原创力.专利
MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法
- 申请专利号：CN202080011763.X
- 公开（公告）日：2025-04-15
- 公开（公告）号：CN113365937A
- 申请人：罗伯特·博世有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113365937 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202080011763.X (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 (22)申请日 2020.01.24 代理人 侯鸣慧 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 102019201226.4 2019.01.31 DE B81B 3/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.07.30 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/051792 2020.01.24 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/156956 DE 2020.08.06 (71)申请人 罗伯特 ·博世有限公司 地址 德国斯图加特 (72)发明人 C ·纳格尔 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方 法 (57)摘要 本发明提供一种MEMS传感器，该
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