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• 一种纳米压印的各向异性石墨烯薄膜的制备方法 公开日期：2024-10-22 公开号：CN113820917A 申请号：CN202111120562.6
  发明 一种纳米压印的各向异性石墨烯薄膜的制备方法

  • 申请号：CN202111120562.6
  • 公开号：CN113820917A
  • 公开日期：2024-10-22
  • 申请人：国科温州研究院（温州生物材料与工程研究所）

  本发明公开了一种纳米压印的各向异性石墨烯薄膜的制备方法，选取热塑性聚合物配置成预凝胶溶液，制备成表面均匀的薄膜，在该薄膜表面修饰聚多巴胺并黏附氧化石墨烯，后用氢碘酸将氧化石墨烯还原，获得掺杂石墨烯的聚合物薄膜；利用两块PDMS正模板将掺杂石墨烯的聚合物薄膜夹在中间，形成“三明治”模型，采用纳米压印仪一步法获得纳米压印的各向异性石墨烯薄膜。本发明所制备的各向异性石墨烯薄膜能够用于心肌细胞的可视化传感，且有利于心肌细胞的取向生长。本方法制备工艺简单、结构准确可控、重复性好，解决了传统的各向异性结构薄膜制备方法复杂、结构有缺陷等问题，在生物医学领域具有极大的应用价值。

  发布时间：2023-07-06 10:58:49

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• 掩模版承载机构及掩模版量测机台 公开日期：2024-10-22 公开号：CN117826546A 申请号：CN202410225606.9
  发明 掩模版承载机构及掩模版量测机台

  • 申请号：CN202410225606.9
  • 公开号：CN117826546A
  • 公开日期：2024-10-22
  • 申请人：无锡迪思微电子有限公司

  本申请涉及一种掩模版承载机构及掩模版量测机台。掩模版承载机构包括：载台组件；支架组件，可活动地设于所述载台组件上；多个支撑件，间隔地设于所述支架组件远离所述载台组件的一侧；所述多个支撑件的中心连线围成一闭合图形；以及滑动件，可滑动地设于所述载台组件上，且与所述支架组件连接；其中，所述滑动件被配置为：所述滑动件相对所述载台组件移动，并带动所述支架组件活动，以调节所述闭合图形的形状。如此，该掩模版承载机构可以适用于不同尺寸的掩模版，在使用时不需要手动切换载台，有利于提升掩模版的量测效率。

  发布时间：2024-04-07 07:36:25

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• 掩模坯及光掩模 公开日期：2024-10-22 公开号：CN112578629A 申请号：CN202011031340.2
  发明 掩模坯及光掩模

  • 申请号：CN202011031340.2
  • 公开号：CN112578629A
  • 公开日期：2024-10-22
  • 申请人：爱发科成膜株式会社

  本发明涉及一种掩模坯及光掩模，所述掩模坯具有成为光掩模的掩模层。所述掩模坯的反射率低且具有规定的光密度，能够使遮光层的蚀刻速率与防反射层的蚀刻速率接近，并且能够实现降低上檐及下摆的适当的剖面形状。所述掩模层具有：下部防反射层，层压于透明基板；遮光层，设置在比所述下部防反射层更远离所述透明基板的位置上；和上部防反射层，设置在比所述遮光层更远离所述透明基板的位置上。

  发布时间：2023-06-02 13:43:21

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• 一种曝光平台及LDI曝光装置 公开日期：2024-10-22 公开号：CN116699951A 申请号：CN202310718572.2
  发明 一种曝光平台及LDI曝光装置

  • 申请号：CN202310718572.2
  • 公开号：CN116699951A
  • 公开日期：2024-10-22
  • 申请人：江西景旺精密电路有限公司

  本发明公开了一种曝光平台及LDI曝光装置，所述曝光平台包括用于放置线路板且为方形的台面板，所述台面板的至少两条相邻边上均滑动设有顶边对位条，所述台面板的板边上还嵌设有若干位于顶边对位条内侧并朝上设置的第一激光器，所述第一激光器用于对放置在台面板上的线路板进行烧点，所述台面板上还设有至少两个一一对应驱动所述顶边对位条移动的调节机构，以调节所述顶边对位条与第一激光器之间的垂直距离。本发明通过调节机构和顶边对位条的配合，以适应不同大小板边的线路板的烧点对位，确保烧点对位点不落入线路板的单元板范围内。

  发布时间：2023-09-07 07:25:52

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• 光学邻近效应修正方法和系统、掩膜版及其制备方法 公开日期：2024-10-22 公开号：CN113050367A 申请号：CN201911382862.4
  发明 光学邻近效应修正方法和系统、掩膜版及其制备方法

  • 申请号：CN201911382862.4
  • 公开号：CN113050367A
  • 公开日期：2024-10-22
  • 申请人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司|||中芯国际集成电路制造（北京）有限公司

  本发明实施例提供了一种光学邻近效应修正方法和系统、掩膜版及其制备方法，所述光学邻近效应修正方法包括：获取待修正主图形和所述待修正主图形的重叠图形及重叠边，所述待修正主图形和其他的主图形按照光刻位置重叠的部分为重叠图形，所述重叠图形在所述待修正主图形的外边缘上的边为重叠边；在待修正的所述重叠边的相邻位置设置散射条辅助图形。本发明实施例所提供的光学邻近效应修正方法中，由于所述散射条辅助图形设置于待修正的重叠边的相邻位置，可以在之后的步骤中很好地改善待修正主图形的质量，尤其是待修正的重叠边所对应位置的图形质量，从而提高所得图形中交错的部分的质量，最终可以提高所得半导体器件的合格率。

  发布时间：2023-06-14 12:21:02

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• 调色剂盒和调色剂供应机构 公开日期：2024-10-22 公开号：CN114200805A 申请号：CN202210025257.7
  发明 调色剂盒和调色剂供应机构

  • 申请号：CN202210025257.7
  • 公开号：CN114200805A
  • 公开日期：2024-10-22
  • 申请人：佳能株式会社

  本发明的目的是开发调色剂盒的传统结构。调色剂盒包括容器和开/闭构件。容器包括用于容纳调色剂的容纳部分、和排出开口。开/闭构件包括用于关闭排出开口的关闭部分、和关闭力接收部分。开/闭构件能够相对于容器在用于使关闭部分关闭排出开口的关闭位置和用于使关闭部分打开排出开口的打开位置之间移动。开/闭构件包括相对于其中开/闭构件移动以关闭排出开口的关闭方向分别位于开/闭构件的下游侧和上游侧的前端部分和后端部分。在沿着容器的纵向方向观察调色剂盒时，开/闭构件从前端部分到后端部分在容器的圆周的超过180°的范围内延伸。在从接收设备拆卸调色剂盒时，关闭力接收部分接收用于使开/闭构件从打开位置移动到关闭位置的力。

  发布时间：2023-04-29 09:22:31

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• 显影剂供应设备及方法 公开日期：2024-10-22 公开号：CN117590718A 申请号：CN202311590432.8
  发明 显影剂供应设备及方法

  • 申请号：CN202311590432.8
  • 公开号：CN117590718A
  • 公开日期：2024-10-22
  • 申请人：江西凯利德科技有限公司

  本申请涉及智能控制领域，其具体公开了一种显影剂供应设备及方法，其使用基于深度学习模型的人工智能技术来对待显影图像的检测图像和参考图像进行特征提取和编码，以得到用于表示当前显影剂的是否需要继续供应的分类结果。这样通过智能控制显影剂的供应时机和供应量，提高了控制效率，降低了人力成本。

  发布时间：2024-03-02 07:37:14

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• 成像计量目标及方法 公开日期：2024-10-18 公开号：CN112859540A 申请号：CN202110100880.X
  发明 成像计量目标及方法

  • 申请号：CN202110100880.X
  • 公开号：CN112859540A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：科磊股份有限公司

  本申请实施例涉及成像计量目标及方法。本发明提供计量工具及方法，其估计对应于从周期性目标上的光散射产生的不同衍射级的形貌相位的效应，及调整测量条件以改进测量准确度。在成像中，可通过基于对比函数行为的分析选择适当测量条件、改变照明条件(减小光谱宽度及照明NA)、使用偏光目标及/或光学系统、使用多个散焦位置等而减小叠加误差放大。可使用额外测量或额外目标单元在成像或散射测量中执行测量结果的实时校准。

  发布时间：2023-06-11 12:08:03

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• 透镜驱动装置、摄像机模块及摄像机搭载装置 公开日期：2024-10-18 公开号：CN116679512A 申请号：CN202310667684.X
  发明 透镜驱动装置、摄像机模块及摄像机搭载装置

  • 申请号：CN202310667684.X
  • 公开号：CN116679512A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：三美电机株式会社

  本发明的透镜驱动装置、摄像机模块及摄像机搭载装置中，透镜驱动装置通过驱动部使透镜移动，所述驱动部具备：具有进行振动的一对臂的共振部、以及传递基于所述振动的驱动力的一对动力传递部，所述一对动力传递部的各自的端部配置在所述一对臂之间，所述一对动力传递部的各自的基部以间隔开宽度的方式连接在固定部上，通过使比所述宽度大的间隔件介于所述各自的基部之间，来对所述一对臂向使该一对臂扩张的方向施力。

  发布时间：2023-09-04 07:11:08

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• 一种激光投影光源和激光投影设备 公开日期：2024-10-18 公开号：CN112711164A 申请号：CN201911024312.5
  发明 一种激光投影光源和激光投影设备

  • 申请号：CN201911024312.5
  • 公开号：CN112711164A
  • 公开日期：2024-10-18
  • 申请人：青岛海信激光显示股份有限公司

  本发明公开一种激光投影光源和激光投影设备，涉及激光投影设备技术领域。用于解决如何在提高激光投影光源发出光束的亮度的同时，减小激光投影光源的体积和结构复杂度的问题。本发明的激光投影光源包括：壳体、两个激光器和光路组件，壳体包括第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁上设有两个容置开口，第二侧壁上设有出光口；两个激光器分别安装于两个容置开口处，每个激光器的出光面均包括多个出光区，多个出光区用于出射多种颜色的光；光路组件设置于壳体内，光路组件包括两个合光镜片组和两个反射件，两个合光镜片组的出光方向相对。本发明的激光投影光源用于激光投影设备。

  发布时间：2023-06-05 18:05:53

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