一种基于可调谐MEMS法珀腔芯片的应力调控方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116281843 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310306247.5 (22)申请日 2023.03.27 (71)申请人 四川启睿克科技有限公司 地址 610000 四川省成都市高新区天府四 街199号1栋33层 (72)发明人 刘浩　闫晓剑　张国宏　陈宫傣　 赵浩宇　 (74)专利代理机构 四川省天策知识产权代理有 限公司 51213 专利代理师 龚海月 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) G02B 26/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种基于可调谐MEMS法珀腔芯片的应力调 控方法 (57)摘要 本发明公开了一种基于可调谐MEMS法珀腔 芯片的应力调控方法，通过对可调谐MEMS法珀芯 片关键结构进行应力调控并耦合，然后利用双面 镀膜与单面镀膜相结合的工艺方式进行正式制 备，并持续监控背面薄膜应力变化，最后利用部 分背面薄膜单面沉积来进行应力补偿。该方法可 以彻底解决可调谐MEMS法珀腔芯片应力易失配 的问题，提高可调谐MEMS法珀腔芯片的制程效率 及制程良率，同时能够满足不同应用场景的可调 谐范围，增大其商用价值。 A 3 4 8 1 8 2 6 1 1 N C CN 116281843 A 权　利　要　求　书