一种二维微机械双向扭转镜阵列及其制作方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114408854 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202111541499.3 (22)申请日 2021.12.16 (71)申请人 西北工业大学宁波研究院 地址 315000 浙江省宁波市高新区清逸路 218弄A3栋5楼 (72)发明人 虞益挺　 肖星辰　董雪　 (74)专利代理机构 宁波甬致专利代理有限公司 33228 代理人 高瑞霞 (51)Int.Cl. B81B 7/04 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) G02B 26/08 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图11页 (54)发明名称 一种二维微机械双向扭转镜阵列及其制作 方法 (57)摘要 本发明涉及一种二维微机械双向扭转镜阵 列及其制作方法，二维微机械双向扭转镜阵列包 括电极基底以及设置在电极基底上的微镜单元， 微镜单元包括微镜支撑结构层、通孔电极基底以 及镜面结构层，微镜支撑结构层包括锚点、扭转 梁、第一下电极以及第二下电极，通孔电极基底 包括第一通孔电极、第二通孔电极以及第三通孔 电极，第一通孔电极与第一下电极贴触，第二通 孔电极与第二下电极贴触，所述第三通孔电极与 锚点贴触，镜面结构层包括镜面以及镜面支撑结 构，扭转梁通过其两端的锚点支撑并悬置于通孔 A 电极基底上方，第一下电极和第二下电极关