一种实现抑制共模干扰信号的六质量块MEMS双轴陀螺

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114195089 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111513398.5 (22)申请日 2021.12.13 (71)申请人 泉州市云箭测控与感知技术创新研 究院 地址 362011 福建省泉州市洛江区安平路9 号方圆建设大厦B栋7楼 (72)发明人 黄明财　彭大松　戴志华　王晓东　 杜晓强　陈磊　 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) G01C 19/56 (2012.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 一种实现抑制共模干扰信号的六质量块 MEMS双轴陀螺 (57)摘要 本发明公开一种实现抑制共模干扰信号的 六质量块MEMS双轴陀螺。此MEMS双轴陀螺可同时 检测X轴和Y轴两个方向的角速度，陀螺结构包括 两个三角质量块、两个X轴质量块、两个Y轴质量 块、质量块连接梁、梳齿结构、锚点结构、支撑梁 结构及边框结构。其工作原理为在静电力驱动下 陀螺的两个三角质量块沿面外(即Z轴)做反向简 谐振动，并通过质量块连接梁将简谐振动传递给 X轴和Y轴方向的质量块。当沿X或Y轴存在角速度 时，由于科氏效应，将引起X轴或Y轴的一对质量 块做反向振动，产生差模电容信号。当后端处理 A 电路采用差分电路时，差模电容信号被放大，共 9 模干扰信号被抑制，由此提高陀螺的抗干扰能 8 0