一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空传感器

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115744808 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211515157.9 (22)申请日 2022.11.30 (71)申请人 江苏理工学院 地址 213011 江苏省常州市中吴大道1801 号 (72)发明人 许马会　冯勇建　单文桃　韩振华　 韩晓东　 (74)专利代理机构 南京正联知识产权代理有限 公司 32243 专利代理师 杭行 (51)Int.Cl. B81B 7/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) G01L 9/12 (2006.01) G01L 21/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空传感器 (57)摘要 本发明公开了一种绝压接触式MEMS电容薄 膜真空传感器，包括传感器芯片，以及用于安装 传感器芯片的外壳，以及将传感器芯片封装在外 壳内的上壳；传感器芯片包括硼硅感压膜、硅基 底和玻璃基底，三者至上而下依次连接；硅基底 的一面设有腔体，硅基底将设有腔体一面与硼硅 感压膜直接键合，形成真空参考腔；真空参考腔 内设有抽气孔，通过硅基底的另一面与玻璃基底 阳极键合封堵抽气孔，真空参考腔形成高真空。 本发明通过在真空参考腔内部设有抽气孔，将形 成真空参考腔的技术转变为硅‑硅直接键合和 硅‑玻璃阳