微机电系统惯性器件的惯性测试装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113800467 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111177140.2 (22)申请日 2021.10.09 (71)申请人 美新半导体（天津）有限公司 地址 300450 天津市自贸试验区（空港经济 区）西三道158号金融中心4-501室 (72)发明人 柯亮　林武　李妍君　金羊华　 (74)专利代理机构 苏州简理知识产权代理有限 公司 32371 代理人 庞聪雅 (51)Int.Cl. B81C 99/00 (2010.01) G01P 21/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 微机电系统惯性器件的惯性测试装置 (57)摘要 本发明提供一种微机电系统器件的惯性测 试装置，其包括：离心机，其包括离心机转轴和离 心机样品台，离心机转轴受控转动；离心机样品 台固定于离心机转轴的一端；三轴定位基座，其 固定于离心机样品台上；测试板，其用于放置参 考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件，测 试板可拆卸的固定于三轴定位基座的不同面，以 实现对放置于所述测试板上的惯性器件在三个 轴上运动方向的切换；上位机，其与离心机通信 连接，以控制离心机转轴转动；上位机与测试板 通信连接，当离心机转轴受控转动时，参考惯性 器件和若干待测微机电系统惯性器件输出实际 A 测量的加速度数据至上位机。与现有技术相比， 7 本发明可以对微机电系统惯性器