微网探测器的制作方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114538368 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210004351.4 (22)申请日 2022.01.05 (71)申请人 中国原子能科学研究院 地址 102413 北京市房山区新镇三强路1号 院 (72)发明人 李笑梅　宋金兴　孙鹏飞　孙浩　 周静　胡守扬　陈雷　李沛玉　 智宇　赵明锐　贾世海　张昀昱　 (74)专利代理机构 北京派特恩知识产权代理有 限公司 11270 专利代理师 陈煌辉　张颖玲 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图5页 (54)发明名称 微网探测器的制作方法 (57)摘要 本申请公开了一种微网探测器的制作方法， 包括：备好读出阳极板和金属微网；在所述读出 阳极板上涂抹液体光刻胶至预设厚度，以形成光 刻胶层；将所述金属微网覆设于所述光刻胶层， 并进行刻蚀以形成绝缘支柱；在所述读出阳极板 上制作漂移电极，完成所述微网探测器的制作。 在上述的微网探测器的制作方法中采用液体光 刻胶涂抹至预设厚度，避免了因固态光刻胶多次 叠加导致成品率不足的情况，从而提高了微网探 测器的质量与成品率。通过对光刻胶层刻蚀以形 成绝缘支柱，从而可以通过光刻设备进行批量化 制作，提高制作效率，实现批量化生产。 A 8 6 3 8 3 5 4 1 1 N C CN 1