用于微机械系统的制造方法和微机械系统

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112520687 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202010984667.5 (22)申请日 2020.09.18 (30)优先权数据 102019214261.3 2019.09.19 DE (71)申请人 罗伯特 ·博世有限公司 地址 德国斯图加特 (72)发明人 J ·赖因穆特　T ·弗里德里希　 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 侯鸣慧 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) G01L 1/14 (2006.01) G01L 9/12 (2006.01) 权利要求书3页 说明书5页 附图12页 (54)发明名称 用于微机械系统的制造方法和微机械系统 (57)摘要 本发明提出一种用于微机械系统的制造方 法和微机械系统。包括以下步骤：将第一微机械 功能层施加在衬底上；在第一各向异性的蚀刻步 骤中在第一微机械功能层的第一区域中构造多 个二维布置的、彼此间隔开的、长形的蚀刻沟，其 中，蚀刻沟在一个或两个纵向端部处通过中断区 域与相邻的蚀刻沟间隔开，直至小于第一微机械 功能层的厚度的第一蚀刻深度；并且在随后的各 向同性的蚀刻步骤中将蚀刻沟扩展直至大于第 一蚀刻深度并且小于第一微机械功能层的厚度 的第二蚀刻深度，其中，蚀刻沟在第一微机械