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一种基于链路逻辑图的晶圆单片运输控制方法及系统 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117711994A 申请号:CN202410169432.9一种基于链路逻辑图的晶圆单片运输控制方法及系统
- 申请号:CN202410169432.9
- 公开号:CN117711994A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:泓浒(苏州)半导体科技有限公司
本发明涉及晶圆运输技术领域,本发明公开了一种基于链路逻辑图的晶圆单片运输控制方法及系统,包括获取待清洗晶圆的目标晶圆标识,基于目标晶圆标识和预构建的晶圆分类模型获得晶圆用途类别,晶圆用途类别包括精细用途和非精细用途,获取待清洗晶圆的工序数量和相应的工位数量,将工序与工位一一对应以形成链路工序逻辑图,本发明中当晶圆用途类别为精细用途时,选择链路工序逻辑图为第一链路工序逻辑图,使得该晶圆在清洗之前进行定位,使得晶圆清洗效果更好满足使用需求,当晶圆用途类别为非精细用途时,选择链路工序逻辑图为第二链路工序逻辑图,这样晶圆在清洗之前不必进行定位,省去了加工步骤并提高了加工的效率。- 发布时间:2024-03-18 08:03:44
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一种晶圆吸附载盘 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117712011A 申请号:CN202410162901.4一种晶圆吸附载盘
- 申请号:CN202410162901.4
- 公开号:CN117712011A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:无锡星微科技有限公司杭州分公司
本发明涉及一种晶圆吸附载盘,具体涉及半导体设备技术领域。该晶圆校正吸附装置设置有辅助吸附组件,通过在辅助吸盘基体表面加设透气膜实现对晶圆底面进行保护,透气膜可以截留灰尘颗粒,避免颗粒物污染晶圆表面。该装置能够避免吸盘基体抽吸的时候,抽吸过多的气体而导致晶圆多处吸附力度不一致的问题,实现控制吸盘基体周边气流进出吸盘基体内侧的流量,避免晶圆面型变差情况的发生。- 发布时间:2024-03-18 08:03:16
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激光器线性电源的驱动电路及激光器 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117712820A 申请号:CN202410162056.0激光器线性电源的驱动电路及激光器
- 申请号:CN202410162056.0
- 公开号:CN117712820A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:成都光创联科技有限公司
本发明涉及电气元件技术领域,具体公开了一种激光器线性电源的驱动电路及激光器,该激光器线性电源的驱动电路包括MCU、直流供电单元、负载端电流采样单元和调整电路,调整电路包括n路线性电流控制单元,n为大于1的整数,直流供电单元与每路线性电流控制单元连接,每路线性电流控制单元与MCU的一个DAC接口连接,并与负载端电流采样单元连接,负载端电流采样单元用于采集激光器负载的实时电流,MCU根据负载端电流采样单元反馈的电流数据,分别调整各线性电流控制单元的输出电流,将n路线性电流控制单元的输出电流合并输出给激光器负载。本发明可以实现大电流输出,保障电源的线性可调整,且低纹波、稳定。- 发布时间:2024-03-18 08:03:13
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一种晶圆预对准装置 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117712006A 申请号:CN202410160859.2一种晶圆预对准装置
- 申请号:CN202410160859.2
- 公开号:CN117712006A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:无锡星微科技有限公司
本发明公开了一种晶圆预对准装置,属于晶圆检测技术领域,晶圆预对准装置包括基座,基座上方配置有校准组件和视觉检测组件,校准组件能够在视觉检测组件的下方往返移动;校准组件包括校准壳体,校准壳体的下方配置有输气管,输气管与校准壳体气路连通;校准壳体的顶部设有开口;校准壳体的内部配置有吸盘,吸盘配置吸附孔体,吸盘外侧边缘配置校准基块,校准基块能够沿吸盘的径向往返移动;校准基块内侧边缘配置转动件,转动件能够绕竖直轴线转动。本发明结构简单,能够实现对晶圆的精准定位,并降低晶圆磨损率。- 发布时间:2024-03-18 08:03:06
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一种深紫外发光二极管及制备方法 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117712253A 申请号:CN202410160162.5一种深紫外发光二极管及制备方法
- 申请号:CN202410160162.5
- 公开号:CN117712253A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:江西兆驰半导体有限公司
本发明提供了一种深紫外发光二极管及制备方法,深紫外发光二极管包括衬底,以及依次沉积在所述衬底上的缓冲层、非掺杂GaN层、复合n型GaN层、有源层、电子阻挡层、P型AlGaN层和P型接触层;其中,所述复合n型GaN层包括依次沉积在所述非掺杂GaN层的复合层和n型InGaN层,所述复合层包括按预设周期交替沉积在所述非掺杂GaN层上的Si3N4层、n型AlGaN层、InN层。本发明的复合n型GaN层,可以阻挡位错向外延层延伸,提高外延层晶体质量,减少发光二极管漏电及非辐射复合。- 发布时间:2024-03-18 08:02:59
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一种防热失控的储能柜 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117712589A 申请号:CN202410159881.5一种防热失控的储能柜
- 申请号:CN202410159881.5
- 公开号:CN117712589A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:成都大学
本发明公开了一种防热失控的储能柜,涉及储能柜技术领域。该种防热失控的储能柜,能够对每个电池模块起到很好的水冷散热效果,同时,便于根据各个电池模块表面的温度,对冷却管内的冷却水流量进行自动调节,使得散热的效率更高、效果更好,并且,通过对每个电池模块表面的温度进行预监测,当某个电池模块表面的温度异常升高时,将感温磁发电组件进行升降并与该电池模块对正,能够对该电池模块的温度进行重点检测,在电池模块发生热失控时,使得感温磁发电组件能够及时检测出来,并通过灭火组件进行及时灭火操作,保证感温磁发电组件的检测速度和准确性,进而保证储能柜本体的使用更加安全可靠。- 发布时间:2024-03-18 08:02:57
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一种薄膜电容器卷芯压扁装置 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117711844A 申请号:CN202410156791.0一种薄膜电容器卷芯压扁装置
- 申请号:CN202410156791.0
- 公开号:CN117711844A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:四川省科学城久信科技有限公司
本发明提供一种薄膜电容器卷芯压扁装置,属于制造电容器的专用设备技术领域,装置包括:压扁机构、随动机构及绷紧组件。压扁机构包括下模及上模。随动机构包括设于压扁机构背面外部的圆盘,其轴线垂直于压扁结构的背面,且位于下模与上模中间;圆盘跟随上模一同移动,且圆盘的移动距离及移动速度为上模的一半。绷紧组件包括转轴,其同轴穿设于圆盘,转轴的前端朝向压扁机构的正前方,转轴绕轴线旋转设置,其前端的两侧平行设有一对顶板,且两块顶板沿连线方向同步移动,且移动的方向相反,转轴前端的顶部及底部为扁平结构。本方案能有效防止压扁时卷芯内部的极片产生褶皱,提高卷芯压扁的成品率,并且装置整体构造简单。- 发布时间:2024-03-18 08:02:54
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一种Taiko晶圆分片方法 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117712001A 申请号:CN202410146908.7一种Taiko晶圆分片方法
- 申请号:CN202410146908.7
- 公开号:CN117712001A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:粤芯半导体技术股份有限公司
本发明提供一种Taiko晶圆分片方法,先采用分片机将第一晶圆盒中的第一、第二部分晶圆分别分到第二、第三晶圆盒中并自最底层卡槽开始由下至上按照卡槽编号依序放置,然后采用同一分片机进行同卡槽编号传片,将第二、第三晶圆盒中的晶圆分别传到第四、第五晶圆盒中并自最底层卡槽开始由下至上按照卡槽编号依序放置,其中,第一、第二、第三晶圆盒均具有25对卡槽,第四、第五晶圆盒均具有13对卡槽。本发明的分片方法中,第一步晶圆分片从实物的隔片放置改为由下至上放置,将分片和传片两个功能合并到一台分片机实现,实际操作上只需一台分片机,减少了操作搬送难度,能够提高Taiko晶圆减薄工艺前从25至13卡槽晶圆盒的工作效率。- 发布时间:2024-03-18 08:02:47
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一种曲面光伏板覆膜消泡检测装置及消泡检测方法 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117691003A 申请号:CN202410157146.0一种曲面光伏板覆膜消泡检测装置及消泡检测方法
- 申请号:CN202410157146.0
- 公开号:CN117691003A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:常州天色新能源科技有限公司
本发明涉及太阳能电池组件加工技术领域,且公开了一种曲面光伏板覆膜消泡检测装置及消泡检测方法,包括架体一、架体二和曲面光伏板本体,所述架体一和架体二之间通过方管连接固定,所述架体二的内部设有对待除泡曲面光伏板本体进行支撑的支撑架二,所述支撑架二与架体二之间通过摇摆组件连接。本发明通过摇摆组件带动支撑架二上的曲面光伏板本体左右摆动并通过除泡组件对曲面光伏板本体覆膜内的气泡进行挤出,同时能够使支撑架二上的曲面光伏板本体得到压紧固定的同时其压紧组件能够对除泡组件形成避位,进而有效提高曲面光伏板本体的除泡效果,且通过检测组件对除泡后的曲面光伏板本体上的覆膜进行全方位等距离拍照检验。- 发布时间:2024-03-18 07:31:59
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电池防爆阀及电池 公开日期:2024-04-19 公开号:CN117691297A 申请号:CN202410154898.1电池防爆阀及电池
- 申请号:CN202410154898.1
- 公开号:CN117691297A
- 公开日期:2024-04-19
- 申请人:蜂巢能源科技股份有限公司
本发明涉及电池技术领域,公开了一种电池防爆阀及电池,电池防爆阀包括:第一台阶面与第二台阶面,第一台阶面环绕设置于第二台阶面的周向边缘;周边刻痕,成型于第二台阶面;加强筋刻痕,成型于第二台阶面;定义电池防爆阀的整体宽度为L1,电池防爆阀的整体长度为L2,当电池防爆阀的尺寸满足L1×L2≤15mm×25mm时,则第二台阶面的厚度d2的取值满足:d2=d1×(30%~40%);当电池防爆阀的尺寸满足L1×L2>15mm×25mm时,则第二台阶面的厚度d2的取值满足:d2=d1×(50%~65%)。本发明提供的电池防爆阀,在满足电池防爆阀结构强度及焊接后的连接牢固程度的基础上,避免电池防爆阀过厚。- 发布时间:2024-03-18 07:31:50
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