利用稀疏脉冲的MEMS致动设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114620670 A (43)申请公布日 2022.06.14 (21)申请号 202111498120.5 (22)申请日 2021.12.09 (30)优先权数据 17/117,469 2020.12.10 US (71)申请人 意法半导体股份有限公司 地址 意大利阿格拉布里安扎 (72)发明人 D ·特兹　 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 专利代理师 黄海鸣 (51)Int.Cl. B81B 7/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) G02B 26/08 (2006.01) 权利要求书3页 说明书7页 附图13页 (54)发明名称 利用稀疏脉冲的MEMS致动设备 (57)摘要 公开了利用稀疏脉冲的MEMS致动设备。一种 操作MEMS设备的方法，包括：生成MEMS驱动信号； 以及基于控制信号生成和修改MEMS驱动信号以 产生修改后的驱动信号。该方法还包括通过确定 来自MEMS设备的反馈信号何时处于其峰值来生 成控制信号，当反馈信号为其峰值时将峰值与期 望值进行比较，以及根据峰值是否至少等于期望 值来生成控制信号。基于控制信号修改MEMS驱动 信号以生成修改后的驱动信号包括当控制信号 指示峰值至少等于期望值时跳过修改后的驱动 信号的下一脉冲的生成。 A 0 7 6 0 2 6 4 1 1 N C CN 114620670 A