保证MEMS高质量贴盖的改进方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114890378 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210493236.8 (22)申请日 2022.05.07 (71)申请人 苏州固锝电子股份有限公司 地址 215000 江苏省苏州市高新区通安经 济开发区华金路200号 (72)发明人 郑志荣　凌忍勇　陈学峰　胡乃仁　 (74)专利代理机构 昆山中际国创知识产权代理 有限公司 32311 专利代理师 孙海燕 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B81C 99/00 (2010.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 保证MEMS高质量贴盖的改进方法 (57)摘要 本发明涉及一种保证MEMS高质量贴盖的改 进方法，包括以下步骤：压块矫正工艺：利用压块 压住基板，并将压块和基板放在高温环境下进行 烘烤；激光印标记：利用高精度的激光印字机在 基板上的每个产品单元的四周印上激光标记；自 动画胶水和自动贴盖：利用画胶机在产品单元的 边缘画上胶水，通过自动贴盖机将盖子贴于胶水 上；检测和矫正：利用自动光学检测设备对半成 品进行检测；激光印字：根据需求在产品单元上 进行激光印字，以便于识别；切割：利用切割机将 产品单元切割开来而形成单颗成品。本发明保证 了贴盖后的产品全部合格，解决了切割工艺发生 A 切割破刀的问题。 8 7 3 0 9 8 4 1 1 N C