具有电极和电介质的MEMS装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114590770 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202111454000.5 (22)申请日 2021.12.01 (30)优先权数据 17/111,465 2020.12.03 US (71)申请人 美商楼氏电子有限公司 地址 美国伊利诺伊州 (72)发明人 P ·V ·洛佩特　M ·佩德森　 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限 公司 11127 专利代理师 党晓林　王青芝 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) 权利要求书3页 说明书8页 附图12页 (54)发明名称 具有电极和电介质的MEMS装置 (57)摘要 本公开涉及具有电极和电介质的MEMS装置。 MEMS装置的第一电极可以沿轴线并平行于该轴 线纵向定向，并且可以具有第一端和第二端。第 二电极可以沿轴线并平行于该轴线纵向定向，并 且可以具有第一端和第二端。第三电极可以沿轴 线并平行于该轴线纵向定向，并且可以具有第一 端和第二端。第一电极、第二电极和第三电极可 以各自至少部分地位于可以围绕第二电极的第 二端和第三电极的第一端的固体电介质的多个 孔中的一个孔内。第二电极的第一端和第三电极 的第二端可以位于固体电介质的外部。 A 0 7 7 0 9 5 4 1 1 N C CN 114590770 A