性印模之间的空间(196)；逐渐将柔性印模的区域推入抗蚀剂层中以对其进行压印；显影抗蚀剂层；并且通过连续的孔施加抽吸逐渐释放柔性印模，同时控制气体通过尚未被抽吸的孔向空间(196)的向内流动，以便此处将空间(196)保持高于环境但低于预定最大压力。

  发布时间：2023-06-11 13:38:22

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• 图像形成装置 公开日期：2024-10-18 公开号：CN112485996A 申请号：CN202010778636.4
  发明 图像形成装置

  • 申请号：CN202010778636.4
  • 公开号：CN112485996A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：东芝泰格有限公司

  实施方式涉及图像形成装置，具备像载置体、曝光器、显影器、一次转印器、二次转印器和控制部。曝光器对所述像载置体进行曝光，在所述像载置体上形成静电潜影。显影器形成使用调色剂对静电潜影进行显影的调色剂图像。一次转印器将调色剂图像一次转印到转印体。二次转印器施加转印偏压，将一次转印到所述转印体上的调色剂图像二次转印到记录介质。控制部对所述二次转印器施加清洁偏压，进行用于除去二次转印后的残留调色剂的清洁处理。控制部如果判断为在规定的时刻基于曝光的静电潜影的调色剂图像未被二次转印，则在开始后续处理为止的期间，进行第一清洁处理。

  发布时间：2023-06-02 12:25:11

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