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树脂组合物以及滤光元件 公开日期：2024-10-11 公开号：CN113138533A 申请号：CN202010063949.1树脂组合物以及滤光元件
- 申请号：CN202010063949.1
- 公开号：CN113138533A
- 公开日期：2024-10-11
- 申请人：新应材股份有限公司
本发明提供一种树脂组合物以及一种滤光元件。树脂组合物包括黑色着色剂(A)、乙烯性不饱和单体(B)、溶剂(C)、树脂(D)以及光起始剂(E)。黑色着色剂(A)包括钛黑(A‑1)以及碳黑(A‑2)。基于钛黑(A‑1)与碳黑(A‑2)的使用量总合为100重量份，钛黑(A‑1)的使用量为50重量份至75重量份。- 发布时间：2023-06-14 13:05:22
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光刻设备 公开日期：2024-10-11 公开号：CN112204472A 申请号：CN201980035923.1光刻设备
- 申请号：CN201980035923.1
- 公开号：CN112204472A
- 公开日期：2024-10-11
- 申请人：ASML荷兰有限公司
一种用于向EUV光刻设备提供氧气(O2)的气体流量控制系统，该气体流量控制系统包括：被配置为连接到第一气体源的第一入口，第一气体包括氧气(O2)；被配置为连接到第二气体源的第二入口，第二气体不包含任何(O2)气体；气体流量控制系统被配置为混合第一气体和第二气体以获得包括稀释的氧气(O2)的混合气体；气体流量控制系统还包括：被配置为将第一量的混合气体输出到EUV光刻设备的内部的第一出口；以及被配置为将第二量的混合气体输出到EUV光刻设备外部的收集容器的第二出口。- 发布时间：2023-05-24 13:32:25
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利用具有可控几何形状和组成的清洁衬底进行刻蚀支撑件清洁 公开日期：2024-10-11 公开号：CN112955822A 申请号：CN201980073815.3利用具有可控几何形状和组成的清洁衬底进行刻蚀支撑件清洁
- 申请号：CN201980073815.3
- 公开号：CN112955822A
- 公开日期：2024-10-11
- 申请人：ASML控股股份有限公司
从EUV或DUV光刻系统中的诸如掩模板平台或晶片平台之类的刻蚀支撑件的工作表面去除污染物的装置和方法，其中将清洁衬底抵靠工作表面按压，清洁衬底设置有由所选材料制成的涂层和配置，使得污染物从工作表面转移到涂层。- 发布时间：2023-06-11 12:53:33
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光源装置 公开日期：2024-10-11 公开号：CN113238436A 申请号：CN202110090562.X光源装置
- 申请号：CN202110090562.X
- 公开号：CN113238436A
- 公开日期：2024-10-11
- 申请人：日亚化学工业株式会社
本公开涉及一种光源装置，能够以充分的光量照射所希望的照射区域。光源装置用于对2个以上的照射区域照射光，其具备：多个发光部，在上表面具有发光面；光学透镜，位于发光部的发光面的上方，具备第一面和第二面，第一面包括多个入射区域且位于发光部的发光面侧，多个入射区域与多个发光部分别对应，从该发光部射出的光入射至入射区域，第二面包括与多个入射区域分别对应的多个出射区域且位于与第一面相反侧；以及聚光部，位于发光部与光学透镜之间，具备多个入光部和多个出光部，多个入光部与多个发光部分别对应地设置，入光部覆盖发光部的发光面，多个出光部与多个入光部分别对应地设置，出光部具有比入光部的面积小的面积。- 发布时间：2023-06-17 07:07:33
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用于在光刻设备中原位去除粒子的设备和方法 公开日期：2024-10-11 公开号：CN113227904A 申请号：CN201980085779.2用于在光刻设备中原位去除粒子的设备和方法
- 申请号：CN201980085779.2
- 公开号：CN113227904A
- 公开日期：2024-10-11
- 申请人：ASML控股股份有限公司
描述了用于减少光刻系统中夹持结构的夹持面上的粒子污染物的方法和系统。诸如清洁用掩模版之类的衬底被压靠在夹持面上。在夹持发生之前或之后，所述衬底与所述夹持面之间建立温差，以促使粒子从所述夹持面转移到所述衬底。- 发布时间：2023-06-16 07:28:36
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处理盒和电子照相式成像装置 公开日期：2024-10-11 公开号：CN114047677A 申请号：CN202111358283.3处理盒和电子照相式成像装置
- 申请号：CN202111358283.3
- 公开号：CN114047677A
- 公开日期：2024-10-11
- 申请人：佳能株式会社
本发明涉及处理盒和电子照相式成像装置，以便提供一种用于处理盒的结构，其用于从处理盒的外部接收驱动力的输入。电子照相式成像装置的主组件包括设置有输出齿轮部分和输出联接部分的驱动输出部件。能够安装至电子照相式成像装置的主组件并且能够从主组件拆卸的处理盒包括：感光部件；设置在感光部件的端部处并且能够与输出联接部分联接的输入联接部分；以及能够与输出齿轮部分啮合的输入齿轮部分。- 发布时间：2023-06-18 07:16:28
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一种显影液回收装置 公开日期：2024-10-11 公开号：CN113009792A 申请号：CN202110247127.3一种显影液回收装置
- 申请号：CN202110247127.3
- 公开号：CN113009792A
- 公开日期：2024-10-11
- 申请人：苏州晶洲装备科技有限公司
本发明涉及废液回收技术领域，尤其涉及一种显影液回收装置，显影液回收装置包括回收存储单元、处理单元和回用单元；所述回收存储单元包括废液收集罐，所述废液收集罐用于收集废弃的显影液；所述处理单元用于对废弃的显影液进行处理，包括依次连通的反应沉淀装置和过滤装置，所述反应沉淀装置与所述废液收集罐连通，用于对废弃的显影液中的树脂进行沉积，所述过滤装置用于对废弃的显影液进行过滤；所述回用单元包括回收液存储罐和原液罐，所述回收液存储罐与所述过滤装置连通，所述回收液存储罐中设置有检测系统。本发明能够对显影液废液进行处理和回收，从而减少对环境的污染，降低成本，扩充企业产能。- 发布时间：2023-06-14 12:04:58
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光刻设备和紫外辐射控制系统 公开日期：2024-10-08 公开号：CN114222951A 申请号：CN202080057089.9光刻设备和紫外辐射控制系统
- 申请号：CN202080057089.9
- 公开号：CN114222951A
- 公开日期：2024-10-08
- 申请人：ASML控股股份有限公司
本公开提供了一种用于控制光刻设备中的紫外辐射的紫外辐射控制系统和相关方法。所述紫外辐射控制系统包括：壳体；转换晶体(540)，所述转换晶体被设置在所述壳体上或所述壳体中，所述转换晶体被配置成将紫外辐射转换为荧光辐射；多个光电探测器(550)，所述多个光电探测器被配置成检测所述荧光辐射的散射部分的强度；以及至少一个扩散表面(545)，所述至少一个扩散表面被设置在所述转换晶体上或所述转换晶体中，所述至少一个扩散表面被配置成增加所述荧光辐射的散射部分的强度。- 发布时间：2023-05-05 09:07:23
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光学系统及投影设备 公开日期：2024-10-08 公开号：CN113805413A 申请号：CN202111140758.1光学系统及投影设备
- 申请号：CN202111140758.1
- 公开号：CN113805413A
- 公开日期：2024-10-08
- 申请人：中山联合光电研究院有限公司
本发明提供一种光学系统及投影设备，光学系统包括沿光线传输方向依次分布的显示单元、第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组以及反射镜；其中，第一透镜组的光焦度为φ1，0.03≤|φ1|≤0.06；第二透镜组的光焦度为φ2，0.005≤|φ2|≤0.01；第三透镜组的光焦度为φ3，0.04≤|φ3|≤0.07；反射镜的光焦度为φ4，0.06≤|φ4|≤0.07；以及，第三透镜组靠近反射镜一侧到反射镜的最大距离为T1，第一透镜组靠近显示单元一侧到第三透镜组靠近反射镜一侧的距离为T2，1≤T2/T1≤1.5。当各透镜组按照上述光焦度及距离设置时，可实现0.2以下的投射比，以获得较好的观看体验，同时减小系统的体积，便于运输。- 发布时间：2023-07-05 07:18:51
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图像形成系统、图像形成装置、控制方法和存储介质 公开日期：2024-10-08 公开号：CN113917807A 申请号：CN202110733287.9图像形成系统、图像形成装置、控制方法和存储介质
- 申请号：CN202110733287.9
- 公开号：CN113917807A
- 公开日期：2024-10-08
- 申请人：佳能株式会社
本发明涉及图像形成系统、图像形成装置、控制方法和存储介质。一种图像形成装置包括在纸张上形成图像的图像形成设备和传送放置在堆叠部上的文档并读取所述文档上的图像的图像读取设备。图像形成设备输出连续地输出第一和第二输出材料。第一输出材料构成具有预定图案图像的第一类型的纸张，并且第二输出材料构成具有预定图案图像的第二类型的纸张。图像读取设备从堆叠部连续地传送第一输出材料和第二输出材料并读取第一图像和第二图像。基于第一图像获取使用第一类型的纸张的图像形成的第一参数和基于第二图像获取使用第二类型的纸张的图像形成的第二参数。- 发布时间：2023-04-22 09:04:41
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